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대면적 스테이지의 빔

  • 기술번호 : KST2014048395
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 대면적 스테이지의 빔에 관한 것으로, 보다 상세하게는 상기 대면적 스테이지의 빔에서 발생될 수 있는 처짐을 보다 적극적으로 방지 및 최소화시켜 스테이지의 고정밀도를 실현할 수 있도록 한 대면적 스테이지의 빔에 관한 것으로서, 복합재료로 이루어진 내부 프레임(frame)(1)과; 상기 내부 프레임(1)의 측면에 구비되는 압축력 도입부(2)와; 상기 내부 프레임(1)의 외측에 구비되는 금속보강재(3)와; 상기 금속보강재(3)의 양단부에 착탈가능하게 구비되는 엔드클로우져(end closure)(4);로 구성됨으로써 상기한 미세한 처짐을 보다 능동적으로 최소화할 수 있는 효과가 있다.빔, 지주, 프레임, 텐션와이어, 와이어 고정부, 와이어 지지부
Int. CL H01L 21/00 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01)
CPC H01L 21/683(2013.01)
출원번호/일자 1020060110796 (2006.11.10)
출원인 한양대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0781292-0000 (2007.11.26)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20071130) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.11.10)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오제훈 대한민국 경기 안양시 동안구
2 이동준 대한민국 경기 안산시 상록구
3 오필승 대한민국 경기 안산시 상록구
4 임시연 대한민국 경기 안산시 상록구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 웰 대한민국 서울특별시 서초구 방배로**길*, *~*층(방배동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 경기도 안산시 상록구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2006.11.10 수리 (Accepted) 1-1-2006-0822548-65
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2007.07.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2007.08.10 수리 (Accepted) 9-1-2007-0046687-00
4 등록결정서
Decision to grant
2007.09.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0509355-22
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.03.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5037763-28
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2014-5068294-39
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.02.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5022074-70
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5155816-75
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.08.06 수리 (Accepted) 4-1-2019-5156285-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
지주(110)에 의해 빔(130)의 양단 하부가 지지되고, 상기 지주(110)는 석정반(100) 상의 지주 베이스부(120)를 따라 이동가능하게 구비되는 대면적 스테이지에 있어서, 복합재료로 이루어진 내부 프레임(1)과;상기 내부 프레임(1)의 측면에 구비되는 압축력 도입부(2)와;상기 내부 프레임(1)의 외측에 구비되는 금속보강재(3)와;상기 금속보강재(3)의 양단부에 착탈가능하게 구비되는 엔드클로우져(4);로 구성된 것을 특징으로 한 대면적 스테이지의 빔
2 2
제1항에 있어서, 상기 내부 프레임(1)은,I형 프레임(11)으로 형성된 것을 특징으로 한 대면적 스테이지의 빔
3 3
제2항에 있어서, 상기 내부 프레임(1)은,I형 프레임(11)의 양측에 복합재료 샌드위치 구조재(12)를 더 포함하는 것을 특징으로 한 대면적 스테이지의 빔
4 4
제1항에 있어서, 상기 내부 프레임(1)은,중공부(13a)를 갖는 I형 박스프레임(13)으로 형성된 것을 특징으로 한 대면적 스테이지의 빔
5 5
제4항에 있어서, 상기 내부 프레임(1)은,I형 박스프레임(13)의 중공부(13a)에 삽입되는 복합재료 샌드위치 구조재(12)를 더 포함하는 것을 특징으로 한 대면적 스테이지의 빔
6 6
제1항에 있어서, 상기 압축력 도입부(2)는,텐션와이어(21)와;상기 텐션와이어(21)의 양단부를 인장된 상태로 내부 프레임(130)의 측면에서 고정하는 와이어 고정부(22);로 이루어진 것을 특징으로 한 대면적 스테이지의 빔
7 7
제6항에 있어서, 상기 와이어 고정부(22)는,내부 프레임(130)의 측면 양측에 고정되고, 상기 측면에 대하여 직각을 이루는 돌출편(221a)에 와이어 장착공(221b)이 형성된 한 쌍의 지지브라켓트(221)와;상기 지지브라켓트(221)의 와이어 장착공(221b)에 삽입되는 텐션와이어(21)의 양단부에 형성되는 나선부(222)와;상기 나선부(222)에 체결되는 너트(223);로 구성된 것을 특징으로 한 대면적 스테이지의 빔
8 8
제6항에 있어서, 상기 텐션와이어(21)는,내부 프레임(130)의 중립축에 대하여 편심거리가 일정하게 중립축(10) 하부에 직선 형태로 양단이 와이어 고정부(22)에 장착되는 것을 특징으로 한 대면적 스테이지의 빔
9 9
제6항에 있어서, 상기 텐션와이어(21)는,내부 프레임(130)의 중립축(10) 상부에 위치되는 와이어 고정부(22) 사이의 중립축(10) 하부에 와이어 고정홈(231)을 갖는 와이어 지지부(23)가 형성되어 상기 와이어 지지부(23)를 중심으로 굴곡진 형태로 양단이 상기 와이어 고정부(22)에 장착되는 것을 특징으로 한 대면적 스테이지의 빔
10 10
제6항에 있어서, 상기 텐션와이어(21)는,내부 프레임(130)의 중립축(10)에 대하여 편심거리가 일정하게 중립축(10) 하부에 직선 형태로 양단이 와이어 고정부(22)에 장착되는 제1 텐션와이어(21)와;내부 프레임(130)의 중립축(10) 상부에 위치되는 와이어 고정부(22) 사이의 중립축(10) 하부에 와이어 고정홈(231)을 갖는 와이어 지지부(23)가 형성되어 상기 와이어 지지부(23)를 중심으로 굴곡진 형태로 양단이 상기 와이어 고정부(22)에 장착되는 제2 텐션와이어(21);로 구성되는 것을 특징으로 한 대면적 스테이지의 빔
11 11
제10항에 있어서, 상기 와이어 지지부(23)는,내부 프레임(130)의 측면에 고정되고, 상기 측면에 대하여 직각을 이루는 지지편(232a)에 제1,2 와이어 관통공(232b)(232c)이 형성된 고정브라켓트(232)로 구성되고;상기 제1,2 와이어 관통공(232b)(232c)은 내부 프레임(130)의 중립축(10) 하부에 위치하며;상기 제1 와이어 관통공(232b)의 내면에 라운딩부(232d)가 형성된 것을 특징으로 한 대면적 스테이지의 빔
12 12
제1항에 있어서, 상기 금속보강재(3)는,서로 직각을 이루는 상면(311)과 일측면(312), 하면(321)과 타측면(322)으로 상
13 13
제1항에 있어서, 상기 엔드클로우져(4)는,지주(110)의 각각에 일측 및 상부가 개방된 내부홈(41)을 서로 대향되게 형성하여 빔이 삽입될 수 있도록 구성하고, 상기 내부홈(41)은 덮개(42)에 의해서 상부가 개폐될 수 있도록 구성한 것을 특징으로 한 대면적 스테이지의 빔
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패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.