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미세구조물 생성 및 처리 시스템, 및 미세구조물 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015160105
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 에너지 경화성 물질을 이용한 미세구조물 생성 및 처리 시스템으로서, 보다 구체적으로 다양한 에너지 경화성 유체에 선택적으로 에너지를 공급하여 원하는 형상의 미세구조물을 생성한 후, 상기 미세구조물을 일정 패턴에 따라 이동, 배열 또는 결합하는 시스템에 관한 것이다.본 발명의 제1 측면은 광원; 상기 광원에서 조사된 광을 선택된 특성을 갖는 광으로 변형하는 변형 수단; 내부에 광경화성 유체가 흐르며, 상기 변형 수단에서 제공된 광에 따라 상기 광경화성 유체를 선택적으로 경화하여 미세구조물을 생성하는 유체관; 및 상기 유체관에 배치되어 상기 미세구조물을 일정 패턴에 따라 이동, 배열 또는 결합하는 처리수단 등으로 구성되는 것을 특징으로 하는 미세구조물 생성 및 처리 시스템을 제공하는 것이다.
Int. CL G03F 7/004 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01)
CPC G03F 7/20(2013.01) G03F 7/20(2013.01) G03F 7/20(2013.01) G03F 7/20(2013.01)
출원번호/일자 1020080096532 (2008.10.01)
출원인 재단법인서울대학교산학협력재단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2009-0035435 (2009.04.09) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 취하
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자 10-2007-0100472 (2007.10.05)
관련 출원번호 1020070100472
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권성훈 대한민국 서울특별시 관악구
2 정수은 대한민국 서울특별시 강남구
3 박욱 대한민국 서울특별시 강서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남정길 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길 **, 인화빌딩 *층 (삼성동)(특허법인(유한)아이시스)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2008.10.01 수리 (Accepted) 1-1-2008-0690321-70
2 보정요구서
Request for Amendment		 2008.10.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2008-0119401-24
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2008.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2008-0716920-18
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.08.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5100909-62
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5036045-28
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번호 청구항
1 1
에너지원;상기 에너지원에서 발생된 에너지를 선택된 특성을 갖는 에너지로 변형하는 변형 수단;내부에 에너지경화성 유체가 흐르며, 상기 변형 수단에서 제공된 에너지에 따라 상기 에너지경화성 유체를 선택적으로 경화하여 미세구조물을 생성하는 유체관; 및상기 유체관에 배치되어 상기 미세구조물을 일정 패턴에 따라 이동, 배열 또는 결합하는 처리수단으로 구성되는 미세구조물 생성 및 처리 시스템
2 2
제1 항에 있어서,상기 에너지가 열에너지, 전자파에너지, 전기에너지, 또는 자기에너지인 미세구조물 생성 및 처리 시스템
3 3
제1 항에 있어서,상기 에너지가 광에너지인 미세구조물 생성 및 처리 시스템
4 4
제3 항에 있어서,상기 처리수단이 상기 유체관에 이동 경로를 조성하고 상기 미세구조물을 상기 경로를 따라 이동시키는 미세구조물 생성 및 처리 시스템
5 5
제4 항에 있어서,상기 유체의 경화 시 상기 미세구조물에 특정 형상의 부위를 조성하고, 상기 처리수단이 상기 유체관에 이동 경로를 조성하며 상기 부위의 최소한 일부를 상기 처리수단이 물리적으로 지지하며 상기 미세구조물을 상기 경로를 따라 이동시키는 미세구조물 생성 및 처리 시스템
6 6
제4 항에 있어서,상기 유체의 경화 시 상기 미세구조물에 특정 전기적, 자기적 또는 화학적 성질을 조성하고, 상기 처리수단이 상기 유체관에 이동 경로를 조성하며 상기 처리수단이 상기 성질에 대한 전기적, 자기적 또는 화학적 친화력 또는 반발력을 이용하여 상기 미세구조물을 상기 경로를 따라 이동시키는 미세구조물 생성 및 처리 시스템
7 7
광원;상기 광원에서 조사된 광을 선택된 특성을 갖는 광으로 변형하는 변형 수단;내부에 광경화성 유체가 흐르며, 상기 변형 수단에서 제공된 광에 따라 상기 광경화성 유체를 선택적으로 경화하여 미세구조물을 생성하는 유체관; 및상기 유체관에 배치되어 상기 미세구조물을 일정 패턴에 따라 이동, 배열 또는 결합하는 처리수단으로 구성되는 미세구조물 생성 및 처리 시스템
8 8
제7 항에 있어서,상기 광경화성 유체의 경화에 의하여 생성된 미세구조물은 가이드를 구비하며, 상기 가이드는 상기 처리수단의 형상에 대응하는 형상을 갖는 미세구조물 생성 및 처리 시스템
9 9
제8 항에 있어서,상기 처리수단은 상기 유체관에 홈 형태의 레일을 구비하며,상기 미세구조물이 생성되는 영역의 상기 레일의 너비가 상기 미세구조물이 이동하는 영역의 상기 레일의 너비보다 좁은 미세구조물 생성 및 처리 시스템
10 10
제8 항에 있어서,상기 처리수단은 상기 유체관에 돌기 형태의 레일을 구비하며, 상기 미세구조물이 생성되는 영역의 상기 레일의 너비가 상기 미세구조물이 이동하는 영역의 상기 레일의 너비보다 넓은 미세구조물 생성 및 처리 시스템
11 11
제8 항에 있어서,상기 처리수단은 상기 유체관에 추가적인 레일을 구비하며,상기 미세구조물은 상기 레일들 중 어느 한 레일에 형성되거나, 상기 레일들에 걸쳐서 형성되는 미세구조물 생성 및 처리 시스템
12 12
제7 항에 있어서,상기 유체관에는 상기 광경화성 유체와 동일한 또는 상이한 방향으로 추가적인 유체가 흐르며,상기 처리수단의 상기 레일은 상기 광경화성 유체와 상기 추가적인 유체 사이의 계면을 가로지르는 미세구조물 생성 및 처리 시스템
13 13
제7 항에 있어서,상기 레일은 종단을 구비하는 미세구조물 생성 및 처리 시스템
14 14
제7 항에 있어서,상기 처리수단의 추가적인 레일을 유체관에 구비하며,상기 추가적인 레일은 상기 레일에 합쳐지는 미세구조물 생성 및 처리 시스템
15 15
(a) 유체관에 광경화성 유체를 흘리는 단계;(b) 선택된 특성을 가지는 광을 상기 광경화성 유체에 조사하여 상기 광경화성 유체를 경화시켜 특정 형상의 미세구조물을 생성하는 단계; 및(c) 상기 미세구조물을 일정 경로에 따라 이동시키는 단계를 구비하는 미세구조물 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.