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기판을 이동시키는 이동부;원통으로 형성되고, 상기 원통의 곡면에 패턴을 가지는 마스크부;상기 마스크부 내부에 구비되어 상기 기판에 광을 조사하는 광원부; 그리고상기 마스크부를 회전시키며, 상기 마스크부와 상기 기판 간의 거리를 조절하도록 상기 마스크부를 이동시키는 구동부를 포함하며,상기 구동부는:상기 마스크부가 상기 기판에 접촉하거나 상기 기판으로부터 이격되도록 상기 마스크부를 승강시키되,상기 마스크부가 상기 기판에 접촉한 경우, 상기 마스크부의 외주면에서의 선속도가 상기 기판의 이동속도와 동일하도록 상기 마스크부를 회전시키고,상기 마스크부가 상기 기판으로부터 이격된 경우, 상기 마스크부의 외주면에서의 선속도가 상기 기판의 이동속도보다 빠르거나 느리도록 상기 마스크부를 회전시키는 노광 장치
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제 1 항에 있어서,상기 이동부는, 상기 기판을 하부에서 지지하며 기결정된 방향으로 이동하는 컨베이어를 포함하는 노광 장치
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제 1 항에 있어서,상기 마스크부는:상기 광을 투과시키는 원통형 프레임; 그리고상기 패턴이 형성되고, 상기 원통형 프레임의 외주면 상에 위치하는 패턴층;을 포함하는 노광 장치
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제 3 항에 있어서,상기 패턴층은: 상기 광을 차단하는 불투명한 물질이 부착된 투명 필름인 노광 장치
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기판을 이동시키는 이동부;원통으로 형성되고, 상기 원통의 곡면에 패턴을 가지는 마스크부;상기 마스크부 내부에 구비되어 상기 기판에 광을 조사하는 광원부; 그리고상기 마스크부를 회전시키며, 상기 마스크부와 상기 기판 간의 거리를 조절하도록 상기 마스크부를 이동시키는 구동부를 포함하며,상기 마스크부는: 상기 광을 투과시키는 원통형 프레임; 상기 패턴이 형성되고, 상기 원통형 프레임의 외주면 상에 위치하는 패턴층; 그리고 상기 패턴층 상에 위치하며, 상기 기판과 접촉 시 변형되는 쿠션층을 포함하는 노광 장치
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제 1 항에 있어서,상기 광원부는:상기 광을 생성하는 광원; 그리고상기 광이 상기 기판을 향하도록 반사시키는 반사부재;를 포함하는 노광 장치
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제 6 항에 있어서,상기 광원은 원통 형상을 갖는 노광 장치
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제 6 항에 있어서,상기 반사부재는:상기 광원을 둘러싸도록 배치되고, 상기 광이 상기 기판을 향해 조사되도록 상기 기판을 향하는 쪽에 슬릿이 형성되는 노광 장치
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기판을 이동시키는 이동부;상기 기판에 감광수단을 제공하는 감광수단 제공부;상기 감광수단이 제공된 기판에 광을 조사하는 노광부;상기 광이 조사된 기판을 현상하는 현상부; 그리고상기 현상된 기판에 도전성 물질을 제공하는 도전성 물질 제공부를 포함하며,상기 노광부는: 원통으로 형성되고, 상기 원통의 곡면에 패턴을 가지는 마스크부; 상기 마스크부 내부에 구비되어 상기 기판에 광을 조사하는 광원부; 그리고 상기 마스크부를 회전시키며, 상기 마스크부와 상기 기판 간의 거리를 조절하도록 상기 마스크부를 이동시키는 구동부를 포함하며,상기 구동부는:상기 마스크부가 상기 기판에 접촉하거나 상기 기판으로부터 이격되도록 상기 마스크부를 승강시키되,상기 마스크부가 상기 기판에 접촉한 경우, 상기 마스크부의 외주면에서의 선속도가 상기 기판의 이동속도와 동일하도록 상기 마스크부를 회전시키고,상기 마스크부가 상기 기판으로부터 이격된 경우, 상기 마스크부의 외주면에서의 선속도가 상기 기판의 이동속도보다 빠르거나 느리도록 상기 마스크부를 회전시키는 기판 처리 장치
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제 12 항에 있어서,상기 감광수단 제공부는, 상기 기판에 포토레지스트를 도포하는 도포부를 포함하는 기판 처리 장치
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제 13 항에 있어서,상기 도포부는, 블레이딩 방식 및 스프레잉 방식 중 적어도 하나를 사용하여 상기 포토레지스트를 도포하는 기판 처리 장치
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제 12 항에 있어서,상기 감광수단 제공부는, 상기 기판에 감광 필름을 부착하는 부착부를 포함하는 기판 처리 장치
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제 12 항에 있어서,상기 현상부는, 상기 광이 조사된 기판을 현상액에 담금으로써 기판을 현상하는 기판 처리 장치
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제 12 항에 있어서,상기 도전성 물질 제공부는: 상기 현상된 기판에 도전성 잉크를 도포하는 도전성 잉크 도포부; 그리고상기 기판 상에 남아있는 잉여 도전성 잉크를 제거하는 잉여 도전성 잉크 제거부;를 포함하는 기판 처리 장치
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제 20 항에 있어서,상기 잉여 도전성 잉크 제거부는:상기 기판으로부터 상기 잉여 도전성 잉크를 긁어내는 닥터 블레이드;상기 기판으로부터 상기 잉여 도전성 잉크를 떼어내는 접착 테잎; 그리고상기 기판으로부터 상기 잉여 도전성 잉크를 닦아내기 위해 상기 잉여 도전성 잉크를 용해시키는 용해제;중 적어도 하나를 이용하는 기판 처리 장치
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제 12 항에 있어서,상기 도전성 물질이 제공된 기판으로부터 상기 감광수단을 제거하는 감광수단 제거부를 더 포함하는 기판 처리 장치
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