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수소 센서 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2020013823
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 따른 수소 센서는, 상면에 양극(Anode) 및 음극(Cathod)이 마련되는 플렉시블 기판; 상기 플렉시블 기판의 상기 상면 상에서 상기 양극과 연결되는 실리콘 박막; 상기 음극과 연결되어 상기 실리콘 박막의 상면과 접하고, 수소 기체와 반응하는 감지부를 포함한다.
Int. CL G01N 27/12 (2006.01.01) G01N 33/00 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/762 (2006.01.01)
CPC G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01) G01N 27/12(2013.01)
출원번호/일자 1020190034623 (2019.03.26)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0113851 (2020.10.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.03.26)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박인규 대전광역시 유성구
2 조민규 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 제일특허법인(유) 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2019.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2019-0310798-02
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.12.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2020.02.13 수리 (Accepted) 9-1-2020-0006172-11
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
7 심사처리보류(연기)보고서
Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination		 2020.07.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0103548-33
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0669619-27
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.11.30 수리 (Accepted) 1-1-2020-1294743-73
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.11.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-1294744-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
상면에 양극(Anode) 및 음극(Cathod)이 마련되는 플렉시블 기판;상기 플렉시블 기판의 상기 상면 상에서 전사(Transfer)되고, 상기 양극과 연결되는 실리콘 박막; 및상기 음극과 연결되어 상기 실리콘 박막의 상면과 접하고, 수소 기체와 반응하는 감지부를 포함하는수소 센서
2 2
제 1 항에 있어서,상기 감지부는,팔라듐(Palladium)으로 구성되는수소 센서
3 3
제 1 항에 있어서,상기 감지부는,상기 실리콘 박막의 상기 상면에서 상기 실리콘 박막을 가로지르도록 마련되는수소 센서
4 4
제 3 항에 있어서,상기 감지부는,소정의 폭을 가지고, 소정의 간격만큼 이격되어 상기 실리콘 박막을 가로지르는 복수의 감지 라인을 포함하는수소 센서
5 5
제 1 항에 있어서,상기 감지부와 반응하는 상기 수소 기체의 농도에 따라 상기 수소 센서의 내부 전류 또는 저항 중 적어도 하나가 변화하는수소 센서,
6 6
플렉시블 기판의 상면에 실리콘 박막을 전사(Transfer)하는 단계;상기 실리콘 박막의 상면에 접하도록 감지부를 증착하는 단계; 및상기 실리콘 박막과 연결되는 양극(Anode) 및 상기 감지부와 연결되는 음극(Cathod)을 상기 플렉시블 기판의 상기 상면에 증착하는 단계를 포함하는수소 센서의 제조 방법
7 7
제 6 항에 있어서,상기 감지부를 증착하는 단계는,팔라듐(Palladium)으로 구성되는 상기 감지부를 상기 실리콘 박막의 상기 상면에 증착하는수소 센서의 제조 방법
8 8
제 6 항에 있어서,상기 감지부를 증착하는 단계는,상기 실리콘 박막의 상기 상면에서 상기 실리콘 박막을 가로지르도록 상기 감지부를 증착하는수소 센서의 제조 방법
9 9
제 8 항에 있어서,상기 감지부를 증착하는 단계는,소정의 폭을 가지고, 소정의 간격만큼 이격되어 상기 실리콘 박막을 가로지르도록 복수의 감지 라인을 증착하는수소 센서의 제조 방법
10 10
제 6 항에 있어서,SOI(Silicon-on-Insulator) 기판 상면에 마련되는 실리콘 필름층을 식각하는 단계;불산 용액을 이용하여 상기 SOI 기판 중 상기 실리콘 필름층 하면의 산화물층을 용해시키는 단계; 및상기 식각된 실리콘 필름층을 스탬핑(Stamping)하여 상기 실리콘 박막을 획득하는 단계를 더 포함하는수소 센서의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 연세대학교 집단연구지원(R＆D) 초정밀 광 기계기술 연구센터
2 과학기술정보통신부 한국과학기술원 개인기초연구(과기정통부)(R＆D) 올인원 스마트 스킨을 위한 웨어러블 멀티센서 시스템 핵심기술 연구