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극초단 펄스 레이저를 이용한 단일 펄스 패턴 형성방법 및시스템

  • 기술번호 : KST2015213006
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 극초단 펄스 레이저에서 조사되는 극초단 펄스 레이저빔을 이용하여 단일 펄스로 주기적인 점 패턴을 형성하기 위한 것으로, 이를 위한 본 발명은 가공물을 이송 스테이지에 장착하는 제1단계와, 극초단 펄스 레이저에서 조사되는 레이저빔의 세기를 결정하는 제2단계와, 이송 스테이지의 이동 속도를 조절하여 패턴의 간격을 결정하는 제3단계와, 결정된 세기 및 패턴의 간격에 맞게 레이저빔을 생성하여 조사하는 제4단계와, 조사된 레이저빔을 집속하여 가공물에 조사하여 주기적인 점 패턴을 형성하는 제5단계를 포함한다. 따라서, 기존 펨토초 레이저를 이용한 직접기입 방법에서의 가공 시간이 길어지게 단점과, 장시간의 가공에서 오는 안정성이 떨어지게 되는 문제점을 해결할 수 있어 브래그 격자 제작에 수천배 빠른 가공 속도로 균일한 점 패턴을 매우 유용하게 제작할 수 있는 효과가 있다. 극초단 펄스 레이저, 패턴, 컴퓨터, 브래그 격자
Int. CL G02B 6/02 (2006.01) G02B 6/00 (2000.01)
CPC
출원번호/일자 1020050096039 (2005.10.12)
출원인 한국정보통신대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0792593-0000 (2008.01.02)
공개번호/일자 10-2005-0104323 (2005.11.02) 문서열기
공고번호/일자 (20080109) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.10.12)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국정보통신대학교 산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 손익부 대한민국 대전 유성구
2 이만섭 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장성구 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))
2 김원준 대한민국 서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)(제일특허법인(유))

