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유체관, 유체관 시스템, 미세구조물 제조 방법 및 미세구조물 운반 방법

  • 기술번호 : KST2015159722
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 에너지 경화성 물질을 이용한 미세구조물 생성 및 처리 시스템으로서, 보다 구체적으로 다양한 에너지 경화성 유체에 선택적으로 에너지를 공급하여 원하는 형상의 미세구조물을 생성한 후, 상기 미세구조물을 일정 패턴에 따라 이동, 배열 또는 결합하는 시스템에 관한 것이다.본 발명의 제1 측면은 광원; 상기 광원에서 조사된 광을 선택된 특성을 갖는 광으로 변형하는 변형 수단; 내부에 광경화성 유체가 흐르며, 상기 변형 수단에서 제공된 광에 따라 상기 광경화성 유체를 선택적으로 경화하여 미세구조물을 생성하는 유체관; 및 상기 유체관에 배치되어 상기 미세구조물을 일정 패턴에 따라 이동, 배열 또는 결합하는 처리수단 등으로 구성되는 것을 특징으로 하는 미세구조물 생성 및 처리 시스템을 제공하는 것이다.
Int. CL G03F 7/004 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01)
CPC B81B 1/004(2013.01) B81B 1/004(2013.01)
출원번호/일자 1020070100472 (2007.10.05)
출원인 재단법인서울대학교산학협력재단
등록번호/일자 10-0893167-0000 (2009.04.06)
공개번호/일자 10-2009-0035280 (2009.04.09) 문서열기
공고번호/일자 (20090416) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020080096532;
심사청구여부/일자 Y (2007.10.05)
심사청구항수 33

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권성훈 대한민국 서울 관악구
2 정수은 대한민국 서울 강남구
3 박욱 대한민국 서울 강서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남정길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 인화빌딩 *층 (삼성동)(특허법인(유한)아이시스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 권성훈 인천광역시 연수구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.10.05 수리 (Accepted) 1-1-2007-0717331-69
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2008-5015497-73
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2008.03.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2008.04.14 수리 (Accepted) 9-1-2008-0019477-20
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2008.07.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0360661-28
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2008.09.04 수리 (Accepted) 1-1-2008-0630144-00
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2008.10.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2008-0690308-86
8 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2008.10.01 수리 (Accepted) 1-1-2008-0690321-70
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2008.10.01 수리 (Accepted) 1-1-2008-0690309-21
10 등록결정서
Decision to grant		 2009.02.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0049665-83
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.08.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5100909-62
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5036045-28
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
유체관 및 유체관 내부에 위치한 미세구조물을 구비한 유체관 시스템에 있어서,상기 유체관의 상기 내부에는 유체가 흐르며,상기 유체관은 상기 미세구조물이 따라 이동하는 레일을 구비하며, 상기 미세구조물은 상기 레일을 벗어나지 않도록 하는 형상을 갖는 가이드를 구비하는 유체관 시스템
2 2
제1 항에 있어서, 상기 레일은 홈 형태를 가지며, 상기 가이드는 돌기 형태를 가지는 유체관 시스템
3 3
제2 항에 있어서, 상기 미세구조물이 생성되는 영역의 상기 레일의 너비가 상기 미세구조물이 이동하는 영역의 상기 레일의 너비보다 좁은 유체관 시스템
4 4
제1 항에 있어서, 상기 레일은 돌기 형태를 가지며, 상기 가이드는 홈 형태를 가지는 유체관 시스템
5 5
제4 항에 있어서, 상기 미세구조물이 생성되는 영역의 상기 레일의 너비가 상기 미세구조물이 이동하는 영역의 상기 레일의 너비보다 넓은 유체관 시스템
6 6
제1 항에 있어서, 상기 유체관은 추가적인 미세구조물이 따라 이동하는 추가적인 레일을 더 구비하는 유체관 시스템
7 7
