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2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치 및 이를 이용한 고속미세패턴 기록시스템

  • 기술번호 : KST2015209785
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치 및 이를 이용한 고속 미세패턴 기록시스템에 관한 것이다. 본 발명은 2차원으로 어레이된 광량조절셀(액정 셀 또는 마이크로 거울 등)을 이용하여 입사하는 광량을 조절하는 공간 광변조부와, x축과 y축으로 배열된 마이크로 렌즈를 이용하여 상기 광량조절셀을 통과한 광을 집속시키는 마이크로 렌즈 어레이와, 상기 마이크로 렌즈의 초점 거리를 두께로 하며 상기 마이크로 렌즈 어레이에 접합되어 광을 투과시키는 기판과, 상기 기판에 금속 박막을 입히고, 상기 마이크로 렌즈에 의해 집속된 광을 통과시키는 개구를 상기 금속 박막에 x축과 y축으로 배열시켜 이루어진 마이크로 렌즈 어레이를 포함하여 2차원 광변조 미세 개구 어레이를 형성한다. 그리고, 상기 2차원 광변조 미세 개구 어레이에 광원부, 광전송부와 평행광 생성렌즈에 의해 생성된 광을 조사하여 미세 개구를 통해 광이 출력되게 하고, 이렇게 개구를 통해 조사된 광이 2차원 평면에 스캐닝되도록 x축과 y축 방향으로 이동하는 스캔 장치를 구비하여 미세 패턴을 고속으로 기록한다. 리소그래피, 광변조기, 나노 패턴, 개구 어레이, 스캐닝
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) H01L 21/027 (2011.01)
CPC
출원번호/일자 1020030042649 (2003.06.27)
출원인 학교법인연세대학교
등록번호/일자 10-0503767-0000 (2005.07.18)
공개번호/일자 10-2005-0001086 (2005.01.06) 문서열기
공고번호/일자 (20050726) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.06.27)
심사청구항수 21

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인연세대학교 대한민국 서울특별시 서대문구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 한재원 대한민국 서울특별시 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 장수현 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층(역삼동, 메디빌딩)(두리암특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2003.06.27 수리 (Accepted) 1-1-2003-0232904-85
2 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document		 2003.07.01 수리 (Accepted) 1-1-2003-5126767-45
3 대리인 사임 신고서
Notification of resignation of agent		 2004.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2004-0394925-22
4 대리인 사임 신고서
Notification of resignation of agent		 2004.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2004-0394809-34
5 출원인변경신고서
Applicant change Notification		 2005.03.04 수리 (Accepted) 1-1-2005-0116630-51
6 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 2005.03.04 수리 (Accepted) 1-1-2005-0116600-92
7 등록결정서
Decision to grant		 2005.06.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0299772-63
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.11.05 수리 (Accepted) 4-1-2010-5207014-07
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.11.29 수리 (Accepted) 4-1-2010-5224078-51
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
x축과 y축으로 배열된 광량조절셀을 이용하여 입사하는 광량을 조절하는 공간 광변조부; x축과 y축으로 배열된 마이크로 렌즈를 이용하여 상기 광량조절셀을 통과한 광을 집속시키는 마이크로 렌즈 어레이; 상기 마이크로 렌즈의 초점 거리를 두께로 하며 상기 마이크로 렌즈 어레이에 접합되어 광을 투과시키는 기판; 및 상기 기판에 금속 박막을 입히고, 상기 마이크로 렌즈에 의해 집속된 광을 통과시키는 개구를 상기 금속 박막에 x축과 y축으로 배열시켜 이루어진 개구 어레이를 포함하는 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치
2 2
