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집속이온빔과 ＭＲＦ를 이용한 나노 구조물의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015124834
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 시편(2) 표면의 일부분에 집속이온빔을 조사하여 집속이온빔이 조사된 시편(2)에 이온을 주입하는 제 1 단계; 자기 유변 유체를 이용하여 상기 시편(2)의 미세형상을 가공하는 제 2 단계로 이루어지는 나노 구조물의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 집속이온빔 공정을 통해 마스크 없이 이온을 주입하고, 이를 MRF 공정을 통해 나노 구조물을 연마하는 2단계의 나노 구조물 제조공정을 수행함으로써, 종래보다 제조공정이 단축되고, 이온 주입량에 따라 나노 패턴, 렌즈 형상의 3차원 가공을 보다 용이하게 넓은 대면적에 대해 적용할 수 있는 효과가 있다. 나노 구조물, 제조방법, MRF, 집속이온빔, FIB, 자기 유변 유체
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) H01L 21/027 (2011.01)
CPC B82B 3/0014(2013.01) B82B 3/0014(2013.01)
출원번호/일자 1020060114415 (2006.11.20)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0788796-0000 (2007.12.18)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20071227) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.11.20)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 민병권 대한민국 서울 서대문구
2 이상조 대한민국 서울 서대문구
3 한진 대한민국 서울 서대문구
4 김욱배 대한민국 경기 수원시 영통구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이세진 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)(특허법인다나)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2006-0846969-24
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.09.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.10.12 수리 (Accepted) 9-1-2007-0057890-19
4 등록결정서
Decision to grant		 2007.10.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0556738-07
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
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번호 청구항
1 1
시편 표면의 일부분에 집속이온빔을 조사하여 집속이온빔이 조사된 시편에 이온을 주입하는 제 1 단계; 자기 유변 유체를 이용하여 상기 시편의 미세형상을 가공하는 제 2 단계로 이루어지는 나노 구조물의 제조방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 시편은 Si, SiO2, Al2O3, GaN, GaAs, 글래시 카본, SiC, SiN 또는 이들의 혼합물로 이루어진 것을 특징으로 하는 나노 구조물의 제조방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 집속이온빔은 갈륨 이온을 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 구조물의 제조방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 집속이온빔의 이온 조사량은 5×1013 내지 5×1016 ions/cm2이고, 집속이온빔의 가속전압은 5 내지 30 KV인 것을 특징으로 하는 나노 구조물의 제조방법
5 5
제 1항에 있어서, 상기 제 1 단계 수행 전에 가공하려는 나노 구조물의 가공 형상에 따라 집속이온빔의 미세조정을 통해 빔의 최적 조건을 설정하고, 드웰 타임, 오버랩, 스캔 방식을 결정하는 단계가 수행되는 것을 특징으로 하는 나노 구조물의 제조방법
6 6
제 5항에 있어서, 상기 드웰 타임이 150 내지 1,000 μsec의 범위를 갖는 것을 특징으로 하는 나노 구조물의 제조방법
7 7
제 1항에 있어서, 상기 제 1 단계 및 제 2 단계 사이에 나노 구조물의 가공 형상에 따라 자기 유변 유체 연마기의 공정변수인 rpm, 시편과 매그니트 툴의 간격, 가공 방향들을 설정하는 단계가 수행되는 것을 특징으로 하는 나노 구조물의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.