제6 항에 있어서, 상기 추가적인 미세구조물은 상기 추가적인 레일을 따라 이동하여 상기 레일로 전달되는 유체관 시스템
8 8
제1 항에 있어서, 상기 레일은 상기 미세구조물의 이동을 제한하는 종단을 구비하는 유체관 시스템
9 9
제1 항에 있어서, 상기 유체관의 상기 내부에는 추가적인 유체가 흐르며 상기 미세구조물이 상기 레일을 따라 이동하여 상기 유체 및 상기 추가적인 유체 사이의 계면을 가로지르는 유체관 시스템
10 10
제1 항에 있어서, 상기 미세구조물은 상기 유체에 제공되는 에너지에 의하여 상기 유체가 선택적으로 경화됨으로써 생성되는 유체관 시스템
11 11
제10 항에 있어서, 상기 에너지는 광에너지, 열에너지, 전자파에너지, 전기에너지, 자기에너지 또는 입자에너지인 유체관 시스템
12 12
제1 항에 있어서, 상기 미세구조물이 상기 레일을 따라 이동함으로써, 상기 유체관의 직각 방향에 대한 상기 미세구조물의 위치가 제어되는 유체관 시스템
13 13
제1 항에 있어서, 상기 미세구조물이 상기 유체가 흐르는 경로가 아니라, 상기 레일이 형성하는 경로를 따라 이동하는 유체관 시스템
14 14
유체관에 있어서,상기 유체관의 내부에 위치하며, 상기 유체관의 외부로부터 제공된 광에 따라 선택적으로 경화되는 광경화성 유체; 및상기 유체관의 적어도 하나의 내면에 장치되는 홈 또는 돌기 형태의 레일을 구비하는 유체관
15 15
제14 항에 있어서, 상기 레일에 연결되거나, 연결되지 아니한 추가적인 레일을 더 구비하는 유체관
16 16
제14 항에 있어서, 상기 레일은 종단을 구비하는 유체관
17 17
제14 항에 있어서, 상기 유체관에는 상기 광경화성 유체와 추가적인 유체가 흐르며, 상기 레일은 상기 광경화성 유체와 상기 추가적인 유체 사이의 계면을 가로지르도록 배치된 유체관
18 18
제14 항에 있어서, 상기 레일 중 적어도 일부는 상기 유체관에 평행하지 아니한 유체관
19 19
(a) 홈 형태 또는 돌기 형태의 레일을 구비한 유체관에 광경화성 유체를 제공하는 단계; 및(b) 선택된 특성을 가지는 빛을 상기 광경화성 유체에 조사하여 상기 광경화성 유체를 경화시킴으로써 가이드-상기 가이드는 상기 레일의 상기 홈에 대응하는 돌기를 가지거나, 상기 레일의 상기 돌기에 대응하는 홈을 가짐-를 가지는 미세구조물을 생성하는 단계를 구비하는 미세구조물 제조 방법
20 20
제19 항에 있어서,(c) 상기 미세구조물을 상기 레일을 따라 이동시키는 단계를 더 구비하는 미세구조물 제조 방법
21 21
제20 항에 있어서,상기 유체관은 상기 홈 형태의 상기 레일을 구비하며,상기 미세구조물이 생성되는 영역의 상기 레일의 너비가 상기 미세구조물이 이동하는 영역의 상기 레일의 너비보다 좁은 미세구조물 제조 방법
22 22
제20 항에 있어서,상기 유체관은 상기 돌기 형태의 상기 레일을 구비하며,상기 미세구조물이 생성되는 영역의 상기 레일의 너비가 상기 미세구조물이 이동하는 영역의 상기 레일의 너비보다 넓은 미세구조물 제조 방법
23 23
제20 항에 있어서, 상기 유체관에는 상기 광경화성 유체와 같은 방향 또는 상이한 방향으로 추가적인 유체 또한 흐르며,상기 (c) 단계는:(c1) 상기 미세구조물이 상기 광경화성 유체 내에서 상기 레일을 따라 이동하는 단계;(c2) 상기 미세구조물이 상기 레일을 따라 상기 광경화성 유체와 상기 추가적인 유체 사이의 계면을 통과하는 단계; 및(c3) 상기 미세구조물이 상기 추가적인 유체 내에서 상기 레일을 따라 이동하는 단계를 구비하는 미세구조물 제조 방법
24 24
제23 항에 있어서,상기 (c) 단계는(c4) 추가적인 빛을 상기 미세구조물의 주변에 제공하여 상기 추가적인 유체-상기 추가적인 유체는 상기 광경화성 유체와는 다른 종류의 광경화성 유체임-를 경화시킴으로써 상기 미세구조물에 상기 추가적인 유체의 경화에 의한 부분을 추가시키는 단계를 더 구비하는 미세구조물 제조 방법
25 25
제20 항에 있어서,(d) 상기 레일과 합쳐지는 추가적인 레일을 구비한 추가적인 유체관에서 생성된 추가적인 미세구조물을 상기 레일로 이동시키는 단계를 더 구비하는 미세구조물 제조 방법
26 26
제20 항에 있어서,(d) 상기 미세구조물이 상기 레일의 종단에서 멈추는 단계를 더 구비하는 미세구조물 제조 방법
27 27
제26 항에 있어서,(e) 추가적인 미세구조물들을 상기 미세구조물의 뒤에 멈추도록 함으로써, 어레이를 형성하는 단계를 더 구비하는 미세구조물 제조 방법
28 28
제27 항에 있어서,(f) 상기 어레이를 상기 레일과 연결되어 있으며 상기 레일과 다른 방향으로 형성된 추가적인 레일을 따라 이동시켜, 상기 추가적인 레일의 종단에 멈추도록 하는 단계;(g) 상기 레일의 상기 종단에 추가적인 어레이를 형성하는 단계; 및(h) 상기 추가적인 어레이를 상기 추가적인 레일을 따라 이동시켜, 상기 어레이의 옆에 멈추도록 함으로써, 2차원 어레이를 형성하는 단계를 더 구비하는 미세구조물 제조 방법
29 29
제27 항에 있어서,상기 유체관은 추가적인 레일들을 더 구비하며,상기 (e) 단계에서, 상기 추가적인 레일들에도 추가적인 어레이들을 형성함으로써, 2차원 어레이를 형성하는 미세구조물 제조 방법
30 30
제27 항에 있어서,(f) 추가적인 노출을 수행함으로써 상기 어레이를 고정하는 고정용 미세구조물을 형성하는 단계를 더 구비하는 미세구조물 제조 방법
31 31
(a) 홈 형태 또는 돌기 형태의 레일을 구비한 유체관에 유체를 제공하는 단계; 및(b) 가이드-상기 가이드는 상기 레일의 상기 홈에 대응하는 돌기를 가지거나, 상기 레일의 상기 돌기에 대응하는 홈을 가짐-를 가지는 미세구조물을 상기 레일을 따라 이동시키는 단계를 구비하는 미세구조물 운반 방법
32 32
제31 항에 있어서,(c) 상기 미세구조물이 상기 레일의 종단에서 멈추는 단계를 더 구비하는 미세구조물 운반 방법
33 33
제32 항에 있어서,(d) 추가적인 미세구조물들을 상기 미세구조물의 뒤에 멈추도록 함으로써, 어레이를 형성하는 단계를 더 구비하는 미세구조물 운반 방법
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