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나노 구조물 제조 방법
- 기술번호 : KST2015134983
- 담당센터 :
- 전화번호 :
| 요약 | 본 발명은 에너지 조사를 통해 일정한 기울기를 갖는 나노 헤어 구조물을 제조하는 기법에 관한 것으로, 전자빔 리소그라피 방법 또는 탄소나노튜브를 사용하여 수직인 나노 구조물을 제조하거나 혹은 기울어진 노광 공정을 이용하여 마이크로 구조물의 건식 접착제를 제조하는 종래 방식과는 달리, 홀 패턴을 갖는 마스터 몰드를 이용하여 기판 상에 수직형의 고분자 나노 헤어 구조물을 형성하고, 고분자 나노 헤어 구조물에 대해 일정한 각도에서 에너지를 가하여 일정한 기울기를 갖는 경사형 나노 헤어 구조물로 변형시킨다는 것으로, 이를 통해 접착 대상물의 표면 거칠기와 무관하게 균일한 접촉을 하고, 동시에 분자간 인력에 따라 강한 접착력을 실현할 수 있으며, 또한 나노 헤어 구조물의 손상없이 반복적인 사용이 가능한 건식 접착제를 제작할 수 있는 것이다. 또한, 본 발명은 나노 헤어 구조물에 에너지를 가함에 있어서 그 조사 각도를 변형시켜 줌으로써, 후크와 같은 형상으로도 제조할 수 있으며, 이는 벨크로와 같은 탈부착형 접착제로 사용 가능하다. |
|---|---|
| Int. CL | B82B 3/00 (2017.01.01) B82Y 30/00 (2017.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01) |
| CPC | B82B 3/0061(2013.01) B82B 3/0061(2013.01) B82B 3/0061(2013.01) B82B 3/0061(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020080095352 (2008.09.29) |
| 출원인 | 주식회사 미뉴타텍, 서울대학교산학협력단 |
| 등록번호/일자 | 10-1006547-0000 (2010.12.30) |
| 공개번호/일자 | 10-2010-0035952 (2010.04.07) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20110107) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2008.09.29) |
| 심사청구항수 | 42 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 주식회사 미뉴타텍 | 대한민국 | 경기도 오산시 가장 |
| 2 | 서울대학교산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 관악구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 이홍희 | 대한민국 | 서울 관악구 |
| 2 | 김태일 | 대한민국 | 서울특별시 관악구 |
| 3 | 서갑양 | 대한민국 | 서울특별시 관악구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 장성구 | 대한민국 | 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유)) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 주식회사 미뉴타텍 | 대한민국 | 경기도 오산시 가장 |
| 2 | 서울대학교산학협력단 | 대한민국 | 서울특별시 관악구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2008.09.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0682292-01 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2010.09.01 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2010.10.13 | 수리 (Accepted) | 9-1-2010-0061562-92 |
| 4 | 등록결정서 Decision to grant |
2010.10.14 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0458228-40 |
| 5 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.01.07 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5003668-41 |
| 6 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.01.07 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5003671-89 |
| 7 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2011.09.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5195109-43 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2012.10.11 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5211952-16 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.01.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5007213-54 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.06.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-0028755-86 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.03.17 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5033829-92 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.05.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5062924-01 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.05.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5093546-10 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.05.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5101798-31 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.08.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5154561-59 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.11.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5265458-48 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 기판 상에 나노 헤어 구조물을 형성하는 과정과, 상기 나노 헤어 구조물에 기 설정된 일정 각도로 에너지를 가하여 경사형 나노 헤어 구조물로 변형시키는 과정 을 포함하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 2 |
2 제 1 항에 있어서, 상기 경사형 나노 헤어 구조물은, 건식 접착제의 접착면으로 이용되는 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 3 |
3 제 2 항에 있어서, 상기 경사형 나노 헤어 구조물은, 상기 에너지를 가한 방향으로 기울어짐을 갖는 구조물인 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 4 |
4 제 1 항에 있어서, 상기 나노 헤어 구조물은, 용액 공정을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 5 |