청구항 1에 있어서, 상기 공간 광변조부는 x축과 y축으로 배열된 액정 셀의 액정 배열 방향을 전압으로 조절하여 입사하는 광량을 조절하여 출력하는 액정 광변조기인 것을 특징으로 하는 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 공간 광변조부는 x축과 y축으로 배열된 마이크로 거울의 경사각을 조절하여 입사하는 광량을 조절하는 DMD(Digital Micromirror Device)인 것을 특징으로 하는 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치
4 4
청구항 2 또는 청구항 3에 있어서, 상기 기판은 유리 기판인 것을 특징으로 하는 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치
5 5
청구항 2 또는 청구항 3에 있어서, 상기 기판은 GaP 기판인 것을 특징으로 하는 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치
6 6
x축과 y축으로 배열된 광량조절셀을 이용하여 입사하는 광량을 조절하는 공간 광변조부; x축과 y축으로 배열된 마이크로 렌즈를 이용하여 상기 광량조절셀을 통과한 광을 집속시키며, 상기 마이크로 렌즈는 초점을 자신의 표면에 맺히도록 하는 형상인 마이크로 렌즈 어레이; 및 상기 초점이 맺히는 상기 마이크로 렌즈의 면에 금속 박막을 입히고, 상기 금속 박막에서 각 마이크로 렌즈에 의해 초점이 맺히는 지점에 개구를 형성하여 이루어지는 개구 어레이를 포함하는 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치
7 7
청구항 6에 있어서, 상기 공간 광변조부는 x축과 y축으로 배열된 액정 셀의 액정 배열 방향을 전압으로 조절하여 입사하는 광량을 조절하여 출력하는 액정 광변조기인 것을 특징으로 하는 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치
8 8
청구항 6에 있어서, 상기 공간 광변조부는 x축과 y축으로 배열된 마이크로 거울의 경사각을 조절하여 입사하는 광량을 조절하는 DMD(Digital Micromirror Device)인 것을 특징으로 하는 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치
9 9
청구항 7 또는 청구항 8에 있어서, 상기 마이크로 렌즈는 유리 기판으로 제조되는 것을 특징으로 하는 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치
10 10
청구항 7 또는 청구항 8에 있어서, 상기 마이크로 렌즈는 GaP 기판으로 제조되는 것을 특징으로 하는 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치
11 11
청구항 6에 있어서, 상기 마이크로 렌즈는 피라미드 형상인 것을 특징으로 하는 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치
12 12
광을 방출하는 광원부; 상기 레이저 광을 전송하는 광전송부; 상기 광전송부에서 전송한 광을 평행광으로 만드는 평행광 생성렌즈; x축과 y축으로 배열된 광량조절셀을 이용하여 입사하는 광량을 조절하는 공간 광변조부, x축과 y축으로 배열된 마이크로 렌즈를 이용하여 상기 광량조절셀을 통과한 광을 집속시키는 마이크로 렌즈 어레이, 상기 마이크로 렌즈의 초점 거리를 두께로 하며 상기 마이크로 렌즈 어레이에 접합되어 광을 투과시키는 기판과, 상기 기판에 금속 박막을 입히고 상기 마이크로 렌즈에 의해 집속된 광을 통과시키는 개구를 상기 금속 박막에 x축과 y축으로 배열시켜 이루어진 개구 어레이를 포함하는 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치; 및 연결된 장치를 x축과 y축 방향으로 이동시켜 상기 마이크로 렌즈 어레이의 개구에서 조사된 광이 목표로 하는 패턴을 형성하게 하는 스캔 장치를 포함하는 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치를 이용한 고속 미세패턴 기록시스템
13 13
청구항 12에 있어서, 상기 스캔 장치는 상기 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치에 연결하여 상기 2차원 광변조 미세 개구 어레이를 x축과 y축 방향으로 스캔하는 것을 특징으로 하는 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치를 이용한 고속 미세패턴 기록시스템
14 14
청구항 12에 있어서, 상기 스캔 장치는 상기 2차원 미세 개구 어레이에 의해 미세패턴이 기록될 매체를 지지하는 지지장치에 연결되며, 상기 지지장치를 x축과 y축 방향으로 스캔하는 것을 특징으로 하는 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치를 이용한 고속 미세패턴 기록시스템
15 15
청구항 13 또는 청구항 14에 있어서, 상기 미세 개구 어레이의 개구에서 반사된 광을 입사하여 전기적 신호로 변환시키는 2개의 CCD부를 상기 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치의 상측면에 각각 설치하고, 상기 2차원 광변조 미세 개구 어레이로 입사하는 광 중 편광을 분할하여 상기 CCD부 중 하나에 제공하는 편광 광분할기를 구비하며, 상기 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치를 통과한 후 반사된 편광이 변하지 않게 하여 상기 CCD부중 다른 하나에 제공되게 하는 파장판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치를 이용한 고속 미세패턴 기록시스템
