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잉크젯 프린팅을 이용한 미세 패턴 제조 방법 및 패턴구조체

  • 기술번호 : KST2015125211
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 잉크젯 프린팅을 이용한 미세 패턴 제조 방법 및 패턴 구조체를 개시한다. 본 발명의 미세 패턴 제조 방법은 음각의 패턴이 형성된 마스크를 준비하는 단계; 잉크젯 프린팅을 통해 상기 마스크에 형성된 패턴을 따라 액상의 충전 물질을 주입시키는 단계; 상기 액상의 충전 물질이 주입된 마스크 위에 점착층을 도포하는 단계; 상기 점착층 위에 기판을 적층하는 단계; 및 상기 마스크를 제거하는 단계를 포함한다. 본 발명에 따르면 기존의 감광성 용액과 노광을 통해 패턴을 형성함에 따른 환경 오염 문제를 극복할 수 있고, 패턴 형성에 필요한 재료 이외에는 추가적인 재료가 불필요하므로 기존의 나노 임프린트 방식과 비교할 때 생산 원가의 절감과 공정의 간략화 측면에서 유리하며, 미리 형성된 음각의 홈에 액상의 재료를 분사하기 때문에 직진성이 향상된다. 잉크젯 프린팅, 임프린트, 나노 패턴
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) H01L 21/027 (2011.01)
CPC H05K 3/125(2013.01) H05K 3/125(2013.01) H05K 3/125(2013.01) H05K 3/125(2013.01)
출원번호/일자 1020080014868 (2008.02.19)
출원인 연세대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2009-0089610 (2009.08.24) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.02.19)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서대식 대한민국 서울 강남구
2 한진우 대한민국 경기 화성시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인우인 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층(역삼동, 중평빌딩)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.02.19 수리 (Accepted) 1-1-2008-0122886-21
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.08.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.09.15 수리 (Accepted) 9-1-2009-0051867-19
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.10.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0409979-58
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2010.01.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0012469-09
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5252006-10
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5062749-37
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5088566-87
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.09.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5114224-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
a) 음각의 패턴이 형성된 마스크를 준비하는 단계; b) 잉크젯 프린팅을 통해 상기 마스크에 형성된 패턴을 따라 액상의 충전 물질을 주입시키는 단계; c) 상기 액상의 충전 물질이 주입된 마스크 위에 점착층을 도포하는 단계; d) 상기 점착층 위에 기판을 적층하는 단계; 및 e) 상기 마스크를 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 제조 방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 액상의 충전 물질은 액상 유기물, 액상 무기물 또는 금속 페이스트 성분을 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 제조 방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 액상 유기물은 펜타센(pentacene) TIPS, 폴리티온펜 유도체(P3HT), 전도성 고분자, 컬러 필터(color filter) 수지, 폴리비닐알콜(PVA) 및 폴리비닐피롤리돈(PVP)으로 이루어진 군으로 부터 선택되는 1종 이상의 성분을 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 제조 방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 액상의 무기물은 충전 물질은 비정질의 실리콘(amorphous silicon), 인듐-틴-옥사이드(ITO) 및 알루미나(Al2O3)로 이루어지는 군으로 부터 선택되는 1종 이상의 성분을 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 제조 방법
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 액상의 충전 물질은 금 또는 은 성분을 포함하는 액상 페이스트인 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅을 이용한 패턴 제조 방법
6 6
제 4 항에 있어서, 상기 b) 단계와 c) 단계 사이에는 상기 액상의 충전 물질이 주입된 마스크를 소결시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 제조 방법
7 7
제 1 항에 있어서, 상기 음각의 패턴이 형성된 마스크는 임프린트 마스크인 것을 특징으로 하는 패턴 제조 방법
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 b)단계는 b1) 액상의 충전 물질의 분사와 관련된 프린터 해더 동작 제어를 위한 제어 신호를 입력 받는 단계; 및 b2) 상기 제어 신호를 입력 받고, 노즐을 통해 상기 음각의 패턴 내부에 상기 충전 물질을 주입시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 제조 방법
9 9
패턴 구조체에 있어서, 잉크젯 프린팅을 통해 마스크에 형성된 음각의 패턴을 따라 주입 및 경화되며, 상기 마스크가 제거됨에 따라 양각의 형태로 형성된 패턴; 상기 패턴을 지지하는 기판; 및 상기 기판과 패턴 사이에 형성된 점착층을 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 구조체
10 10
제 9 항에 있어서, 상기 패턴은 비정질의 실리콘(amorphous silicon), 인듐-틴-옥사이드(ITO) 또는 알루미나(Al2O3) 성분을 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 구조체
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