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전기 방사를 이용한 나노 패터닝 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015135256
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전기 방사를 이용한 나노 패터닝 장치 및 방법에 관한 것으로서, 전압 발생기를 통해 실린지의 모세관 팁 및 핀 형상의 그라운드 사이에 전압을 인가하여 상기 모세관 팁의 말단에서 폴리머 나노젯을 전기 방사하고, 전기 방사되는 폴리머 나노젯의 속도와 기판의 이동 속도 간의 속도비를 조절하여, 폴리머 나노젯을 그라운드 상부에 위치한 기판 상에 점착시켜 나노 패턴을 형성한다. 본 발명에 의하면, 전기 방사법에 내재된 불안정성을 극복하여 정밀한 형태의 나노 패턴을 형성할 수 있다. 전기 방사, 나노 패턴, 속도비, 폴리머
Int. CL B82B 3/00 (2017.01.01) D01D 5/00 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01)
CPC G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) G03F 7/0002(2013.01)
출원번호/일자 1020090038658 (2009.05.01)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1017994-0000 (2011.02.21)
공개번호/일자 10-2010-0119630 (2010.11.10) 문서열기
공고번호/일자 (20110302) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.05.01)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김호영 대한민국 서울특별시 관악구
2 김성호 대한민국 서울특별시 광진구
3 이민희 대한민국 부산광역시 영도구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장영태 대한민국 서울특별시 강남구 언주로***, *층(논현동,시그너스빌딩)(두호특허법인)
2 박국진 대한민국 서울특별시 강남구 언주로***, *층(논현동,시그너스빌딩)(두호특허법인)
3 노준태 대한민국 부산광역시 강서구 미음산단*로**번길**, *층***호(미음동,부산글로벌테크비즈센터)(두호특허법인(부산분사무소))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.05.01 수리 (Accepted) 1-1-2009-0266492-13
2 [공지예외적용대상(신규성, 출원시의 특례)증명서류]서류제출서
[Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)] Submission of Document		 2009.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2009-0282841-20
3 [공지예외적용대상(신규성, 출원시의 특례)증명서류]서류제출서
[Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)] Submission of Document		 2009.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2009-0282805-97
4 등록결정서
Decision to grant		 2011.02.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0093923-93
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.27 수리 (Accepted) 4-1-2011-5195109-43
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-5007213-54
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
폴리머 용액을 담지하며, 상기 폴리머 용액을 폴리머 나노젯의 형태로 전기 방사하는 모세관 팁을 구비한 실린지; 상기 모세관 팁과의 사이에 전기장을 형성하는 핀 형상의 그라운드; 및 상기 그라운드 상부에 형성되고, 상기 전기 방사되는 폴리머 나노젯이 점착되어 나노 패턴을 형성하는 기판; 및 상기 기판을 상기 폴리머 나노젯의 방사 방향과 수직한 평면을 따라 이동시키는 리니어 스테이지를 포함하는, 전기 방사를 이용한 나노 패터닝 장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 실린지 내의 압력을 제어하여, 상기 모세관 팁의 말단에 폴리머 액적이 맺혀지도록 하는 실린지 펌프; 및 상기 모세관 팁 및 그라운드 사이에 전기 방사가 일어나도록 전압을 인가하는 전압 발생기를 더 포함하는, 전기 방사를 이용한 나노 패터닝 장치
3 3
제1항에 있어서, 상기 모세관 팁과 상기 그라운드 사이의 거리는 1mm ~ 10mm인, 전기 방사를 이용한 나노 패터닝 장치
4 4
제3항에 있어서, 상기 모세관 팁과 상기 그라운드 사이에 인가되는 전압은 0
5 5
제1항에 있어서, 하기의 수학식으로 정의되는 상기 폴리머 나노젯의 낙하 속도와 상기 기판의 이동 속도 간의 속도비(U*)는 적어도 0
6 6
제1항에 있어서, 상기 그라운드는, 원뿔 또는 다각뿔의 핀 형상을 갖는, 전기 방사를 이용한 나노 패터닝 장치
7 7
전압 발생기를 통해 실린지의 모세관 팁과 핀 형상의 그라운드 사이에 전압을 인가하여, 상기 모세관 팁의 말단에서 폴리머 나노젯을 전기 방사하는 단계; 및 상기 전기 방사되는 폴리머 나노젯을 상기 그라운드 상부에 위치한 기판 상에 점착시켜 나노 패턴을 형성하는 단계를 포함하는, 전기 방사를 이용한 나노 패터닝 방법
8 8
제7항에 있어서, 상기 나노 패턴을 형성하는 단계는, 상기 폴리머 나노젯의 속도와 상기 기판의 이동 속도 간의 속도비를 조절하여 상기 폴리머 나노젯을 상기 기판 상에 점착시키는, 전기 방사를 이용한 나노 패터닝 방법
9 9
제8항에 있어서, 하기의 수학식으로 정의되는 상기 폴리머 나노젯의 낙하 속도와 상기 기판의 이동 속도 간의 속도비(U*)는 적어도 0
10 10
제7항에 있어서, 상기 폴리머 나노젯을 방사하는 단계에 있어서, 상기 모세관 팁과 상기 그라운드 사이의 거리는 1mm ~ 10mm로 하는, 전기 방사를 이용한 나노 패터닝 방법
11 11
제7항에 있어서, 상기 폴리머 나노젯을 방사하는 단계에 있어서, 상기 모세관 팁과 상기 그라운드 사이에 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.