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그래핀 기반의 유연 수소 센서 및 그 제조 방법

기술번호 : KST2020016874
담당센터 : 대전기술혁신센터
전화번호 : 042-610-2279

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명에 따른 그래핀 기반의 유연 수소 센서는, 베이스 기판과, 상기 베이스 기판 상에 임의의 패턴으로 형성된 그래핀층과, 상기 그래핀층의 상부에 형성된 나노입자 형태의 촉매제와, 내측 단부가 상기 그래핀층의 외측 단부에 접촉되는 형태로 상기 베이스 기판 상에 형성된 전극을 포함할 수 있다.
Int. CL	G01N 27/12 (2006.01.01) G01N 27/416 (2006.01.01) G01N 27/414 (2006.01.01) G01N 27/404 (2006.01.01) H01L 29/16 (2006.01.01) H01L 29/06 (2006.01.01) H01L 21/285 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/268 (2006.01.01)
CPC	G01N 27/127(2013.01) G01N 27/4162(2013.01) G01N 27/4141(2013.01) G01N 27/4045(2013.01) H01L 29/1606(2013.01) H01L 29/0665(2013.01) H01L 21/285(2013.01) H01L 21/02118(2013.01) H01L 21/268(2013.01) H01L 21/02266(2013.01)
출원번호/일자	1020190060715 (2019.05.23)
출원인	한국과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자	10-2020-0134764 (2020.12.02) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2019.05.23)
심사청구항수	22

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	한국과학기술원	대한민국	대전광역시 유성구

발명자

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번호	이름	주소
1	박인규	대전광역시 유성구
2	조민규	대전광역시 유성구
3	지안성주	대전광역시 유성구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	제일특허법인(유)	대한민국	서울특별시 서초구 마방로 ** (양재동, 동원F&B빌딩)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2019.05.23	수리 (Accepted)	1-1-2019-0530680-17
2	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2020.02.13	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2020.03.12	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-6-2020-0121875-70
4	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.05.15	수리 (Accepted)	4-1-2020-5108396-12
5	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.06.12	수리 (Accepted)	4-1-2020-5131486-63
6	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2020.08.28	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2020-0591349-43
7	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2020.10.28	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2020-1146529-26
8	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서	2020.10.28	수리 (Accepted)	1-1-2020-1146528-81

