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광 에너지를 이용한 나노용접, 미세패터닝 및 고분자 박막 코팅을 포함하는나노와이어의 미세패터닝 방법 및 이에 의해 제조된 나노와이어 물질

  • 기술번호 : KST2015116519
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광 에너지를 이용한 나노와이어의 나노용접, 미세패터닝, 및 성장 제어방법에 관한 것으로서, 기판에 증착시킨 나노와이어를 광 에너지를 활용하여 나노용접 및 나노패터닝을 한 후, 나노물질의 표면을 고분자물질로 코팅시키는 미세패터닝 방법을 제공한다.이를 통해, 전기적 성능을 향상시킬 뿐만 아니라, 패터닝이 되고난 후, 고온, 다습 조건에서도 나노와이어의 추가 성장을 막아 제작된 패턴의 유효성을 장기간 유지할 수 있다.
Int. CL H01L 21/027 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01) B82B 3/0009(2013.01)
출원번호/일자 1020130067765 (2013.06.13)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1449745-0000 (2014.10.02)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20141015) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.06.13)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 고승환 대한민국 대전광역시 유성구
2 여준엽 대한민국 대전광역시 유성구
3 홍석준 대한민국 대전광역시 유성구
4 이필립 대한민국 대전광역시 유성구
5 이진환 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.06.13 수리 (Accepted) 1-1-2013-0525891-19
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.03.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.04.09 수리 (Accepted) 9-1-2014-0030458-74
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0299460-34
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.06.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0594985-32
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2014-0594986-88
7 등록결정서
Decision to grant		 2014.08.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0593677-53
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
나노와이어를 기판에 증착시키는 단계(단계 1);상기 단계 1의 나노와이어가 증착된 기판의 랜덤 구조물을 광 에너지를 활용하여 나노용접 또는 어블레이션(ablation)을 통해 미세패턴을 형성시키는 단계(단계 2);상기 단계 2에서 기판에 형성된 상기 미세패턴을 구성하는 나노와이어의 표면을 폴리우레탄으로 코팅시키는 단계(단계 3);를 포함하는 나노와이어의 미세패터닝 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 단계 1의 나노와이어는 금속, 탄소, 산화금속으로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나 이상의 재질인 것을 특징으로 하는 나노와이어의 미세패터닝 방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 단계 2의 광 에너지의 세기는 103 W/cm2 내지 108 W/cm2인 것을 특징으로 하는 나노와이어의 미세패터닝 방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 단계 2의 광 에너지의 광원이 CW레이저 또는 펄스레이저인 것을 특징으로 하는 나노와이어의 미세패터닝 방법
5 5
삭제
6 6
제1항에 있어서, 상기 폴리우레탄은 상기 폴리우레탄을 제조하기 위한 혼합용액 내의 폴리우레탄 대 이소프로필알콜, 에탄올, 메탄올으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종의 중량비가 1 : 1
7 7
제1항에 있어서
8 8
제1항에 따라 기판 위에 미세패터닝된 나노와이어 물질
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국과학기술원 기초과학연구사업 나노공정을 이용한 대규모 다중이용시설물의 자립형 스마트 피난유도시스템 개발
2 미래창조과학부 한국과학기술원 원천기술개발사업 삼차원 멀티스케일 분자에너지 변환기술