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기판 위에 감광제를 도포하는 단계; 마스크의 패턴을 형성하는 단계;빛을 조사하는 단계;현상액을 이용하여 상기 감광제에 3차원 구조를 형성하는 단계를 포함하고,상기 빛을 조사하는 단계가 두 종류 이상의 디퓨저에서 산란된 빛이 상기 마스크를 통해 상기 감광제에 조사되고, 상기 디퓨저들은 가우시안 산란을 유발하는 디퓨저와 램버시안 산란을 유발하는 디퓨저를 포함하는 디퓨저 리소그래피를 이용한 3차원 미세구조 형성방법
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청구항 1항에 있어서,상기 가우시안 산란을 유발하는 디퓨저는 불투명 유리(ground glass)디퓨저인 것을 특징으로 하는 디퓨저 리소그래피를 이용한 3차원 미세구조 형성방법
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청구항 1항에 있어서,상기 램버시안 산란을 유발하는 디퓨저는 오팔 유리(opal glass)디퓨저인 것을 특징으로 하는 디퓨저 리소그래피를 이용한 3차원 미세구조 형성방법
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청구항 1항에 있어서,상기 빛을 조사하는 단계에서 램버시안 산란을 유발하는 디퓨저보다 가우시안 산란을 유발하는 디퓨저에서 빛이 먼저 산란되는 것을 특징으로 하는 디퓨저 리소그래피를 이용한 3차원 미세 구조 형성방법
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청구항 1항에 있어서,상기 디퓨저들 사이의 이격 거리는 0인 것을 특징으로 하는 디퓨저 리소그래피를 이용한 3차원 미세구조 형성방법
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청구항 1항에 있어서,상기 마스크의 패턴은 사각형, 원형, 삼각형, 육각형에서 선택된 어느 하나 의 모양인 것을 특징으로 하는 디퓨저 리소그래피를 이용한 3차원 미세구조 형성방법
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청구항 1항에 있어서,상기 감광제는 0
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청구항 1항에 있어서,상기 감광제는 양성 또는 음성 감광제인 것을 특징으로 하는 디퓨저 리소그래피를 이용한 3차원 미세구조 형성방법
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