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유리 기판의 일정 간격 깊이별로 화상을 획득하고, 획득된 화상들 간의 밝기 변화량을 누적하여 새로운 화상을 생성하여 이진 화상으로 변환시키고, 변환된 이진 화상을 분석하여 결함 예상 영역을 검출하는 제1과정과;
상기 결함 예상 영역의 윤곽 및 윤곽의 내부를 이루는 픽셀들의 위치 및 수량에 근거하여 상기 결함 예상 영역의 결함 정보를 추출하고, 추출된 결함 정보에 의거하여 상기 결함 예상 영역에 장단축을 설정하는 제2과정과;
상기 결함 예상 영역의 결함 정보, 윤곽 및 상기 결함 예상 영역에 설정된 장단축을 이용하여 복수 개의 결함 장축 외곽점 및 복수 개의 결함 단축 외곽점을 검출하는 제3과정과;
상기 복수 개의 결함 장축 외곽점 간의 연결 길이와 상기 복수 개의 단축 외곽점 간의 연결 길이의 비율을 확인하여 확인된 비율 크기에 의거하여 결함의 형상을 판별하는 제4과정을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 결함 검사 방법
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제1항에 있어서,
상기 제1과정은,
상기 새로운 화상을 평활화시키고, 평활화된 새로운 화상을 이루는 각 픽셀의 밝기가 제1문턱값 이상인지 여부에 따라 각 픽셀의 밝기를 밝게 또는 어둡게 조절하여 이진 화상으로 변환시키는 단계와;
상기 이진 화상 변환 후 밝은 픽셀들로 이루어진 영역을 결함 예상 영역으로 검출하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 결함 검사 방법
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제1항에 있어서,
상기 제2과정은,
체인 코드(Chain Code) 알고리즘을 이용하여 상기 검출된 결함 예상 영역의 윤곽을 추출하는 단계와;
상기 결함 예상 영역의 윤곽을 이루는 픽셀들의 수량 및 위치를 이용하여 결함 예상 영역의 크기 및 위치를 확인하여 상기 결함 예상 영역의 결함 여부를 판단하는 단계와;
상기 결함 여부 판단 결과, 상기 결함 예상 영역이 결함에 해당하지 않는 경우에, 상기 결함 예상 영역을 검사 대상에서 제외시키는 단계와;
상기 결함 여부 판단 결과, 상기 결함 예상 영역이 결함에 해당하는 경우에, 상기 결함 예상 영역의 개수가 기준 수량 이하인지를 확인하는 단계와;
상기 결함 예상 영역의 개수가 기준 수량 이하인 경우에, 각 결함 예상 영역의 윤곽 및 윤곽의 내부를 이루는 픽셀들의 위치 및 수량에 근거하여 결함 예상 영역의 결함 정보를 추출하는 단계와;
상기 결함 예상 영역의 개수가 기준 수량을 초과하는 경우에, 유리 기판의 전체 불량으로 판단하여 결함 검사를 종료하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 결함 검사 방법
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제3항에 있어서,
상기 결함 여부를 판단하는 단계는,
상기 결함 예상 영역의 크기가 제2문턱값 미만인 경우 및 상기 결함 예상 영역의 위치가 화상의 경계 부분에 위치한 경우에, 상기 결함 예상 영역을 결함에 해당하지 않는 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 결함 검사 방법
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제1항에 있어서,
상기 제3과정은,
상기 결함 예상 영역의 윤곽을 이루는 픽셀들 중 상기 결함 예상 영역에 설정된 장단축과 교차하면서 가장 외곽 지점에 위치한 복수 개의 제1장축 최외곽점 및 복수 개의 제1단축 최외곽점을 검출하는 단계와;
상기 획득된 유리 기판 깊이별 화상들 중에서, 상기 결함 예상 영역을 이루는 픽셀들의 밝기 정도가 가장 큰 화상에 상기 결함 예상 영역의 윤곽을 설정하고, 설정된 상기 결함 예상 영역의 윤곽을 포함하는 결함 후보 영역을 설정하는 단계와;
상기 결함 후보 영역 내의 상기 결함 예상 영역에 설정된 장단축의 위치와 동일한 위치에 장단축을 설정하고, 설정된 장단축에 투영되는 장단축의 밝기 분포중 최소 밝기값을 가진 복수 개의 제2장축 최외곽점 및 복수 개의 제2단축 최외곽점을 검출하는 단계와;