5 제 4 항에 있어서, 상기 용액 공정은, 홀 패턴을 갖는 마스터 몰드 상에 용매와 고분자로 된 용액을 형성하는 과정과, 가압 공정을 실시하여 상기 홀 패턴의 내부에 상기 용액을 매립시키는 과정과, 상기 용액에 포함된 용매를 제거하는 과정과, 상기 마스터 몰드로부터 상기 나노 헤어 구조물이 형성된 상기 기판을 탈거하는 과정 을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 6 |
6 제 5 항에 있어서, 상기 방법은, 상기 용액의 형성 전에 상기 마스터 몰드의 표면에 불화 혹은 하이드로카본(hydrocarbon)의 작용기를 포함한 자기조립단분자 처리를 수행하는 과정 을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 7 |
7 제 5 항에 있어서, 상기 방법은, 상기 용액의 형성 전에 상기 마스터 몰드의 표면에 테프론 처리를 수행하는 과정 을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 8 |
8 제 5 항에 있어서, 상기 고분자는, 소프트 PUA, 하드 PUA, 아모포스테프론, 퍼플로로폴리이서(PFPE), 폴리스타이렌(PS) 중 어느 하나의 고분자를 포함하는 유기물인 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 9 |
9 제 5 항에 있어서, 상기 용매 제거는, UV 공정 또는 어닐링 공정을 통해 수행되는 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 10 |
10 제 4 항에 있어서, 상기 용액 공정은, 스핀 코팅 공정을 수행하여 마스터 몰드 상에 형성된 홀 패턴의 내부에 용매와 고분자로 된 용액을 매립시키는 과정과, 상기 용액에 포함된 용매를 제거하는 과정과, 상기 마스터 몰드로부터 상기 나노 헤어 구조물이 형성된 상기 기판을 탈거하는 과정 을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 11 |
11 제 10 항에 있어서, 상기 방법은, 상기 용액의 형성 전에 상기 마스터 몰드의 표면에 불화 혹은 하이드로카본(hydrocarbon)의 작용기를 포함한 자기조립단분자 처리를 수행하는 과정 을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 12 |
12 제 10 항에 있어서, 상기 방법은, 상기 용액의 형성 전에 상기 마스터 몰드의 표면에 테프론 처리를 수행하는 과정 을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 13 |
13 제 10 항에 있어서, 상기 고분자는, 상기 고분자는, 소프트 PUA, 하드 PUA, 아모포스테프론, 퍼플로로폴리이서(PFPE), 폴리스타이렌(PS) 중 어느 하나의 고분자를 포함하는 유기물인 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 14 |
14 제 10 항에 있어서, 상기 스핀 코팅은, 딥 코팅 또는 드라이 캐스팅인 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 15 |
15 제 10 항에 있어서, 상기 용매 제거는, UV 공정 또는 어닐링 공정을 통해 수행되는 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 16 |
16 제 1 항에 있어서, 상기 나노 헤어 구조물은, 진공 증착 공정 또는 모세관력 패터닝 공정을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 17 |
17 제 1 항에 있어서, 상기 방법은, 상기 전자빔의 조사 전에 상기 나노 헤어 구조물에 박막의 표면 개질 물질을 형성하는 과정 을 더 포함하는 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 18 |
18 제 17 항에 있어서, 상기 표면 개질 물질은, 금속 물질인 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 19 |
19 제 18 항에 있어서, 상기 금속 물질은, 백금, 철, 알루미늄, 구리, 니켈, 티타늄, 은, 몰리브덴, 코발트, 텅스텐, 금 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 20 |
20 제 17 항에 있어서, 상기 표면 개질 물질은, 유기물인 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 21 |
21 제 20 항에 있어서, 상기 유기물은, silane 계열 및 thiol 계열의 자기조립단분자, 모듈러스(modulus)가 상대적으로 큰 고분자와 저분자, 접착력이 상대적으로 강한 고분자 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 22 |
22 제 1 항에 있어서, 상기 에너지는, 빔 에너지, 광선 에너지, 열 에너지 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 23 |
23 제 22 항에 있어서, 상기 빔 에너지는, 전자빔 에너지 또는 이온빔 에너지인 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 24 |
24 제 23 항에 있어서, 상기 전자빔 에너지는, 엑시머 레이저, 극 자외선, X-레이 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 25 |
25 제 22 항에 있어서, 상기 광선 에너지는, 적외선, 자외선, 가시광선 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 26 |
26 제 22 항에 있어서, 상기 열 에너지는, 대류를 통한 열 에너지, 전도를 통한 열 에너지, 적외선(IR) 램프를 통한 적외선 에너지 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 27 |
27 제 1 항에 있어서, 상기 경사형 나노 헤어 구조물의 경사각은, 상기 에너지의 가속 전압과 조사시간에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 28 |
28 제 1 항에 있어서, 상기 경사형 나노 헤어 구조물의 경사각은, 상기 에너지의 조사 각도에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 29 |
29 제 28 항에 있어서, 상기 경사형 나노 헤어 구조물은, 그 선단 부분이 후크 형상을 갖는 나노 벨크로 구조물인 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 30 |
30 패터닝 공정을 수행하여 기판 상에 다수의 하부 패턴 구조물을 형성하는 과정과, 상기 다수의 각 하부 패턴 구조물 상에 고분자의 나노 헤어 구조물을 형성하는 과정과, 상기 나노 헤어 구조물에 기 설정된 일정 각도로 에너지를 가하여 경사형 나노 헤어 구조물로 변형시키는 과정 을 포함하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 31 |
31 제 30 항에 있어서, 상기 경사형 나노 헤어 구조물은, 건식 접착제의 접착면으로 이용되는 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 32 |
32 제 31 항에 있어서, 상기 경사형 나노 헤어 구조물은, 상기 에너지를 가한 방향으로 기울어짐을 갖는 구조물인 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 33 |
33 제 30 항에 있어서, 상기 다수의 하부 패턴 구조물은, 노광 공정, 임프린트 공정, 모세관력 패터닝 공정 중 어느 한 공정을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 34 |
34 제 30 항에 있어서, 상기 나노 헤어 구조물은, 나노 임프린트 공정, 모세관력 패터닝 공정, 전사 공정 중 어느 한 공정을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 35 |
35 제 30 항 내지 제 34 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 에너지는, 빔 에너지, 광선 에너지, 열 에너지 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 36 |