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.10.12 수리 (Accepted) 1-1-2005-0576718-36
2 공지예외적용주장대상(신규성,출원시의특례)증명서류제출서
Submission of Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)		 2005.10.13 수리 (Accepted) 1-1-2005-5123845-63
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.08.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.09.14 수리 (Accepted) 9-1-2006-0060795-16
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.11.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0664134-51
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2007.01.11 수리 (Accepted) 1-1-2007-0028670-59
7 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2007.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2007-0126132-84
8 의견서
Written Opinion		 2007.03.12 수리 (Accepted) 1-1-2007-0199253-99
9 의견서
Written Opinion		 2007.03.12 수리 (Accepted) 1-1-2007-0198651-89
10 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2007.03.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0198648-41
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.03.21 수리 (Accepted) 4-1-2007-5043304-47
12 보정요구서
Request for Amendment		 2007.07.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0377763-39
13 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2007.07.13 수리 (Accepted) 1-1-2007-0511583-82
14 등록결정서
Decision to grant		 2007.12.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0685646-97
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2007-5193163-24
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
극초단 펄스 레이저를 이용하여 가공물에 단일 펄스 패턴을 형성하는 방법으로서,상기 가공물을 이송 스테이지에 장착하는 제1단계와, 상기 극초단 펄스 레이저에서 조사되는 레이저빔의 세기를 결정하는 제2단계와, 상기 이송 스테이지의 이동 속도를 조절하여 상기 패턴의 간격을 결정하는 제3단계와, 상기 결정된 세기 및 패턴의 간격에 맞게 레이저빔을 생성하여 조사하는 제4단계와, 상기 조사된 레이저빔을 집속하여 상기 가공물에 조사하여 주기적인 점 패턴을 형성하는 제5단계를 포함하며, 상기 가공물은, 불투명 메탈 기판 혹은 투명 기판인 극초단 펄스 레이저를 이용한 단일 펄스 패턴 형성방법
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 불투명 메탈 기판의 표면에 상기 점 패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 극초단 펄스 레이저를 이용한 단일 펄스 패턴 형성방법
4 4
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6 6
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7 7
극초단 펄스 레이저를 이용하여 가공물에 단일 펄스 패턴을 형성하는 방법으로서,상기 가공물을 이송 스테이지에 장착하는 제1단계와, 상기 극초단 펄스 레이저에서 조사되는 레이저빔의 세기를 결정하는 제2단계와, 상기 이송 스테이지의 이동 속도를 조절하여 상기 패턴의 간격을 결정하는 제3단계와, 상기 결정된 세기 및 패턴의 간격에 맞게 레이저빔을 생성하여 조사하는 제4단계와, 상기 조사된 레이저빔을 집속하여 상기 가공물에 조사하여 주기적인 점 패턴을 형성하는 제5단계를 포함하며,상기 레이저빔은 빔 집속 렌즈에 의해 집속되며, 상기 방법은 빔 집속 렌즈의 배율 및 개구수의 크기와 상기 레이저빔 펄스의 세기를 조절하여 상기 점 패턴의 크기와 깊이를 조절하는 극초단 펄스 레이저를 이용한 단일 펄스 패턴 형성방법
8 8
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9 9
극초단 펄스 레이저를 이용하여 가공물에 단일 펄스 패턴을 형성하는 시스템으로서, 상기 가공물을 장착하는 이송 스테이지와, 상기 극초단 펄스 레이저에서 조사되는 레이저빔의 세기와, 상기 이송 스테이지의 이동 속도를 조절하여 점 패턴의 간격을 결정하는 프로세서 수단과,상기 결정된 세기 및 점 패턴의 간격에 맞게 레이저빔을 생성하여 조사하는 조사 수단과, 상기 조사된 레이저빔을 상기 가공물에 조사하여 주기적인 점 패턴을 형성하는 경통 수단를 포함하며, 상기 경통 수단은, 상기 레이저빔을 전달하는 전달 수단과, 상기 레이저빔을 집속하여 상기 가공물에 조사하는 집속 수단과, 상기 집속된 레이저빔이 가공물에 주기적인 점 패턴으로 형성되는 것을 촬영하는 촬영수단을 더 포함하는 극초단 펄스 레이저를 이용한 단일 펄스 패턴 형성 시스템
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11 11
극초단 펄스 레이저를 이용하여 가공물에 단일 펄스 패턴을 형성하는 방법으로서,상기 가공물을 이송 스테이지에 장착하는 제1단계와, 상기 극초단 펄스 레이저에서 조사되는 레이저빔의 세기를 결정하는 제2단계와, 상기 이송 스테이지의 이동 속도를 조절하여 상기 패턴의 간격을 결정하는 제3단계와, 상기 결정된 세기 및 패턴의 간격에 맞게 레이저빔을 생성하여 조사하는 제4단계와, 상기 조사된 레이저빔을 사선형의 형태로 변환하여 전달하는 제5단계와, 상기 전달된 사선형의 레이저빔을 집속하여 상기 가공물에 조사하여 주기적인 선 패턴을 형성하는 제6단계를 포함하며,상기 가공물은, 불투명 메탈 기판 혹은 투명 기판인 극초단 펄스 레이저를 이용한 단일 펄스 패턴 형성방법
12 12
제 11 항에 있어서, 상기 불투명 메탈 기판의 표면에 상기 선 패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 극초단 펄스 레이저를 이용한 단일 펄스 패턴 형성방법
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극초단 펄스 레이저를 이용하여 가공물에 단일 펄스 패턴을 형성하는 방법으로서,상기 가공물을 이송 스테이지에 장착하는 제1단계와, 상기 극초단 펄스 레이저에서 조사되는 레이저빔의 세기를 결정하는 제2단계와, 상기 이송 스테이지의 이동 속도를 조절하여 상기 패턴의 간격을 결정하는 제3단계와, 상기 결정된 세기 및 패턴의 간격에 맞게 레이저빔을 생성하여 조사하는 제4단계와, 상기 조사된 레이저빔을 사선형의 형태로 변환하여 전달하는 제5단계와, 상기 전달된 사선형의 레이저빔을 집속하여 상기 가공물에 조사하여 주기적인 선 패턴을 형성하는 제6단계를 포함하며, 상기 레이저빔은 빔 집속 렌즈에 의해 집속되며, 상기 방법은 빔 집속 렌즈의 배율 및 개구수의 크기와 상기 레이저빔 펄스의 세기를 조절하여 상기 선 패턴의 크기와 깊이를 조절하는 극초단 펄스 레이저를 이용한 단일 펄스 패턴 형성방법
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18 18
극초단 펄스 레이저를 이용하여 가공물에 단일 펄스 패턴을 형성하는 시스템으로서, 상기 가공물을 장착하는 이송 스테이지와, 상기 극초단 펄스 레이저에서 조사되는 레이저빔의 세기와, 상기 이송 스테이지의 이동 속도를 조절하여 점 패턴의 간격을 결정하는 프로세서 수단과,상기 결정된 세기 및 점 패턴의 간격에 맞게 레이저빔을 생성하여 조사하는 조사 수단과, 상기 조사된 레이저빔을 사선형의 형태로 변환하여 전달하는 슬릿 수단과, 상기 전달된 사선형의 레이저빔을 상기 가공물에 조사하여 주기적인 선 패턴을 형성하는 경통 수단를 포함하며,상기 경통 수단은, 상기 사선형의 레이저빔을 전달하는 전달 수단과, 상기 사선형의 레이저빔을 집속하여 상기 가공물에 조사하는 집속 수단과, 상기 집속된 사선형의 레이저빔이 가공물에 주기적인 선 패턴으로 형성되는 것을 촬영하는 촬영수단을 더 포함하는 극초단 펄스 레이저를 이용한 단일 펄스 패턴 형성 시스템
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US20070091977 US 미국 FAMILY

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2007091977 US 미국 DOCDBFAMILY
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