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면지수가 {110}인 실리콘 기판으로 이루어지며 유체를 저장하기 위한 리저버(reservoir)를 포함하는 몸체부; 및면지수가 {110}인 실리콘 기판으로 이루어지고, 상기 몸체부의 일부분에 일체로 연결되며 미세채널이 형성된 적어도 하나의 연장부를 포함하고, 상기 연장부의 팁(tip)의 형상은 상기 연장부를 상기 기판의 003c#110003e# 방향으로 투영시킬 경우, 팁의 각도가 5°내지 30°중 선택된 어느 하나의 각도를 갖는 것을 특징으로 하는 미세바늘
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제 1 항에 있어서,상기 연장부의 미세채널은 상기 몸체부의 리저버까지 연장된 것을 특징으로 하는 미세바늘
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제 1 항에 있어서,상기 연장부의 팁의 형상은 상기 연장부를 상기 기판의 003c#110003e# 방향으로 투영시킬 경우, 편평하거나(flat), 상기 연장부의 한 측면을 기준으로 다른 측면이 10° 또는 70
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면지수가 {110}인 실리콘 기판의 상면 또는 하면에 유체를 저장하기 위한 리저버(reservoir)를 포함하는 몸체부; 및면지수가 {110}인 실리콘 기판으로 이루어지고, 상기 몸체부의 일부분에 일체로 연결되며 상기 기판의 상면 또는 하면에 적어도 하나 형성된 연장부를 포함하고, 상기 연장부의 팁의 형상은 상기 연장부의 팁을 상기 기판의 003c#110003e# 방향으로 투영시킬 경우, 팁의 각도가 5°내지 30°중 선택된 어느 하나의 각도를 갖는 것을 특징으로 하는 미세 바늘
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제 5 항에 있어서,상기 연장부는 미세채널이 형성된 것을 특징으로 하는 미세바늘
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제 6 항에 있어서,상기 연장부에 형성된 미세채널은 상기 몸체부의 리저버까지 연장된 것을 특징으로 하는 미세바늘
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삭제
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제 5 항에 있어서,상기 연장부의 팁의 형상은 상기 연장부의 팁을 상기 기판의 003c#110003e# 방향으로 투영시킬 경우, 편평하거나(flat), 상기 연장부의 한 측면을 기준으로 다른 측면이 10° 또는 70
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제 1 항 또는 제 5 항에 있어서,상기 몸체부와 상기 연장부 사이에 변형감지 센서를 더 포함하는 미세바늘
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제 1 항 또는 제 6 항에 있어서,상기 미세채널 상에 글래스 덮개를 더 포함하는 미세바늘
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제 1 항 또는 제 5 항에 있어서,상기 연장부의 팁을 제외한 상기 연장부의 측벽들은 {111} 면을 따라 정렬된 것을 특징으로 하는 미세바늘
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면지수가 {110}인 실리콘 기판을 제공하는 단계;상기 기판에 에칭 마스크를 형성하는 단계;상기 기판에 미세채널과 리저버의 패턴을 형성하는 단계;상기 기판 상부 또는 하부에 연장부를 형성하는 단계;상기 에칭 마스크를 제거하는 단계; 및상기 미세채널 또는 상기 리저버 상에 덮개를 형성하는 단계를 포함하는 미세바늘의 제조방법
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제 13 항에 있어서,상기 에칭 마스크는 질화규소(Si3N4) 또는 이산화규소(SiO2)로 이루어진 것을 특징으로 하는 미세바늘의 제조방법
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제 13 항에 있어서,상기 미세채널 또는 상기 리저버 상에 형성되는 덮개는 양극접합에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 미세바늘의 제조방법
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