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산화물층 및 양자점층으로 이루어진 채널을 포함하는 트랜지스터(Transistor with channel including oxide layer and quantum layer)

  • 기술번호 : KST2015229177
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 산화물층 및 양자점층으로 이루어진 채널을 포함하는 트랜지스터가 개시된다. 개시된 트랜지스터는 백 게이트 기판과, 상기 기판 상의 게이트 절연층과, 상기 게이트 절연층 상에서 산화물층과, 반도체 나노층으로 이루어진 적층구조의 채널층과, 상기 채널층의 양단과 각각 연결된 소스 전극 및 드레인 전극을 포함한다. 상기 반도체 나노층은 양자점층 또는 반도체 나노와이어층일 수 있다.
Int. CL H01L 29/786 (2006.01.01) H01L 21/336 (2006.01.01)
CPC H01L 29/7869(2013.01) H01L 29/7869(2013.01) H01L 29/7869(2013.01)
출원번호/일자 1020140071069 (2014.06.11)
출원인 삼성전자주식회사, 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0142374 (2015.12.22) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.05.29)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 삼성전자주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조경상 대한민국 경기도 과천시 양
2 허근 대한민국 서울특별시 종로구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.06.11 수리 (Accepted) 1-1-2014-0547015-90
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2019.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2019-0551566-57
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.09.27 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.11.07 수리 (Accepted) 9-1-2019-0049609-99
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.10.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0712799-25
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번호 청구항
1 1
백 게이트 기판;상기 기판 상의 게이트 절연층;상기 게이트 절연층 상에서 산화물층 및 반도체 나노층으로 이루어진 적층구조의 채널층; 및상기 채널층의 양단과 각각 연결된 소스 전극 및 드레인 전극을 구비하는 트랜지스터
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 백 게이트는 도전성 폴리머를 포함하는 트랜지스터
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 반도체 나노층은 복수의 양자점을 포함하는 양자점층 또는 복수의 나노와이어가 네트워크로 형성된 반도체 나노와이어층인 트랜지스터
4 4
제 3 항에 있어서,상기 채널층은 상기 게이트 절연층 상에 순차적으로 적층된 제1 산화물층 및 상기 양자점층을 구비한 트랜지스터
5 5
제 4 항에 있어서,상기 양자점층 상의 제2 산화물층을 더 구비하는 트랜지스터
6 6
제 3 항에 있어서,상기 양자점층은 10nm ~ 100nm 두께를 가지는 트랜지스터
7 7