36 제 35 항에 있어서, 상기 빔 에너지는, 전자빔 에너지 또는 이온빔 에너지인 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 37 |
37 제 36 항에 있어서, 상기 전자빔 에너지는, 엑시머 레이저, 극 자외선, X-레이 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 38 |
38 제 35 항에 있어서, 상기 광선 에너지는, 적외선, 자외선, 가시광선 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 39 |
39 제 35 항에 있어서, 상기 열 에너지는, 대류를 통한 열 에너지, 전도를 통한 열 에너지, 적외선(IR) 램프를 통한 적외선 에너지 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 40 |
40 제 30 항 내지 제 34 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 경사형 나노 헤어 구조물의 경사각은, 상기 에너지의 가속 전압과 조사시간에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 41 |
41 제 30 항 내지 제 34 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 경사형 나노 헤어 구조물의 경사각은, 상기 에너지의 조사 각도에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 42 |
42 제 41 항에 있어서, 상기 경사형 나노 헤어 구조물은, 그 선단 부분이 후크 형상을 갖는 나노 벨크로 구조물인 것을 특징으로 하는 나노 구조물 제조 방법 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1006547-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20080929 출원 번호 : 1020080095352 공고 연월일 : 20110107 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20101014 청구범위의 항수 : 42 유별 : B82B 3/00 발명의 명칭 : 나노 구조물 제조 방법 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 주식회사 미뉴타텍 경기도 오산시 가장... |
| 1 |
(권리자) 서울대학교산학협력단 서울특별시 관악구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 841,500 원 | 2010년 12월 30일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 964,000 원 | 2013년 12월 27일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 674,800 원 | 2014년 12월 16일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 674,800 원 | 2015년 12월 28일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 1,187,200 원 | 2016년 12월 28일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 1,696,000 원 | 2018년 01월 02일 | 납입 |
| 제 9 년분 | 금 액 | 1,696,000 원 | 2018년 12월 12일 | 납입 |
| 제 10 년분 | 금 액 | 2,550,000 원 | 2019년 11월 06일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2008.09.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0682292-01 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 | 2010.09.01 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 | 2010.10.13 | 수리 (Accepted) | 9-1-2010-0061562-92 |
| 4 | 등록결정서 | 2010.10.14 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2010-0458228-40 |
| 5 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.01.07 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5003668-41 |
| 6 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.01.07 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5003671-89 |
| 7 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2011.09.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2011-5195109-43 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2012.10.11 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5211952-16 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.01.14 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5007213-54 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.06.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-0028755-86 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.03.17 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5033829-92 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.05.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5062924-01 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.05.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5093546-10 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.05.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5101798-31 |
| 15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.08.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5154561-59 |
| 16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.11.25 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5265458-48 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1345071015 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 과C6A1903 |
| 연구과제명 | 화공분야연구인력양성사업단 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국학술진흥재단 |
| 연구주관기관명 | 서울대학교 |
| 성과제출연도 | 2008 |
| 연구기간 | 200603~201302 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 응용연구 |
| 6T분류명 | 기타 |
특허성과
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중요키워드
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