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입력 전류를 전달 받는 제1 헬리칼 구조 도선; 및 상기 제1 헬리칼 구조 도선과 대칭적으로 배치되어 상기 제1 헬리칼 구조 도선 상의 상기 입력 전류에 의해 유도되는 제1 자기장과 반대 방향으로 제2 자기장을 형성하여 상기 제1 자기장을 상쇄시키는 제2 헬리칼 구조 도선을 포함하고, 상기 제1 자기장에 의하여 상기 제2 헬리칼 구조 도선에 유도되는 유도 전압 노드의 전압에 기초하여 입력 전류를 측정하는 전류 프로브
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제1 항에 있어서,상기 유도 전압 노드의 전압은 상기 제1 헬리칼 구조 도선과 상기 제2 헬리칼 구조 도선 사이의 간격에 기초하여 결정되는 것을 특징으로 하는 전류 프로브
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3
제1 항에 있어서,상기 유도 전압 노드의 전압은 상기 제1 헬리칼 구조 도선의 턴-수에 기초하여 결정되는 것을 특징으로 하는 전류 프로브
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4
제1 항에 있어서, 상기 유도 전압 노드의 전압은 상기 제2 헬리칼 구조 도선의 턴-수에 기초하여 결정되는 것을 특징으로 하는 전류 프로브
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5
제1 항에 있어서, 상기 제2 헬리칼 구조 도선은 재배선 상의 입력 전류를 측정하기 위한 재배선인 것을 특징으로 하는 전류 프로브
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6
제1 항에 있어서,상기 제2 헬리칼 구조 도선은 인터포저 메탈 상의 입력 전류를 측정하기 위한 인터포저 메탈인 것을 특징으로 하는 전류 프로브
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7
헬리칼 구조 전류 프로브를 포함하는 메탈 층;상기 메탈 층의 상면에 형성되는 패시배이션 층; 및 상기 메탈 층의 하면에 형성되는 서브스트레이트 층을 포함하고,상기 헬리칼 구조 전류 프로브는 입력 전류를 전달 받는 제1 헬리칼 구조 도선; 및 상기 제1 헬리칼 구조 도선과 대칭적으로 배치되어 상기 제1 헬리칼 구조 도선 상의 상기 입력 전류에 의해 유도되는 제1 자기장과 반대 방향으로 제2 자기장을 형성하여 상기 제1 자기장을 상쇄시키는 제2 헬리칼 구조 도선을 포함하고,상기 제1 자기장에 의하여 상기 제2 헬리칼 구조 도선 상의 유도 전압 노드의 전압을 유도하는 반도체 칩
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8
제7 항에 있어서, 상기 유도 전압 노드의 전압은 상기 제1 헬리칼 구조 도선과 상기 제2 헬리칼 구조 도선 사이의 간격에 기초하여 결정되고,상기 제2 헬리칼 구조 도선은 재배선 상의 입력 전류를 측정하기 위한 재배선인 것을 특징으로 하는 반도체 칩
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9
제7 항에 있어서, 상기 유도 전압 노드의 전압은 상기 제1 헬리칼 구조 도선과 상기 제2 헬리칼 구조 도선의 턴-수에 기초하여 결정되고,상기 제2 헬리칼 구조 도선은 인터포저 메탈 상의 입력 전류를 측정하기 위한 인터포저 메탈인 것을 특징으로 하는 반도체 칩
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10
헬리칼 구조 전류 프로브;상기 헬리칼 구조 전류 프로브의 유도 전압 노드의 전압을 측정하여 전압 스펙트럼을 출력하는 전압 스펙트럼 부; 및 상기 전압 스펙트럼을 수신하고 상기 헬리칼 구조 전류 프로브의 입력 전류 노드와 상기 유도 전압 노드 사이의 임피던스에 기초하여 전류 스펙트럼을 출력하는 전류 스펙트럼 산출부를 포함하고,상기 헬리칼 구조 전류 프로브는,입력 전류를 전달 받는 제1 헬리칼 구조 도선; 및 상기 제1 헬리칼 구조 도선과 대칭적으로 배치되어 상기 제1 헬리칼 구조 도선 상의 상기 입력 전류에 의해 유도되는 제1 자기장과 반대 방향으로 제2 자기장을 형성하여 상기 제1 자기장을 상쇄시키는 제2 헬리칼 구조 도선을 포함하고, 상기 제1 자기장에 의하여 상기 제2 헬리칼 구조 도선 상의 유도 전압 노드의 전압을 유도하는 스펙트럼 분석기
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11
제10 항에 있어서, 상기 유도 전압 노드의 전압은 상기 제1 헬리칼 구조 도선의 턴-수에 기초하여 결정되고,상기 전류 스펙트럼 산출부에서 출력되는 상기 전류 스펙트럼을 외부에 나타내는 표시부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스펙트럼 분석기
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12
제10 항에 있어서, 상기 유도 전압 노드의 전압은 상기 제1 헬리칼 구조 도선과 상기 제2 헬리칼 구조 도선 사이의 간격에 기초하여 결정되고,상기 전류 스펙트럼 산출부에서 출력되는 상기 전류 스펙트럼을 외부에 나타내는 표시부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스펙트럼 분석기
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13
헬리칼 구조 전류 프로브;상기 헬리칼 구조 전류 프로브의 유도 전압 노드의 전압을 측정하여 전압 스펙트럼을 출력하는 전압 스펙트럼 부; 상기 전압 스펙트럼을 수신하고 상기 헬리칼 구조 전류 프로브의 입력 전류 노드와 상기 유도 전압 노드 사이의 임피던스에 기초하여 전류 스펙트럼을 출력하는 전류 스펙트럼 산출부; 및 상기 전류 스펙트럼을 수신하고 인버스 패스트 퓨리에 트랜스폼(IFFT)을 수행하여 입력 전류를 출력하는 역변환 부를 포함하고,상기 헬리칼 구조 전류 프로브는,상기 입력 전류를 전달 받는 제1 헬리칼 구조 도선; 및 상기 제1 헬리칼 구조 도선과 대칭적으로 배치되어 상기 제1 헬리칼 구조 도선 상의 상기 입력 전류에 의해 유도되는 제1 자기장과 반대 방향으로 제2 자기장을 형성하여 상기 제1 자기장을 상쇄시키는 제2 헬리칼 구조 도선을 포함하고, 상기 제1 자기장에 의하여 상기 제2 헬리칼 구조 도선 상의 유도 전압 노드의 전압을 유도하는 전류 측정기
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제13 항에 있어서, 상기 유도 전압 노드의 전압은 상기 제1 헬리칼 구조 도선과 상기 제2 헬리칼 구조 도선 사이의 간격에 기초하여 결정되고,상기 역변환 부에서 출력되는 상기 입력 전류를 외부에 나타내는 표시부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전류 측정기
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헬리칼 구조 전류 프로브에 유도 전류를 발생하는 단계;상기 헬리칼 구조 전류 프로브의 유도 전압 노드의 전압을 측정하여 전압 스펙트럼을 생성하는 단계;상기 헬리칼 구조 전류 프로브의 입력 전류 노드와 상기 유도 전압 노드 사이의 임피던스를 측정하여 임피던스 스펙트럼을 생성하는 단계;상기 전압 스펙트럼과 상기 임피던스 스펙트럼에 기초하여 전류 스펙트럼을 산출하는 단계; 및 상기 전류 스펙트럼을 인버스 패스트 퓨리에 트랜스폼(IFFT)을 수행하여 입력 전류를 산출하는 단계를 포함하는 전류 산출 방법
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