16 16
청구항 12에 있어서, 상기 공간 광변조부는 x축과 y축으로 배열된 액정 셀의 액정 배열 방향을 전압으로 조절하여 입사하는 광량을 조절하여 출력하는 액정 광변조기인 것을 특징으로 하는 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치
17 17
청구항 12에 있어서, 상기 공간 광변조부는 x축과 y축으로 배열된 마이크로 거울의 경사각을 조절하여 입사하는 광량을 조절하는 DMD인 것을 특징으로 하는 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치
18 18
광을 방출하는 광원부; 상기 레이저 광을 전송하는 광전송부; 상기 광전송부에서 전송한 광을 평행광으로 만드는 평행광 생성렌즈; x축과 y축으로 배열된 광량조절셀을 이용하여 입사하는 광량을 조절하는 공간 광변조부, x축과 y축으로 배열된 마이크로 렌즈를 이용하여 상기 광량조절셀을 통과한 광을 집속시키며 상기 마이크로 렌즈는 초점을 자신의 표면에 맺히도록 하는 형상인 마이크로 렌즈 어레이와, 상기 초점이 맺히는 상기 마이크로 렌즈의 면에 금속 박막을 입히고 상기 금속 박막에서 각 마이크로 렌즈에 의해 초점이 맺히는 지점에 개구를 형성하여 이루어지는 개구 어레이를 포함하는 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치; 및 연결된 장치를 x축과 y축 방향으로 이동시켜 상기 마이크로 렌즈 어레이의 개구에서 조사된 광이 목표로 하는 패턴을 형성하게 하는 스캔 장치를 포함하는 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치를 이용한 고속 미세패턴 기록시스템
19 19
청구항 18에 있어서, 상기 공간 광변조부는 x축과 y축으로 배열된 액정 셀의 액정 배열 방향을 전압으로 조절하여 입사하는 광량을 조절하여 출력하는 액정 광변조기인 것을 특징으로 하는 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치
20 20
청구항 18에 있어서, 상기 공간 광변조부는 x축과 y축으로 배열된 마이크로 거울의 경사각을 조절하여 입사하는 광량을 조절하는 DMD(Digital Micromirror Device)인 것을 특징으로 하는 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치
21 21
청구항 18에 있어서, 상기 미세 개구 어레이의 개구에서 반사된 광을 입사하여 전기적 신호로 변환시키는 2개의 CCD부를 상기 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치의 상측면에 각각 설치하고, 상기 2차원 광변조 미세 개구 어레이로 입사하는 광 중 편광을 분할하여 상기 CCD부 중 하나에 제공하는 편광 광분할기를 구비하며, 상기 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치를 통과한 후 반사된 편광이 변하지 않게 하여 상기 CCD부중 다른 하나에 제공되게 하는 파장판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치를 이용한 고속 미세패턴 기록시스템
22 21
청구항 18에 있어서, 상기 미세 개구 어레이의 개구에서 반사된 광을 입사하여 전기적 신호로 변환시키는 2개의 CCD부를 상기 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치의 상측면에 각각 설치하고, 상기 2차원 광변조 미세 개구 어레이로 입사하는 광 중 편광을 분할하여 상기 CCD부 중 하나에 제공하는 편광 광분할기를 구비하며, 상기 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치를 통과한 후 반사된 편광이 변하지 않게 하여 상기 CCD부중 다른 하나에 제공되게 하는 파장판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 2차원 광변조 미세 개구 어레이 장치를 이용한 고속 미세패턴 기록시스템
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2 US07400380 US 미국 FAMILY
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1 AU2003248145 AU 오스트레일리아 DOCDBFAMILY
2 AU2003248145 AU 오스트레일리아 DOCDBFAMILY
3 JP2006514784 JP 일본 DOCDBFAMILY
4 JP2006514784 JP 일본 DOCDBFAMILY
5 JP2006514784 JP 일본 DOCDBFAMILY
6 US2005270514 US 미국 DOCDBFAMILY
7 US7400380 US 미국 DOCDBFAMILY
8 WO2005001914 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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