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광투과성과 유연성을 갖는 필름형 웨이퍼 유닛 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015135927
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광투과성과 유연성을 갖는 필름형 웨이퍼 유닛 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 광투과성과 유연성을 갖는 필름형 웨이퍼 유닛 및 그 제조 방법은, 가시광선 영역 및 자외선 영역의 빛을 투과시키는 광투과성(light transmissibility)과 유연성(flexibility)을 갖는 PET 필름을 재단하여 필름형 기재층을 형성하는 단계; 상기 필름형 기재층으로부터 유기성 불순물을 제거하도록 상기 필름형 기재층을 세척하는 단계; 세척된 상기 필름형 기재층을 건조하는 단계; 건조된 상기 필름형 기재층을 플라즈마 클리닝하는 단계; 클리닝된 필름형 기재층에 필름형 웨이퍼 유닛을 완성하기 위한 리소그래피 공정이 진행되는 리소그래피 단계를 포함할 수 있다.
Int. CL G03F 7/20 (2006.01.01) B29C 33/38 (2018.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01)
CPC G03F 7/2002(2013.01) G03F 7/2002(2013.01) G03F 7/2002(2013.01) G03F 7/2002(2013.01) G03F 7/2002(2013.01) G03F 7/2002(2013.01)
출원번호/일자 1020110021050 (2011.03.09)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1077853-0000 (2011.10.24)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20111031) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.03.09)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전누리 대한민국 서울특별시 서초구
2 변재환 대한민국 경기도 남양주시
3 강명우 대한민국 경기도 용인시 기흥구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 제일특허법인(유) 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.03.09 수리 (Accepted) 1-1-2011-0171588-51
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2011.03.11 수리 (Accepted) 1-1-2011-0179038-48
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2011.03.11 수리 (Accepted) 1-1-2011-0177771-40
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.04.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.04.22 수리 (Accepted) 9-1-2011-0037241-78
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.05.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0235728-83
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2011-0498237-76
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.06.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0498236-20
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2011.08.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0457785-15
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.08.22 수리 (Accepted) 1-1-2011-0647937-79
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2011.08.22 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2011-0647938-14
12 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2011.08.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0486499-31
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.27 수리 (Accepted) 4-1-2011-5195109-43
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-5007213-54
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
가시광선 영역 및 자외선 영역의 빛을 투과시키는 광투과성(light transmissibility)과 유연성(flexibility)을 갖는 PET 필름을 재단하여 필름형 기재층을 형성하는 단계;상기 필름형 기재층으로부터 유기성 불순물을 제거하도록 상기 필름형 기재층을 세척하는 단계;세척된 상기 필름형 기재층을 건조하는 단계;건조된 상기 필름형 기재층 중 PR 스핀 코팅할 표면에 대해 출력 100W, 클리닝 시간 5분 내지 6분간, 진공도 0
2 2
제 1 항에 있어서,상기 필름형 기재층은,두께 160 내지 180 마이크로미터의 라미네이티드 PET(Polyester)필름인 것을 특징으로 하는광투과성과 유연성을 갖는 필름형 웨이퍼 유닛 제조 방법
3 3
제 1 항에 있어서,상기 필름형 기재층을 형성하는 단계에서는,상기 필름형 기재층이 PR 스핀 코팅의 스피너 형상 및 크기에 대응되게 재단되는 것을 특징으로 하는광투과성과 유연성을 갖는 필름형 웨이퍼 유닛 제조 방법
4 4
제 1 항에 있어서,상기 세척하는 단계는,상기 필름형 기재층을 에탄올 또는 시너(thinner)를 이용하여 30초 내지 1분간 세척하는 단계; 및상기 필름형 기재층을 탈이온수(dH2O: deionized water)에 의해 세척하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광투과성과 유연성을 갖는 필름형 웨이퍼 유닛 제조 방법
5 5
제1항에 있어서,상기 건조하는 단계에서는,PET 필름의 표면 청정상태를 유지하기 위해 클린 벤치(clean bench) 내에서 건조함과 동시에 진공 흡입을 수행하는 것을 특징으로 하는 광투과성과 유연성을 갖는 필름형 웨이퍼 유닛 제조 방법
6 6
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7 7
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8 8
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9 9
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패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 서울대학교 산학협력단 세계수준의 연구중심대학 육성사업 멀티스케일 융합 기계시스템 설계 및 제작 기술 개발