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기판에 패턴을 형성하는 장치에 있어서, 패턴을 형성하고자 하는 감광제가 도포된 기판이 이동 가능하도록 상기 기판이 상부에 얹혀진 가이드와, 상기 가이드 상측에 설치되는 마스크와, 상기 가이드에 접하는 방향으로 노광용 빔을 조사하는 빔장치와, 상기 가이드를 회전시키는 구동부와, 상기 기판의 양끝을 각각 감거나 풀도록 하여 상기 기판을 고정하거나 기판의 이송을 도와주는 보조 가이드를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 패턴 제작 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 구동부는 상기 가이드와 상기 마스크의 위치 및 방향을 미세 조정하기 위한 정밀 정렬 장치를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 패턴 제작 장치
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제 1 항에 있어서,상기 기판은 상기 가이드 위를 지나가거나 상기 가이드에 감기도록 안착되는 것을 특징으로 하는 패턴 제작 장치
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삭제
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삭제
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제 1 항에 있어서, 상기 노광 장치는 상기 마스크의 개구부 이외에는 상기 빔장치에서 방출되는 노광용 빔이 통과하지 못하도록 하는 가리개를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 패턴 제작 장치
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제 1 항에 있어서,상기 노광 장치는 상기 빔장치에서 방출되는 빔이 상기 감광제에 골고루 조사되도록 상기 기판이 얹혀있는 상기 가이드를 좌, 우로 흔들어주는 보조 구동부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 패턴 제작 장치
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8
제 1 항에 있어서, 상기 노광 장치는 상기 빔장치에서 방출되는 빔이 상기 감광제에 골고루 조사되도록 상기 빔장치를 흔들어주는 빔장치 구동부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 패턴 제작 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 마스크는 상기 감광제의 단면에 수직하게 위치하는 것을 특징으로 하는 패턴 제작 장치
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감광제가 도포된 기판을 가이드에 위치시키는 제 1 단계와, 빔 장치로부터 노광용 빔을 방출하여 상기 가이드에 접하는 방향으로 상기 감광제를 향하여 조사시키는 제 2 단계와, 상기 가이드를 회전하여 상기 기판의 위치를 이동시키는 제 3 단계를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 패턴 제작 방법
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제 10 항에 있어서, 상기 제 2 단계에서 노광용 빔은 상기 마스크 패턴에 수직으로 조사되는 것을 특징으로 하는 패턴 제작 방법
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제 10 항에 있어서,상기 제 3 단계에서 상기 기판에 도포된 감광제는 상기 기판이 얹혀진 가이드의 반지름과 상기 롤러가 회전한 각도의 곱으로 결정되는 상기 감광제의 이동 시간동안 노광되는 것을 특징으로 하는 패턴 제작 방법
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제 10 항에 있어서,상기 제 3 단계는 상기 감광제의 노광 정도가 상기 기판이 얹혀진 가이드의 회전 속도에 따라 조정되는 조정 과정을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 패턴 제작 방법
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제 10 항에 있어서,상기 제 3 단계는 상기 감광제의 노광 정도가 상기 기판이 얹혀진 가이드의 회전 속도에 따라 조정되는 조정 과정을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 패턴 제작 방법
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