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이동식 급속 열처리를 이용한 인쇄 박막 형성 방법 및 이를 이용하여 형성된 인쇄 박막

  • 기술번호 : KST2014037044
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 이동식 급속 열처리를 이용한 인쇄 박막 형성방법 및 이를 이용하여 형성된 인쇄 박막이 개시된다. 본 발명의 이동식 급속 열처리를 이용한 인쇄 박막 형성방법은 금속 나노입자를 용매와 분산제를 포함하는 유기 첨가제와 혼합하여 금속 나노입자 잉크를 형성하는 단계; 상기 금속 나노입자 잉크를 기판에 도포하는 단계; 및 상기 금속 나노입자 잉크가 도포된 기판을 관형의 이동식 열원을 갖는 이동식 급속 열처리 장치를 사용하여 수평으로 이동하면서 급속 열처리하여, 상기 유기 첨가제를 신속하게 제거하면서 금속 나노입자를 조밀한 결정립으로 성장시키는 단계를 포함한다. 본 발명의 이동식 급속 열처리를 이용하여 형성한 인쇄 박막은 두께 방향으로 균일한 미세구조를 가지며, 낮은 비저항을 갖는다. 또한, 이동식 급속 열처리는 열처리 시간이 짧으며, 실온에서 진행하면서도 건조 공정이 별도로 필요하지 않아 공정이 간단하다.
Int. CL H01L 21/324 (2017.01.01) H01L 21/288 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC H01L 21/324(2013.01) H01L 21/324(2013.01) H01L 21/324(2013.01)
출원번호/일자 1020100031849 (2010.04.07)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1107559-0000 (2012.01.12)
공개번호/일자 10-2011-0112631 (2011.10.13) 문서열기
공고번호/일자 (20120131) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.04.07)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 주영창 대한민국 서울특별시 강남구
2 이지훈 대한민국 서울특별시 관악구
3 김나래 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김진원 대한민국 경기도 군포시 고산로 ***, ***호 진성국제특허법률사무소 (당정동, 맥시움빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2010.04.07 수리 (Accepted) 1-1-2010-0221537-16
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2010.04.15 수리 (Accepted) 1-1-2010-0239725-58
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.03.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.04.12 수리 (Accepted) 9-1-2011-0030046-63
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.06.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0306594-05
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.08.01 수리 (Accepted) 1-1-2011-0592044-44
7 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2011.08.01 수리 (Accepted) 1-1-2011-0592102-05
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.08.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0592016-76
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.27 수리 (Accepted) 4-1-2011-5195109-43
10 등록결정서
Decision to grant		 2012.01.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0016440-48
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-5007213-54
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
금속 나노입자를 용매와 분산제를 포함하는 유기 첨가제와 혼합하여 금속 나노입자 잉크를 형성하는 단계;상기 금속 나노입자 잉크를 기판에 도포하는 단계; 및상기 금속 나노입자 잉크가 도포된 기판을 관형의 이동식 열원을 갖는 이동식 급속 열처리(Moving Rapid Thermal Annealing) 장치를 사용하여 수평으로 이동하면서 급속 열처리하여, 상기 유기 첨가제를 신속하게 제거하면서 금속 나노입자를 조밀한 결정립으로 성장시키는 단계를 포함하는 이동식 급속 열처리를 이용한 인쇄 박막 형성방법
2 2
제1항에 있어서,상기 이동식 급속 열처리에서 기판의 가열 속도(heating rate or ramping rate)는 50℃ 내지 200℃/min 로 열처리하는 것을 특징으로 하는 이동식 급속 열처리를 이용한 인쇄 박막 형성방법
3 3
제1항에 있어서,상기 이동식 급속 열처리의 박막에서의 최고 온도는 300℃ 내지 1000℃ 인 것을 특징으로 하는 이동식 급속 열처리를 이용한 인쇄 박막 형성방법
4 4
제1항에 있어서,상기 관형의 이동식 열원의 이동 속도는 0
5 5
제1항에 있어서,상기 금속 나노입자는 금, 은, 동, 백금, 납, 인듐, 팔라듐, 로듐, 루테늄, 이리듐, 오스뮴, 텅스텐, 니켈, 탄탈, 비스무스, 주석, 아연, 티탄, 알루미늄, 코발트, 철 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 도전성 재료인 것을 특징으로 하는 이동식 급속 열처리를 이용한 인쇄 박막 형성방법
6 6
제1항에 있어서,상기 금속 나노입자는 평균 입경이 5 내지 100nm 인 것을 특징으로 하는 이동식 급속 열처리를 이용한 인쇄 박막 형성방법
7 7
제1항에 있어서,상기 잉크 조성물을 기판에 도포하는 방법은 스크린 인쇄, 잉크젯 프린트 방식, 그라비아 방식, 스핀코팅 방식, 스프레이 코팅방식 또는 오프셋 인쇄방법의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 이동식 급속 열처리를 이용한 인쇄 박막 형성방법
8 8
제1항에 있어서,상기 기판은 금속, 실리콘(Si), 유기소재 기판 또는 금속 포일(foil)인 것을 특징으로 하는 이동식 급속 열처리를 이용한 인쇄 박막 형성방법
9 9
제1항에 있어서,상기 이동식 급속 열처리는 롤-투-롤(roll-to-roll) 공정에 적용하는 것을 특징으로 하는 이동식 급속 열처리를 이용한 인쇄 박막 형성방법
10 10
제1항 내지 제9항 중 어느 한 항의 방법으로 형성된 이동식 급속 열처리를 이용한 인쇄 박막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.