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마이크로캔틸레버 및 그 제조 방법과 실리콘 박막 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015134895
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 응력 구배 완화 및 표면 저항 감소를 위한 마이크로메카니컬 구조체의 실리콘 박막 제조 방법이 개시된다. 실리콘 박막 위에 Cu-박막을 증착하고, 노열처리를 수행하여, 실리콘 박막 표면에서 Cu-실리사이드화를 일으킨다. 실리콘 박막은 상부 표면에 Cu-실리사이드를 포함한다. Cu-실리사이드, 캔틸레버
Int. CL H01L 21/285 (2006.01.01) H01L 21/324 (2017.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC H01L 21/28518(2013.01) H01L 21/28518(2013.01) H01L 21/28518(2013.01) H01L 21/28518(2013.01)
출원번호/일자 1020080084827 (2008.08.29)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1049702-0000 (2011.07.11)
공개번호/일자 10-2010-0026021 (2010.03.10) 문서열기
공고번호/일자 (20110715) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호 1020110028948;
심사청구여부/일자 Y (2008.08.29)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김용협 대한민국 서울특별시 서초구
2 강태준 대한민국 서울특별시 동작구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인코리아나 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 **길 **(역삼동, 케이피빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2008-0615816-76
2 보정요구서
Request for Amendment		 2008.09.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2008-0110225-30
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2008.09.16 수리 (Accepted) 1-1-2008-0651796-84
4 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status		 2008.11.17 수리 (Accepted) 1-1-2008-0791126-64
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2010.05.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2010.06.17 수리 (Accepted) 9-1-2010-0037915-08
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.07.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0295744-64
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.09.09 수리 (Accepted) 1-1-2010-0587826-89
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.09.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0587827-24
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2010.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0597588-32
11 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)		 2011.01.28 수리 (Accepted) 7-1-2011-0003780-66
12 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2011.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2011-0232485-11
13 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2011.03.30 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2011-0012510-67
14 등록결정서
Decision to grant		 2011.04.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0208859-22
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.27 수리 (Accepted) 4-1-2011-5195109-43
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-5007213-54
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
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번호 청구항
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지지층 및 상기 지지층 상부의 캔틸레버층을 갖는 캔틸레버 구조체 형성 방법으로서, 캔틸레버층이 지지층으로부터 멀어지는 방향으로 휘어진 경우에는, 지지층과 반대방향의 캔틸레버층 표면에 Cu-박막을 증착하고, 캔틸레버층이 지지층에 가까워지는 방향으로 휘어진 경우에는, 지지층의 방향의 캔틸레버층 표면에 Cu-박막을 증착하는 공정; 상기 Cu-박막에 노열처리를 수행하는 공정을 포함하는, 캔틸레버 구조체 형성 방법
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제 13 항에 있어서, 상기 노열처리는 200 ℃ 이하인, 캔틸레버 구조체 형성 방법
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제 13 항에 있어서, 상기 Cu-박막을 증착하기 전에, 불화플루오를화수소 수용액을 이용하여 상기 캔틸레버층 표면의 자연 산화물을 제거하는 공정을 더 포함하는, 캔틸레버 구조체 형성 방법
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제 13 항에 있어서, 상기 노열처리 공정 후에, 실리사이드화 되지 않고 남아있는 Cu 및 Cu-산화물을 제거하는 공정을 더 포함하는, 캔틸레버 구조체 형성 방법
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1 KR101118007 KR 대한민국 FAMILY

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