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연속적으로 이송시키면서 리소그라피를 수행하는 장치로서, 그 연속 이송로 상에,전도층 상에 형성된 감광층을 패턴이 형성된 패턴 롤 스탬퍼를 이용하여 자외선 롤 나노임프린팅을 수행하여 상기 감광층에 패턴을 형성하는 자외선 롤 나노임프린팅부와; 상기 감광층의 레지듀얼 레이어를 제거하는 제1 제거부와; 상기 전도층의 노출 부위를 제거하는 제2 제거부와; 상기 감광층의 나머지 부위를 제거하는 제3 제거부를 구비하는 것을 특징으로 하는 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 장치
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연속적으로 이송시키면서 리소그라피를 수행하는 장치로서, 그 연속 이송로 상에,전도층 상에 형성된 감광층을 패턴이 형성된 패턴 롤 스탬퍼를 이용하여 자외선 롤 나노임프린팅을 수행하여 상기 감광층에 패턴을 형성하는 자외선 롤 나노임프린팅부와; 상기 감광층의 레지듀얼 레이어를 제거하는 제1 제거부와; 상기 전도층의 노출 부위에 금속층을 형성하는 금속층 형성부와; 상기 감광층의 나머지 부위를 제거하는 제3 제거부와; 상기 전도층의 노출 부위를 제거하는 제4 제거부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 장치
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3
제1 항 또는 제2 항에 있어서, 상기 전도층은 절연성 기재 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 장치
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4
제1 항 또는 제2 항에 있어서, 롤-투-롤 방식으로 연속적으로 이송시키면서 리소그라피를 수행하는 것을 특징으로 하는 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 장치
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5
제1 항 또는 제2 항에 있어서, 상기 전도층은 유연성을 가지는 절연성 기재 상에 형성되고, 상기 자외선 롤 나노임프린팅부의 상류에서 상기 전도층이 형성된 상기 절연성 기재를 풀어 하류로 이송하는 릴리이즈롤을 구비하는 것을 특징으로 하는 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 장치
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6
제1 항 또는 제2 항에 있어서, 상기 전도층은 유연성을 가지는 절연성 기재 상에 형성되고, 리소그라피가 완료된 상기 전도층이 형성된 상기 절연성 기재를 상류로부터 이송받아 감는 와인딩롤을 구비하는 것을 특징으로 하는 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 장치
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7
제1 항 또는 제2 항에 있어서, 상기 전도층은 절연성 기재 상에 형성되고, 리소그라피가 완료된 상기 전도층이 형성된 상기 절연성 기재를 상류로부터 이송받아 기설정된 길이로 절단하는 절단부를 구비하는 것을 특징으로 하는 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 장치
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8
제1 항 또는 제2 항에 있어서, 상기 자외선 롤 나노임프린팅부의 상류에는, 상기 전도층 상에 액상의 감광성 물질을 도포하여 상기 감광층을 형성하는 감광층 형성부가 구비되는 것을 특징으로 하는 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 장치
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9
제8 항에 있어서, 상기 감광층 형성부는, 상기 감광성 물질을 롤 코팅, 커튼 코팅 또는 스프레이 코팅하여 상기 감광층을 형성하는 것을 특징으로 하는 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 장치
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10
제8항에 있어서, 상기 감광층 형성부는 상기 감광성 물질에 롤링 접촉되어 상기 감광성 물질을 상기 전도층 상에 평탄하게 코팅시키는 코팅롤을 구비하는 것을 특징으로 하는 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 장치
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11
제8 항에 있어서, 상기 자외선 롤 나노임프린팅부에 의하여 자외선 경화되기 이전의 상기 감광성 물질에 열을 가하는 히터를 구비하는 것을 특징으로 하는 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 장치
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12
제11 항에 있어서, 상기 히터는 상기 패턴 롤 스탬퍼에 삽입된 것을 특징으로 하는 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 장치
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13
