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수직 자기층(perpendicular magnetic layer), 상기 수직 자기층이 성장되는 종자층(seed layer)을 포함하는 자기 기록층; 그리고,
상기 종자층의 하부에 마련되어, 상기 종자층의 표면 거칠기를 제어하는 표면 제어층(surface controlling layer); 그리고
상기 층들을 지지하는 기판(substrate);을 구비하는 수직 자기 기록 매체
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제 1 항에 있어서,
상기 수직 자기층은 Zr이 도핑된 FePt 막으로 형성된 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 매체
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3
제 1 항에 있어서,
상기 종자층은 MgO막인 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 매체
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4
제 1 항에 있어서,
상기 표면 제어층은 TiAl 막인 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 매체
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5
제 4 항에 있어서, 상기 TiAl 막은 5
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6
제 1 항 내지 제 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 종자층과 수직 자기층이 소정 주기 반복적으로 적층되어 자기 기록층이 다층 구조를 가지는 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 매체
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7
제 4 항에 있어서, 상기 자기 기록층은 6층의 단위 기록층을 가지는 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 매체
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8
기판 상에, 상부에 형성되는 물질층의 표면 거칠기를 제어하는 표면 제어층을 형성하는 단계;
상기 표면 제어층 위에 종자층을 형성하는 단계; 그리고,
상기 종자층 위에 수직 자기층을 형성하는 단계;를 포함하는 수직 자기 기록 매체의 제조방법
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9
제 8 항에 있어서,
상기 종자층과 수직 자기층을 교번적으로 소정 주기 반복 형성하여, 하나의 종자층과 수직 자기층을 포함하는 단위 기록층을 다중 적층하는 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 매체의 제조방법
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10
제 8 항에 있어서,
상기 수직 자기층은 Zr이 도핑된 FePt 막으로 형성하는 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 매체의 제조방법
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11
제 8 항에 있어서,
상기 종자층은 MgO로 형성하는 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 매체의 제조방법
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12
제 8 항 내지 제 11 항 중의 어느 한 항에 있어서,
상기 표면 제어층은 TiAl 로 형성하는 것을 특징으로 하는 수직 자기 기록 매체의 제조방법
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13
제 12 항에 있어서,
상기 TiAl은 5
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