상기 결함 후보 영역 내에 설정된 장축으로부터 일정 오프셋을 갖는 복수 개의 각 축의 밝기의 평균치에서 장축의 밝기를 차감하여 장축 상의 밝기 분포를 산출하고, 단축으로부터 일정 오프셋을 갖는 복수 개의 각 축의 밝기의 평균치에서 단축의 밝기를 차감하여 단축 상의 밝기 분포를 산출한 후, 산출된 장단축 상의 밝기 분포를 이용하여 복수 개의 제3장축 최외곽점 및 복수 개의 제3단축 최외곽점을 검출하는 단계와;
상기 복수 개의 제1장축 최외곽점 간의 연결 길이와 상기 복수 개의 제2장축 최외곽점 간의 연결 길이와 상기 복수 개의 제3장축 최외곽점 간의 연결 길이를 비교하여 길이가 가장 긴 복수 개의 최외곽점을, 복수 개의 결함 장축 외곽점으로 최종 결정하는 단계와;
상기 복수 개의 제1단축 최외곽점 간의 연결 길이와 상기 복수 개의 제2단축 최외곽점 간의 연결 길이와 상기 복수 개의 제3단축 최외곽점 간의 연결 길이를 비교하여 그 길이가 가장 긴 복수 개의 최외곽점을, 복수 개의 결함 단축 외곽점으로 최종 결정하는 단계와;
상기 복수 개의 결함 장축 외곽점 간의 연결 길이와 상기 복수 개의 단축 외곽점 간의 연결 길이의 비율을 확인하여 확인된 비율 크기에 의거하여 결함의 형상을 판별하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 결함 검사 방법
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제1항, 제3항 및 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 결함 정보는,
결함의 위치, 면적, 둘레, 무게중심, 최외곽 영역(Maximum Boundry Region, MBR), 회전된 상태에서 장축을 기준으로 한 MBR, 일그러짐 량, 통계적 장단축 방향의 길이, 장단축의 길이에 대한 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 결함 검사 방법
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제5항에 있어서,
상기 장축의 밝기와 상기 장축에 투영되는 밝기 분포의 차에 절대값을 취하여 장축 결함 종류 판별값을 산출하는 단계와;
상기 단축의 밝기와 상기 단축에 투영되는 밝기 분포의 차에 절대값을 취하여 단축 결함 종류 판별값을 산출하는 단계와;
상기 산출된 장축 및 단축 결함 종류 판별값을 이용하여 결함의 종류를 판별하는 단계를 더 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 결함 검사 방법
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제7항에 있어서,
상기 결함의 종류를 판별하는 단계는,
상기 장축 결함 종류 판별값의 장축에 따른 변화량을 이용하여 장축 결함 종류 판별값의 최대값을 산출하는 단계와;
상기 장축 결함 종류 판별값에 의해 형성되는 그래프를 적분하여 장축 결함 종류 판별값 변화량의 면적을 계산하는 단계와;
상기 계산된 면적을 최종 결정된 복수 개의 결함 장축 외곽점 간의 연결 길이로 나누어 평균면적을 산출하는 단계와;
상기 단축 결함 종류 판별값의 단축에 따른 변화량을 이용하여 단축 결함 종류 판별값의 최대값을 산출하는 단계와;
상기 단축 결함 종류 판별값에 의해 형성되는 그래프를 적분하여 단축 결함 판별값 변화량의 면적을 계산하는 단계와;
상기 최종 결정된 복수 개의 결함 단축 외곽점 간의 연결 길이로 나누어 평균면적을 산출하는 단계와;
상기 산출된 장단축 결함 종류 판별값의 최대값이 제3문턱값 보다 크거나, 산출된 평균면적이 제4문턱값 보다 크면 기포 결함으로 판별하는 단계와;
상기 장단축 결함 종류 판별값의 최대값이 제3문턱값 보다 작거나, 산출된 평균면적이 제4문턱값 보다 작으면 기포 이외의 결함으로 판별하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 유리 기판의 결함 검사 방법
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