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기판 상에 배치된 제1 전극과, 상기 기판 상에 배치되고 상기 제1 전극과 이격되어 배치된 제2 전극에 각각 고정되어 전기적으로 연결되며, 상기 기판 상에 공중 부유되는 공중 부유형 나노와이어에 있어서,상기 공중 부유형 나노와이어의 길이방향과 직교하는 방향의 단면은 하나 이상의 굴곡부를 포함하는, 공중 부유형 나노와이어
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제 1 항에 있어서,상기 굴곡부는 기준면; 및 상기 기준면으로부터 하측 또는 상측으로 연장 형성된 하나 이상의 측면;을 포함하는, 공중 부유형 나노와이어
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3
제 2 항에 있어서,상기 측면은 일단이 상기 기준면의 일단과 접하고, 타단이 상기 기준면으로부터 하측으로 연장 형성된, 공중 부유형 나노와이어
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4
제 2 항에 있어서,상기 단면은 상기 기준면을 기준으로 외측으로 연장되는 제1영역; 및 상기 기준면을 기준으로 외측으로 연장되는 제2영역;을 포함하는 기역(ㄱ)자 또는 니은(ㄴ)자 형상인, 공중 부유형 나노와이어
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제 4 항에 있어서,상기 제1영역의 최대 높이와 상기 제2영역의 최대 높이는 같거나 다른, 공중 부유형 나노와이어
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6
제 2 항에 있어서,상기 측면은 일단이 상기 기준면의 일단과 접하고, 타단이 상기 기준면으로부터 하측으로 연장 형성된 제1 측면; 및 일단이 상기 기준면의 타단과 접하고 타단이 상기 기준면으로부터 하측으로 연장 형성된 제2 측면;을 포함하는, 공중 부유형 나노와이어
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7
제 6 항에 있어서,상기 단면은 상기 기준면을 기준으로 외측으로 연장되는 제1영역; 상기 제1 측면을 기준으로 외측으로 연장되는 제2영역; 및상기 제2 측면을 기준으로 외측으로 연장되는 제3영역;을 포함하는 디귿(ㄷ)자 형상인, 공중 부유형 나노와이어
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8
제 7 항에 있어서,상기 제2영역의 최대 높이는 상기 제3영역의 최대 높이와 같거나 다르고,상기 제1영역의 최대 높이는 상기 제2영역의 최대 높이와 상기 제3영역의 최대 높이 중 더 높은 값보다 높거나 같은, 공중 부유형 나노와이어
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9
제 1 항에 있어서,상기 제1 전극과 상기 제2 전극은 열전 소자, 압전 소자, 나노와이어 히터, 트랜지스터, 화학 센서, 적외선 발광기 중 어느 하나의 구성인, 공중 부유형 나노와이어
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10
기판 상에 배치된 제1 전극과, 상기 기판 상에 배치되고 상기 제1 전극과 이격되어 배치된 제2 전극에 각각 고정되어 전기적으로 연결되며, 상기 기판 상에 공중 부유되는 공중 부유형 나노와이어의 제조 방법에 있어서,돌출부를 하나 이상 포함하는 상기 기판을 제공하는 기판 제공 단계;상기 돌출부의 일 측 또는 타 측, 중 어느 하나 이상의 입사 방향으로 소정 각도 경사지게 증착물질을 분사하여 증착하는 증착 단계; 및상기 증착 단계에 의해 단면이 하나 이상의 굴곡부를 포함하여 형성되는 공중 부유형 나노와이어를 상기 기판으로부터 분리하는 분리 단계;를 포함하는, 공중 부유형 나노와이어의 제작방법
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11
제 10 항에 있어서,상기 증착 단계는상기 돌출부의 일 측의 입사 방향으로 소정 각도 경사지게 상기 증착물질을 분사하여 상기 돌출부의 상면과 상기 돌출부의 일 측면에 상기 증착물질을 성장하는 단계인, 공중 부유형 나노와이어의 제작방법
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제 11 항에 있어서,상기 돌출부의 상면에 성장된 상기 증착물질의 최대 높이는 상기 돌출부의 일 측면에 성장된 상기 증착물질의 최대 높이보다 높거나 같은, 공중 부유형 나노와이어의 제작방법
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제 10 항에 있어서,상기 증착 단계는상기 돌출부의 일 측의 입사 방향으로 소정 각도 경사지게 상기 증착물질을 분사하여 증착하는 제1 증착단계; 및상기 돌출부의 타 측의 입사 방향으로 소정 각도 경사지게 상기 증착물질을 분사하여 증착하는 제2 증착단계; 를 포함하고,상기 제1 증착단계와 상기 제2 증착단계의 경사 각도는 서로 같거나 다른, 공중 부유형 나노와이어의 제작방법
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제 13 항에 있어서,상기 돌출부의 일 측면에 성장된 상기 증착물질의 최대 높이와 상기 돌출부의 타 측면에 성장된 상기 증착물질의 최대 높이는 같거나 다르고,상기 돌출부의 상면에 성장된 상기 증착물질의 최대 높이는 상기 돌출부의 일 측면에 성장된 상기 증착물질의 최대 높이와 상기 돌출부의 타 측면에 성장된 상기 증착물질의 최대 높이 중 더 높은 값보다 높거나 같은, 공중 부유형 나노와이어의 제작방법
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