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 베이스 기판과,상기 베이스 기판 상에 임의의 패턴으로 형성된 그래핀층과,상기 그래핀층의 상부에 형성된 나노입자 형태의 촉매제와,내측 단부가 상기 그래핀층의 외측 단부에 접촉되는 형태로 상기 베이스 기판 상에 형성된 전극을 포함하는그래핀 기반의 유연 수소 센서
2	2 제 1 항에 있어서,상기 베이스 기판은,폴리이미드 재질인그래핀 기반의 유연 수소 센서
3	3 제 1 항에 있어서,상기 그래핀층은,삼차원의 다공성 나노구조를 갖는그래핀 기반의 유연 수소 센서
4	4 제 1 항에 있어서,상기 촉매제는,팔라듐 나노입자인그래핀 기반의 유연 수소 센서
5	5 베이스 기판을 준비하는 단계와,베이스 기판 상에 레이저를 조사하여 임의의 패턴을 갖는 그래핀층을 형성하는 단계와,증착 공정을 수행하여 상기 그래핀층의 상부에 나노입자 형태의 촉매제를 형성하는 단계와,내측 단부가 상기 그래핀층의 외측 단부에 접촉되는 형태로 상기 베이스 기판 상에 전극을 형성하는 단계를 포함하는그래핀 기반의 유연 수소 센서 제조 방법
6	6 제 5 항에 있어서,상기 베이스 기판은,폴리이미드 재질인그래핀 기반의 유연 수소 센서 제조 방법
7	7 제 5 항에 있어서,상기 레이저는,이산화탄소(CO2) 레이저인그래핀 기반의 유연 수소 센서 제조 방법
8	8 제 5 항에 있어서,상기 그래핀층은,삼차원의 다공성 나노구조를 갖는그래핀 기반의 유연 수소 센서 제조 방법
9	9 제 5 항에 있어서,상기 증착 공정은,전자빔(E-Beam) 증착 공정인그래핀 기반의 유연 수소 센서 제조 방법
10	10 제 5 항에 있어서,상기 촉매제는,팔라듐 나노입자인그래핀 기반의 유연 수소 센서 제조 방법
11	11 베이스 기판과,상기 베이스 기판 상에 형성된 자외선 반응층과,상기 자외선 반응층 상에 임의의 패턴으로 형성된 그래핀층과,상기 그래핀층의 상부에 형성된 나노입자 형태의 촉매제와,내측 단부가 상기 그래핀층의 외측 단부에 접촉되는 형태로 상기 자외선 반응층 상에 형성된 전극을 포함하는그래핀 기반의 유연 수소 센서
12	12 제 11 항에 있어서,상기 베이스 기판은,PET(polyethylene terapthalate), PVA(Polyvinyl alcohol), PLLA(Polylactic acid), PLA(Polylactic acid), PVC(Polyvinyl chloride), PTFE(Polytetrafluoroethylene) 중 어느 하나인그래핀 기반의 유연 수소 센서
13	13 제 11 항에 있어서,상기 그래핀층은,삼차원의 다공성 나노구조를 갖는그래핀 기반의 유연 수소 센서
14	14 제 11 항에 있어서,상기 촉매제는,팔라듐 나노입자인그래핀 기반의 유연 수소 센서
15	15 임의의 패턴을 갖는 그래핀층이 상부에 형성된 희생막을 준비하는 단계와,상부에 자외선 반응층이 코팅된 베이스 기판을 준비하는 단계와,상기 그래핀층의 상부가 상기 자외선 반응층의 상부 목표 위치에 맞닿도록 정렬시키는 단계와,상기 베이스 기판을 통해 상기 자외선 반응층에 자외선을 조사함으로써, 상기 자외선 반응층을 경화시키는 단계와,상기 그래핀층으로부터 상기 희생막을 박리시키는 단계와,증착 공정을 수행하여 상기 그래핀층의 상부에 나노입자 형태의 촉매제를 형성하는 단계와,내측 단부가 상기 그래핀층의 외측 단부에 접촉되는 형태로 경화된 상기 자외선 반응층 상에 전극을 형성하는 단계를 포함하는그래핀 기반의 유연 수소 센서 제조 방법
16	16 제 15 항에 있어서,상기 희생막을 준비하는 단계는,상기 희생막 상에 레이저를 조사하여 상기 그래핀층을 형성하는그래핀 기반의 유연 수소 센서 제조 방법
17	17 제 16 항에 있어서,상기 희생막은,폴리이미드 재질인그래핀 기반의 유연 수소 센서 제조 방법
18	18 제 16 항에 있어서,상기 레이저는,이산화탄소(CO2) 레이저인그래핀 기반의 유연 수소 센서 제조 방법
19	19 제 16 항에 있어서,상기 그래핀층은,삼차원의 다공성 나노구조를 갖는그래핀 기반의 유연 수소 센서 제조 방법
20	20 제 15 항에 있어서,상기 베이스 기판은,PET, PVA, PLLA, PLA, PVC, PDMS, PDFE 중 어느 하나인그래핀 기반의 유연 수소 센서 제조 방법
21	21 제 15 항에 있어서,상기 증착 공정은,전자빔(E-Beam) 증착 공정인그래핀 기반의 유연 수소 센서 제조 방법
22	22 제 15 항에 있어서,상기 촉매제는,팔라듐 나노입자인그래핀 기반의 유연 수소 센서 제조 방법

순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번	연구부처	주관기관	연구사업	연구과제
1	과학기술정보통신부	한국과학기술원	개인기초연구(과기정통부)(R＆D)	올인원 스마트 스킨을 위한 웨어러블 멀티센서 시스템 핵심기술 연구
2	과학기술정보통신부	연세대학교	집단연구지원(R＆D)	초정밀 광 기계기술 연구센터

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2019.05.23	수리 (Accepted)	1-1-2019-0530680-17
2	선행기술조사의뢰서	2020.02.13	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서	2020.03.12	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-6-2020-0121875-70
4	출원인정보변경(경정)신고서	2020.05.15	수리 (Accepted)	4-1-2020-5108396-12
5	출원인정보변경(경정)신고서	2020.06.12	수리 (Accepted)	4-1-2020-5131486-63
6	의견제출통지서	2020.08.28	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2020-0591349-43
7	[명세서등 보정]보정서	2020.10.28	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2020-1146529-26
8	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서	2020.10.28	수리 (Accepted)	1-1-2020-1146528-81

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