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기판과;
상기 기판 상에 적층되며, 유체가 수용되는 적어도 한 쌍의 챔버 및 상기 한 쌍의 챔버 사이에 연결되고 상기 한 쌍의 챔버 중 어느 하나에 수용된 유체를 다른 하나로 안내하는 유동채널이 형성된 제1레이어(layer)와;
상기 제1레이어 상에 적층되며, 상기 유동채널과 십자 형상을 이루며 배치 형성되고, 상기 유동채널의 횡단면의 형상 및 면적 중 적어도 하나가 변화되고, 상기 유동채널의 저면에 단차가 형성된 상기 유동채널의 경계를 외부로부터의 가압력에 기초하여 상기 유동채널의 경계를 가압 및 가압 해제하는 제어채널을 갖는 제2레이어(layer)를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세유체소자
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제1항에 있어서,
상기 유동채널은,
상기 유동채널의 경계와 유체가 수용된 상기 챔버에 연결된 제1유동채널부와, 상기 유동채널의 경계와 유체가 피수용된 상기 챔버에 연결된 제2유동채널부를 포함하며,
상기 제1유동채널부의 횡단면의 면적은 상기 제2유동채널부의 횡단면의 면적보다 작은 것을 특징으로 하는 미세유체소자
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제2항에 있어서,
상기 제1유동채널부의 횡단면의 형상은 곡률을 갖는 구형(球形)으로 형성되고, 상기 제2유동채널부의 횡단면의 형상은 다각형 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 미세유체소자
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제2항에 있어서,
상기 한 쌍의 챔버 사이에는 적어도 하나의 상기 유동채널이 연결되는 것을 특징으로 하는 미세유체소자
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제1항에 있어서,
상기 제1레이어와 상기 제2레이어 사이에 개재되어, 상기 제어채널로부터 가압력을 제공 받아 상기 유동채널을 가압하는 박막층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세유체소자
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제1항에 있어서,
상기 제2레이어에는 상기 제어채널에 연결되며, 외부로부터의 가압력을 상기 제어채널에 전달하는 압력전달부가 형성되는 것을 특징으로 하는 미세유체소자
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7
(a) 기판 상에 유체가 수용되는 적어도 한 쌍의 챔버 및 상기 한 쌍의 챔버 중 어느 하나에 수용된 유체를 다른 하나로 안내하도록 상기 한 쌍의 챔버 사이를 연결하는 유동채널이 형성된 제1레이어(layer)를 적층하는 단계와;
(b) 상기 유동채널의 횡단면의 형상 및 면적 중 적어도 하나가 변화되고, 상기 유동채널의 저면에 단차가 형성된 상기 유동채널의 경계를 외부로부터의 가압력을 제공받아 가압 및 가압 해제하는 제어채널이 형성된 제2레이어(layer)를 상기 유동채널과 상기 제어채널이 십자 형상을 이루도록 상기 제1레이어 상에 적층하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세유체소자의 제조방법
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제7항에 있어서,
상기 (a) 단계에서 상기 유동채널의 경계와 유체가 수용된 상기 챔버 사이에 연결되는 상기 유동채널의 횡단면의 면적은 유체가 피수용된 상기 챔버와 상기 유동채널의 경계 사이에 연결되는 상기 유동채널의 횡단면의 면적보다 작은 것을 특징으로 하는 미세유체소자의 제조방법
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제8항에 있어서,
상기 (a) 단계에서 상기 유동채널의 경계와 유체가 수용된 상기 챔버 사이에 연결되는 상기 유동채널의 횡단면의 형상은 곡률을 갖는 구형(球形)으로 형성하고, 유체가 피수용된 상기 챔버와 상기 유동채널의 경계 사이에 연결되는 상기 유동채널의 횡단면의 형상은 다각형 형상으로 형성하는 것을 특징으로 하는 미세유체소자의 제조방법
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제7항에 있어서,
상기 (b) 단계에서 상기 제1레이어와 상기 제2레이어 사이에 상기 제어채널로부터 가압력을 제공 받아 상기 유동채널을 가압하는 박막층을 개재하는 것을 특징으로 하는 미세유체소자의 제조방법
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제2항 또는 제3항에 있어서,
상기 제1유동채널부의 저면은 상기 제2유동채널부의 저면보다 높은 것을 특징으로 하는 미세유체소자
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제8항 또는 제9항에 있어서,
상기 유동채널의 경계와 유체가 수용된 상기 챔버 사이에 연결되는 상기 유동채널의 저면은 유체가 피수용된 상기 챔버와 상기 유동채널의 경계 사이에 연결되는 상기 유동채널의 저면보다 높게 형성하는 것을 특징으로 하는 미세유체소자의 제조방법
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