제 3 항에 있어서,상기 양자점은 CdS, CdSe, CdTe, ZnS, ZnSe, ZnTe, ZnO, HgS, HgSe, HgTe, CdSeS, CdSeTe, CdSTe, ZnSeS, ZnSeTe, ZnSTe, HgSeS, HgSeTe, HgSTe, CdZnS, CdZnSe, CdZnTe, CdHgS, CdHgSe, CdHgTe, HgZnS, HgZnSe, CdHgZnTe, CdZnSeS, CdZnSeTe, CdZnSTe, CdHgSeS, CdHgSeTe, CdHgSTe, HgZnSeS, HgZnSeTe, HgZnSTe; GaN, GaP, GaAs, GaSb, AlN, AlP, AlAs, AlSb, InN, InP, InAs, InSb, GaNP, GaNAs, GaNSb, GaPAs, GaPSb, AlNP, AlNAs, AlNSb, AlPAs, AlPSb, InNP, InNAs, InNSb, InPAs, InPSb, GaAlNP, GaAlNAs, GaAlNSb, GaAlPAs, GaAlPSb, GaInNP, GaInNAs, GaInNSb, GaInPAs, GaInPSb, InAlNP, InAlNAs, InAlNSb, InAlPAs, InAlPSb; SnS, SnSe, SnTe, PbS, PbSe, PbTe, SnSeS, SnSeTe, SnSTe, PbSeS, PbSeTe, PbSTe, SnPbS, SnPbSe, SnPbTe, SnPbSSe, SnPbSeTe, SnPbSTe; Si, Ge, SiC, SiGe 또는 이들의 2 이상의 조합을 포함하는 트랜지스터
8 8
제 7 항에 있어서, 상기 양자점은 코어, 코어-쉘 구조 또는 코어-쉘-쉘 구조를 갖는 트랜지스터
9 9
제 3 항에 있어서, 상기 양자점은 CdSe 코어, InP 코어, CdSe/CdS 코어-쉘, InP/ZnS 코어-쉘, CdSe/CdS/ZnS 코어-쉘-쉘 중 선택된 구조를 포함하며, 상기 산화물은 SIZO로 이루어진 트랜지스터
10 10
제 1 항에 있어서, 상기 기판은 전도성 폴리머로 이루어지며, 상기 제1 산화물층 및 제2 산화물층은 각각 비정질층이며, 상기 게이트 절연층은 비정질 실리콘층 또는 폴리머층인 유연한 트랜지스터
11 11
플라스틱 기판;상기 기판 상에서 산화물층 및 반도체 나노층으로 이루어진 적층구조의 채널층;상기 채널층 상의 게이트 절연층 및 게이트 전극; 및상기 채널층의 양단과 각각 연결된 소스 전극 및 드레인 전극을 구비하는 트랜지스터
12 12
제 11 항에 있어서, 상기 반도체 나노층은 복수의 양자점을 포함하는 양자점층 또는 복수의 나노와이어가 네트워크로 형성된 반도체 나노와이어층인 트랜지스터
13 13
제 12 항에 있어서, 상기 채널층은 상기 기판 상에 순차적으로 적층된 양자점층 및 제1 산화물층을 포함하는 트랜지스터
14 14
제 13 항에 있어서,상기 채널층은 상기 양자점층 및 상기 기판 사이에 제2 산화물층을 더 구비하는 트랜지스터
15 15
제 12 항에 있어서,상기 양자점층은 10nm ~ 100nm 두께를 가지는 트랜지스터
16 16
제 15 항에 있어서,상기 양자점은 CdS, CdSe, CdTe, ZnS, ZnSe, ZnTe, ZnO, HgS, HgSe, HgTe, CdSeS, CdSeTe, CdSTe, ZnSeS, ZnSeTe, ZnSTe, HgSeS, HgSeTe, HgSTe, CdZnS, CdZnSe, CdZnTe, CdHgS, CdHgSe, CdHgTe, HgZnS, HgZnSe, CdHgZnTe, CdZnSeS, CdZnSeTe, CdZnSTe, CdHgSeS, CdHgSeTe, CdHgSTe, HgZnSeS, HgZnSeTe, HgZnSTe; GaN, GaP, GaAs, GaSb, AlN, AlP, AlAs, AlSb, InN, InP, InAs, InSb, GaNP, GaNAs, GaNSb, GaPAs, GaPSb, AlNP, AlNAs, AlNSb, AlPAs, AlPSb, InNP, InNAs, InNSb, InPAs, InPSb, GaAlNP, GaAlNAs, GaAlNSb, GaAlPAs, GaAlPSb, GaInNP, GaInNAs, GaInNSb, GaInPAs, GaInPSb, InAlNP, InAlNAs, InAlNSb, InAlPAs, InAlPSb; SnS, SnSe, SnTe, PbS, PbSe, PbTe, SnSeS, SnSeTe, SnSTe, PbSeS, PbSeTe, PbSTe, SnPbS, SnPbSe, SnPbTe, SnPbSSe, SnPbSeTe, SnPbSTe; Si, Ge, SiC, SiGe 또는 이들의 2 이상의 조합을 포함하는 트랜지스터
17 17
제 16 항에 있어서, 상기 양자점은 코어, 코어-쉘 구조 또는 코어-쉘-쉘 구조를 갖는 트랜지스터
18 18
제 17 항에 있어서, 상기 양자점은 CdSe 코어, InP 코어, CdSe/CdS 코어-쉘, InP/ZnS 코어-쉘, CdSe/CdS/ZnS 코어-쉘-쉘 중 선택된 구조를 포함하며, 상기 산화물은 SIZO로 이루어진 트랜지스터
19 19
제 11 항에 있어서, 상기 기판은 플라스틱으로 이루어지며, 상기 제1 산화물층 및 제2 산화물층은 각각 비정질층이며, 상기 게이트 절연층은 비정질 실리콘층 또는 폴리머층인 유연한 트랜지스터
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.