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사다리꼴 구조의 몰드를 이용한 패턴 형성 방법

  • 기술번호 : KST2015159355
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 사다리꼴의 음각 패턴을 갖는 몰드를 이용함으로써, 패턴의 가로세로비와 크기에 구애받음이 없이 기판 상에 목표로 하는 패턴을 형성할 수 있도록 한다는 것으로, 이를 위하여 본 발명은, 직각 구조의 음각 패턴을 갖는 몰드를 이용하여 기판 상에 패턴을 형성하는 종래 방법과는 달리, 사다리꼴 구조의 음각 패턴을 갖는 몰드를 준비하고, 몰드의 사다리꼴 음각 패턴에 패터닝 물질을 충진시킨 후 이를 기판 상에 전사시켜 경화시키는 방식을 통해 기판 상에 목표로 하는 패턴을 형성함으로써, 음각 패턴의 내부에 충진되는 패터닝 물질에 높은 안정성을 부여하고 이를 통해 넓은 영역의 작업 윈도우를 갖게 함으로써 다양한 가로세로비, 즉 직각 구조의 패턴을 이용하는 전술한 종래 방법에서는 구현하기 힘든 낮은 가로세로비를 갖는 패턴을 쉽게 구현할 수 있으며, 사용 가능한 패터닝 물질의 선택 폭을 넓혀 줌으로써 그 적용 범위를 다양화시킬 수 있는 것이다.사다리꼴 음각 패턴, 탄성체 몰드, 모세관력, 패턴
Int. CL H01J 9/24 (2006.01) H01J 11/20 (2012.01)
CPC H01J 9/24(2013.01) H01J 9/24(2013.01) H01J 9/24(2013.01) H01J 9/24(2013.01) H01J 9/24(2013.01)
출원번호/일자 1020060024425 (2006.03.16)
출원인 주식회사 미뉴타텍, 재단법인서울대학교산학협력재단
등록번호/일자 10-0795236-0000 (2008.01.09)
공개번호/일자 10-2007-0094149 (2007.09.20) 문서열기
공고번호/일자 (20080117) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.03.16)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 미뉴타텍 대한민국 경기도 오산시 가장
2 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이홍희 대한민국 서울 관악구
2 김모준 대한민국 인천 서구
3 송석용 대한민국 경기 성남시 수정구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구
2 주식회사 미뉴타텍 대한민국 경기도 오산시 가장
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.03.16 수리 (Accepted) 1-1-2006-0185398-93
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.03.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.04.11 수리 (Accepted) 9-1-2007-0020296-53
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.04.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0213650-88
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2007.06.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0430978-80
6 의견서
Written Opinion		 2007.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2007-0430980-72
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.08.17 수리 (Accepted) 4-1-2007-5128375-94
8 등록결정서
Decision to grant		 2007.10.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0540456-18
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2008-5015497-73
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.01.07 수리 (Accepted) 4-1-2011-5003668-41
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.01.07 수리 (Accepted) 4-1-2011-5003671-89
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.10.11 수리 (Accepted) 4-1-2012-5211952-16
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.27 수리 (Accepted) 4-1-2013-0028755-86
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.08.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5100909-62
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5036045-28
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번호 청구항
1 1
몰드를 이용하는 전사 기법을 통해 기판 상에 목표로 하는 패턴을 형성하는 방법으로서,사다리꼴의 음각 패턴과 양각 패턴으로 된 패턴 면을 갖는 몰드를 준비하는 과정과,딥 코팅 방법을 이용하여 상기 음각 패턴 영역에 패터닝 물질을 선택적으로 충진시키는 과정과,상기 몰드의 패턴 면을 상기 기판 상의 목표 위치에 정렬시키는 과정과,고온 프레스 공정을 실시하여 상기 몰드의 음각 패턴 영역에 충진된 패터닝 물질을 상기 기판으로 전사시킴으로서, 상기 기판 상에 역사다리꼴 형상의 패턴을 형성하는 과정을 포함하는 사다리꼴 구조의 몰드를 이용한 패턴 형성 방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 패턴 형성 방법은, 상기 목표 위치로의 정렬 전에, 상기 음각 패턴 영역에 충진된 상기 패터닝 물질을 소프트 경화시키는 과정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 사다리꼴 구조의 몰드를 이용한 패턴 형성 방법
3 3
제 2 항에 있어서,상기 소프트 경화는, 자외선 경화 또는 열 경화를 통해 수행되는 것을 특징으로 하는 사다리꼴 구조의 몰드를 이용한 패턴 형성 방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 패턴 형성 방법은, 상기 기판 상에 형성된 역사다리꼴 형상의 패턴을 하드 경화시키는 과정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 사다리꼴 구조의 몰드를 이용한 패턴 형성 방법
5 5
제 4 항에 있어서,상기 하드 경화는, 자외선 경화와 어릴닝 공정을 통해 수행되는 것을 특징으로 하는 사다리꼴 구조의 몰드를 이용한 패턴 형성 방법
6 6
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 몰드는, 탄성체 몰드 혹은 하드 몰드인 것을 특징으로 하는 사다리꼴 구조의 몰드를 이용한 패턴 형성 방법
7 7
제 6 항에 있어서,상기 탄성체 몰드는, PDMS, PET(폴리에틸렌테레프탈레이트), PU(우레탄), SBR(스티렌-부타디엔 고무), PE(폴리에틸렌), PP(폴리프로필렌), Polyester(폴리에스터), Polyamide(폴리아미드) 수지 중 어느 하나이고, 하드 몰드는 PDMS, Epoxy(에폭시), PU(우레탄), Alkyd(알키드), Phenol(페놀), Melamine(멜라민), Urea(요소) 수지 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 사다리꼴 구조의 몰드를 이용한 패턴 형성 방법
8 8
삭제
9 9
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 음각 패턴의 사다리꼴의 내부각 θ는 0°＜θ＜90°의 각도 범위를 갖는 것을 특징으로 하는 사다리꼴 구조의 몰드를 이용한 패턴 형성 방법
10 10
삭제
11 11
제 1 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 패터닝 물질은, 아크릴계 올리고머 용액, 포토레지스트, 고분자, 솔젤, 나노 입자, 반도체 물질, 바이오 물질, 실리콘 입자 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 사다리꼴 구조의 몰드를 이용한 패턴 형성 방법
12 12
삭제
13 13
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 패터닝 물질은, 표면장력을 조절할 수 있는 실란계 첨가제가 혼합된 물질인 것을 특징으로 하는 사다리꼴 구조의 몰드를 이용한 패턴 형성 방법
14 14
제 13 항에 있어서,상기 실란계 첨가제의 첨가 범위는, 0
15 15
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 패터닝 물질의 전사는, 고온 프레스 공정 조건에서 실시되는 것을 특징으로 하는 사다리꼴 구조의 몰드를 이용한 패턴 형성 방법
16 16
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 기판은, 전자소자, 광학소자, 디스플레이 소자, 바이오 센서 중 어느 하나에 이용되는 기판인 것을 특징으로 하는 사다리꼴 구조의 몰드를 이용한 패턴 형성 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.