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이산화탄소 감지용 고성능 센서 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2014028239
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 이산화탄소 감지용 고성능 센서 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 기준 전극, 감지 전극 및 상기 두 전극 사이에 Li-B-W-O계 전해질 박막을 포함하는 본 발명의 이산화탄소 감지 센서는 높은 이온 전도성을 갖는 Li-B-W-O계 전해질 박막의 사용에 기인하여 센서의 전력 소모를 줄이고, 우수한 감지도(sensitivity) 및 복구력(recovering time)을 가지며, 전류 집전체의 배열을 다양화할 수 있어 고성능 센서로서 유용하게 사용될 수 있다.
Int. CL G01N 27/12 (2006.01) G01N 27/00 (2006.01)
CPC G01N 27/4074(2013.01) G01N 27/4074(2013.01) G01N 27/4074(2013.01) G01N 27/4074(2013.01) G01N 27/4074(2013.01)
출원번호/일자 1020080001640 (2008.01.07)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0958695-0000 (2010.05.11)
공개번호/일자 10-2009-0075970 (2009.07.13) 문서열기
공고번호/일자 (20100518) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.01.07)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최지원 대한민국 서울 성동구
2 윤석진 대한민국 서울 도봉구
3 윤영수 대한민국 경기 남양주시
4 박 훈 대한민국 충남 천안시
5 김수호 대한민국 인천 남구
6 고재환 대한민국 서울 광진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))
2 김선장 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***(대치동) 삼성대세빌딩 *층(주식회사젠센)
3 김애라 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *** (역삼동, 한신인터밸리**) 서관 ***호(테라아이피씨특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 에이치코비 경기도 안양시 동안구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.01.07 수리 (Accepted) 1-1-2008-0010641-15
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.11.11 수리 (Accepted) 9-1-2008-0074175-71
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.11.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0472442-19
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
6 [복대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Sub-agent] Report on Agent (Representative)
2010.01.06 수리 (Accepted) 1-1-2010-0007601-76
7 [대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)
2010.01.06 수리 (Accepted) 1-1-2010-0007621-89
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.01.15 수리 (Accepted) 1-1-2010-0027669-27
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.01.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0027680-20
10 등록결정서
Decision to grant
2010.05.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0195236-69
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기준 전극, 감지 전극 및 상기 두 전극 사이에 Li-B-W-O계 전해질 박막을 포함하며, 상기 Li-B-W-O계 전해질 박막이 하기 화학식 1로 표시되는 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 이산화탄소 감지 센서: [화학식 1] Lix-By-Wz-Oδ 상기 식에서, x는 0
2 2
삭제
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 Li-B-W-O계 전해질 박막이 0
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 기준 전극이 LiCoO2, V2O5, LiMnO2, LiMn2O4 및 이들의 복합산화물로 이루어진 군으로부터 선택된 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 이산화탄소 감지 센서
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 감지 전극이 Li2CO3, SnO2, LaOCl, La2O3 및 이들의 복합산화물로 이루어진 군으로부터 선택된 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는, 이산화탄소 감지 센서
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초소형 정밀기계 공정(microelectromechanical system, MEMS)을 이용하여 이산화탄소 감지 센서를 제조하는 방법에 있어서, (1) 스퍼터링 또는 진공 증발법을 이용하여 기재 위에 기준 전극 및 제 1 전류 집전체 박막 각각을 증착시키는 단계; (2) 상기 단계 (1)에서 제조한 박막 위에, 진공 증발법을 이용하여 Li-B-W-O계 전해질 박막을 증착시키는 단계; 및 (3) 상기 단계 (2)에서 제조한 전해질 박막 위에, 스퍼터링 또는 진공 증발법을 이용하여 제 2 전류 집전체 및 감지 전극 박막 각각을 증착시키는 단계 를 포함하는, 이산화탄소 감지 센서의 제조방법
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 기준 전극 및 상기 감지 전극 박막이 제 1 및 제 2 전류 집전체 박막보다 큰 면적을 갖는 것을 특징으로 하는, 이산화탄소 감지 센서의 제조방법
8 8
제 6 항에 있어서, 상기 전해질 박막 위에 증착하는 박막이 전해질 박막보다 큰 면적을 갖는 것을 특징으로 하는, 이산화탄소 감지 센서의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.