제1 항 또는 제2 항에 있어서,상기 자외선 롤 나노임프린팅부는, 상기 패턴 롤 스탬퍼가 상기 감광층에 가하는 상대 압력을 조절하는 압력 조절 유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 장치
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14
제1 항 또는 제2 항에 있어서, 상기 패턴은 회로 패턴인 것을 특징으로 하는 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 장치
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15
제1 항 또는 제2 항에 있어서, 상기 자외선 롤 나노임프린팅부는 상기 패턴이 전사된 상기 감광층에 자외선을 조사하여 경화시키는 자외선 조사 유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 장치
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16
제15 항에 있어서, 상기 자외선 조사 유닛은, 상기 패턴이 전사된 상기 감광층으로 자외선을 향하게 하는 구면, 타원형, 포물선형, 곡선형 또는 비구면형의 반사갓, 콜드 미러 및 핫 미러 중 어느 하나 이상을 구비하는 것을 특징으로 하는 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 장치
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17
제15 항에 있어서, 상기 전도층은 경질 절연성 기재 상에 형성되고, 상기 자외선 조사 유닛은, 상기 패턴이 전사된 상기 감광층으로 자외선을 향하게 하는 집광 렌즈 및 슬릿 중 어느 하나 이상을 구비하는 것을 특징으로 하는 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 장치
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18
제15 항에 있어서, 상기 전도층은 절연성 기재 상에 형성되고, 상기 절연성 기재 및 상기 전도층 중 하나 이상은 자외선이 비투과 되도록 형성되고, 상기 패턴 롤 스탬퍼는 자외선이 투과되도록 형성되고, 상기 자외선 조사 유닛의 광원은 상기 패턴 롤 스탬퍼가 위치하는 측에서 상기 감광층에 자외선을 조사하는 것을 특징으로 하는 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 장치
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19
제15 항에 있어서, 상기 자외선 조사 유닛은 상기 패턴 롤 스탬퍼의 내부에 광원을 구비하는 것을 특징으로 하는 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 장치
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20
제1 항 또는 제2 항에 있어서, 상기 제거부는, 반응성 이온 식각하거나 식각액에 침지하거나 식각액을 스프레이하여, 제거하는 것을 특징으로 하는 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 장치
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21
제20 항에 있어서, 상기 제거부는, 연속적으로 이송되면서 침지되어 지나가는 식각액 조를 구비하는 것을 특징으로 하는 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 장치
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22
제20 항에 있어서, 상기 제거부는 식각 후, 식각액을 세척하고 건조하는 것을 특징으로 하는 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 장치
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23
연속적으로 이송시키면서 리소그라피를 수행하되, 그 연속 이송로 상에서,전도층 상에 형성된 감광층을 패턴이 형성된 패턴 롤 스탬퍼를 이용하여 자외선 롤 나노임프린팅을 수행하여 상기 감광층에 패턴을 형성하는 자외선 롤 나노임프린팅 단계와; 상기 감광층의 레지듀얼 레이어를 제거하는 제1 제거 단계와; 상기 전도층의 노출 부위를 제거하는 제2 제거 단계와; 상기 감광층의 나머지 부위를 제거하는 제3 제거 단계를 수행하는 것을 특징으로 하는 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 방법
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연속적으로 이송시키면서 리소그라피를 수행하되, 그 연속 이송로 상에서,전도층 상에 형성된 감광층을 패턴이 형성된 패턴 롤 스탬퍼를 이용하여 자외선 롤 나노임프린팅을 수행하여 상기 감광층에 패턴을 형성하는 자외선 롤 나노임프린팅 단계와; 상기 감광층의 레지듀얼 레이어를 제거하는 제1 제거 단계와; 상기 전도층의 노출 부위에 금속층을 형성하는 금속층 형성 단계와; 상기 감광층의 나머지 부위를 제거하는 제3 제거 단계와; 상기 전도층의 노출 부위를 제거하는 제4 제거 단계를 수행하는 것을 특징으로 하는 자외선 롤 나노임프린팅을 이용한 연속 리소그라피 방법
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