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인쇄 패턴 형성 방법

  • 기술번호 : KST2015001923
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 인쇄 패턴 형성 방법 및 장치에 관한 것으로 더욱 상세하게는 다중 분해능 패턴 제작 기술을 적용하여 전자 소자를 제작하는 방법에 관한 것이다.이를 위해 본 발명의 인쇄 패턴 형성 방법은 인쇄 패턴을 형성하고 있는 인쇄롤의 일부를 잉크가 보관되어 있는 용액조에 내부에서 회전시켜 상기 인쇄 패턴에 잉크가 코딩되도록 하는 단계, 상기 인쇄 패턴에 코딩된 상기 잉크가 상기 인쇄롤과 밀착되어 회전하는 가압롤 사이로 공급되는 인쇄 필름에 코딩되도록 하는 단계, 상기 인쇄 필름에 코딩된 인쇄 패턴에서 상대적으로 선폭이 얇은 미세 인쇄 패턴을 형성할 영역의 상단에 마스크를 형성한 후 상기 인쇄 패턴을 건조시키는 단계, 및 레이저 패터닝 장치를 이용하여 상기 미세 인쇄 패턴을 형성할 영역에 미세 패턴을 형성하는 단계를 포함한다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0273(2013.01) H01L 21/0273(2013.01) H01L 21/0273(2013.01)
출원번호/일자 1020130057555 (2013.05.22)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-1427344-0000 (2014.07.31)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140806) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.05.22)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이형만 대한민국 경기 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인(유한) 다래 대한민국 서울 강남구 테헤란로 ***, **층(역삼동, 한독타워)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 경기도 성남시 분당구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.05.22 수리 (Accepted) 1-1-2013-0450127-18
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.01.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0042861-80
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.03.20 수리 (Accepted) 1-1-2014-0268190-49
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.03.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0268188-57
5 등록결정서
Decision to grant
2014.07.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0521062-74
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
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번호 청구항
1 1
인쇄 패턴을 형성하고 있는 인쇄롤의 일부를 잉크가 보관되어 있는 용액조에내부에서 회전시켜 상기 인쇄 패턴에 잉크가 코팅되도록 하는 단계;상기 인쇄 패턴에 코팅된 상기 잉크가 상기 인쇄롤과 밀착되어 회전하는 가압롤 사이로 공급되는 인쇄 필름에 코팅되도록 하는 단계;상기 인쇄 필름에 코팅된 인쇄 패턴에서 레이저 인쇄 패턴을 형성할 영역의 상단에 마스크를 형성한 후 상기 인쇄 패턴을 건조시키는 단계; 및레이저 패터닝 장치를 이용하여 상기 레이저 인쇄 패턴을 형성할 영역에 레이저 패턴을 형성하는 단계를 포함함을 특징으로 하는 인쇄 패턴 형성 방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 건조 단계는 열풍 건조, 적외선 건조, 자외선 건조 중 하나에 의해 건조함을 특징으로 하는 인쇄 패턴 형성 방법
3 3
제 2항에 있어서, 상기 건조 단계 이후에, 상기 인쇄 필름에 코팅된 잉크의 위치에 따라 상기 레이저 패터닝 장치의 위치를 정렬하는 정렬 단계를 수행함을 특징으로 하는 인쇄 패턴 형성 방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 잉크는 메탈 잉크, 메탈나노와이어, 산화물잉크, 고분자잉크 중 어느 하나임을 특징으로 하는 인쇄 패턴 형성 방법
5 5
제 1항에 있어서, 상기 레이저 패턴을 형성하는 단계는,상기 잉크에 따라 상기 레이저 패터닝 장치에서 출사되는 레이저의 파장, 파워, 스캔 속도, 펄스 반복률, 펄스폭 중 적어도 어느 하나를 변경함을 특징으로 하는 인쇄 패턴 형성 방법
6 6
인쇄 패턴을 형성하고 있는 인쇄롤의 일부를 잉크가 보관되어 있는 용액조에 내부에서 회전시켜 상기 인쇄 패턴에 잉크가 코팅되도록 하는 단계;상기 인쇄 패턴에 코팅된 상기 잉크가 상기 인쇄롤과 밀착되어 회전하는 가압롤 사이로 공급되는 인쇄 필름에 코팅되도록 하는 단계;레이저 패터닝 장치를 이용하여 상기 인쇄 필름에 코팅된 인쇄 패턴에서 레이저 패턴을 형성하는 단계; 및상기 레이저 패턴이 형성된 영역의 상단에 마스크를 형성한 후 상기 인쇄 패턴을 건조시키는 단계를 포함함을 특징으로 하는 인쇄 패턴 형성 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 전자부품연구원 (중기청)제조현장녹색화 기술개발사업 진공 증착법과 노광/에칭공정을 제거한 5um선폭구현이 가능한 Semi-additive법 연성회로 기판 제작 기술 개발