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열 방출층을 갖는 펠리클 및 그 제조 방법(Pellicle comprising a heat emission layer, and method of fabricating the same)

  • 기술번호 : KST2016018862
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 펠리클이 제공된다. 상기 펠리클은, 제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 갖는 멤브레인(membrane), 상기 멤브레인의 상기 제1 면 상의 펠리클 프레임(pellicle frame), 및 상기 멤브레인으로부터 열을 흡수하여 외부로 방출하고, 상기 멤브레인의 상기 제2 면으로부터 위로(upwardly) 연장하는 복수의 핀(fin)들을 포함하고, 상기 멤브레인의 상기 제2 면의 가장자리 상에 배치된, 열 방출층(heat emission layer)을 포함한다.
Int. CL G03F 1/00 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01) G03F 1/62 (2012.01)
CPC G03F 1/62(2013.01) G03F 1/62(2013.01)
출원번호/일자 1020150057401 (2015.04.23)
출원인 한양대학교 에리카산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2016-0127218 (2016.11.03) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.04.23)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이정환 대한민국 경기 안산시 상록구
2 박진구 대한민국 서울 강남구
3 김민수 대한민국 경기 안산시 단원구
4 이준 대한민국 경기 안산시 상록구
5 안재빈 대한민국 경기 수원시 장안구
6 안진호 대한민국 서울특별시 강남구
7 오혜근 대한민국 서울 영등포구
8 김정환 대한민국 서울 강남구
9 김인선 대한민국 경기 고양시 일산서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박상열 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** **층 ****호(나눔국제특허법률사무소)
2 최내윤 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 ** *동 ***호(나눔국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2015.04.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-0398328-58
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2015.04.24 수리 (Accepted) 1-1-2015-0401859-52
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.05.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0329054-28
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.07.04 수리 (Accepted) 1-1-2016-0646019-96
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.08.04 수리 (Accepted) 1-1-2016-0760234-47
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.08.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0760246-95
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.11.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0863439-84
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.01.19 수리 (Accepted) 1-1-2017-0066447-10
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2017-0202329-88
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.03.30 수리 (Accepted) 1-1-2017-0311528-91
11 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2017.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2017-0425733-39
12 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period
2017.05.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0060572-62
13 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.05.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0520605-55
14 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-0520604-10
15 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2017.07.26 수리 (Accepted) 1-1-2017-0720224-09
16 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.10.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0708265-24
17 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2017.11.15 수리 (Accepted) 1-1-2017-1134795-35
18 법정기간연장승인서
2017.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0166933-04
19 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2017.12.15 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2017-1252747-99
20 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.12.15 수리 (Accepted) 1-1-2017-1252793-89
21 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.01.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0042495-10
22 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2018.02.13 수리 (Accepted) 1-1-2018-0155036-58
23 법정기간연장승인서
2018.02.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0026370-94
24 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner
2018.05.02 수리 (Accepted) 7-8-2018-0010080-49
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번호 청구항
1 1
제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 갖는 멤브레인(membrane);상기 멤브레인의 상기 제1 면 상의 펠리클 프레임(pellicle frame); 및상기 멤브레인으로부터 열을 흡수하여 외부로 방출하고, 상기 멤브레인의 상기 제2 면으로부터 위로(upwardly) 연장하는 복수의 핀(fin)들을 포함하고, 상기 멤브레인의 상기 제2 면의 가장자리 상에 배치된, 열 방출층(heat emission layer)을 포함하는 펠리클
2 2
제1 항에 있어서, 상기 열 방출층은, 상기 멤브레인의 상기 제2 면의 상기 가장자리를 덮는 평판부를 더 포함하고, 상기 복수의 핀들은 상기 평판부로부터 위로 연장하는 것을 포함하는 펠리클
3 3
제1 항에 있어서,상기 열 방출층은, 상기 복수의 핀들을 정의하는 복수의 홀(hole)들을 더 포함하는 펠리클
4 4
제1 항에 있어서, 상기 열 방출층은, 상기 펠리클 프레임 및/또는 상기 멤브레인보다 높은 방사율(emissivity)을 갖는 것을 포함하는 펠리클
5 5
제1 항에 있어서, 상기 펠리클 프레임 및 상기 멤브레인은 서로 동일한 물질로 형성되고, 상기 열 방출층은, 상기 펠리클 프레임 및 상기 멤브레인과 다른 물질로 형성되는 것을 포함하는 펠리클
6 6
제1 항에 있어서, 상기 열 방출층 및 상기 멤브레인의 상기 제2 면의 상기 가장자리 사이의 바인더(binder)를 더 포함하는 펠리클
7 7
제1 항에 있어서, 상기 열 방출층 및 상기 멤브레인의 상기 제2 면의 상기 가장자리 사이에 배치되어, 상기 멤브레인으로부터 상기 열 방출층으로 열을 전달하는 열 전달층을 더 포함하는 펠리클
8 8
제1 항에 있어서, 상기 열 전달층은, 상기 펠리클 프레임 및/또는 상기 멤브레인보다 높은 열 확산율(thermal diffusivity)을 갖는 것을 포함하는 펠리클
9 9
제1 면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 면을 갖는 멤브레인, 및 상기 멤브레인의 상기 제1 면 상의 펠리클 프레임을 준비하는 단계; 및상기 멤브레인으로부터 열을 흡수하여 외부로 방출하고, 상기 멤브레인의 상기 제2 면으로부터 위로 연장하는 복수의 핀들을 포함하고, 상기 멤브레인의 상기 제2 면의 가장자리 상에 배치된, 열 방출층을 형성하는 단계를 포함하는 펠리클의 제조 방법
10 10
제9 항에 있어서, 상기 열 방출층을 형성하는 단계는, 상기 멤브레인의 상기 제2 면 상에 물질층(material layer)을 형성하는 단계; 및상기 물질층을 패터닝하여, 상기 멤브레인의 상기 제2 면의 상기 가장자리를 덮는 평판부, 및 상기 평판부로부터 위로 연장하는 상기 복수의 핀들을 갖는 상기 열 방출층을 형성하는 단계를 포함하는 펠리클의 제조 방법
11 11
제9 항에 있어서, 상기 열 방출층을 형성하는 단계는, 평판부 및 상기 평판부로부터 위로 연장하는 상기 복수의 핀들을 갖는 상기 열 방출층을, 상기 멤브레인의 상기 제2 면의 상기 가장자리에 접합시키는 단계를 포함하는 펠리클의 제조 방법
12 12
제9 항에 있어서, 상기 열 방출층을 형성하는 단계는, 3차원 프린팅 방법으로, 상기 멤브레인의 상기 제2 면의 상기 가장자리를 덮는 평판부 및 상기 평판부로부터 위로 연장하는 상기 복수의 핀들을 갖는 상기 열 방출층을 형성하는 단계를 포함하는 펠리클의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한양대학교 에리카산학협력단 전자정보디바이스 산업원천기술개발사업 1x nm급 Defect Free EUVL을 위한 마스크 세정 공정 및 펠리클 개발