맞춤기술찾기

이전대상기술

3차원 그래핀 구조체, 그의 제조방법 및 전사방법(3-dimensional graphene structure and process for preparing and transferring the same)

  • 기술번호 : KST2018003513
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 3차원 그래핀 구조체, 그의 제조방법 및 전사방법이 제공된다. 3차원 형태의 기판 상에서 3차원 그래핀 구조체를 형성한 후, 이를 가스 삽입 후 분리하여 원하는 다른 절연성 필름 상에 손상 없이 전사할 수 있는 방법이 제공된다.
Int. CL C01B 32/188 (2017.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) B82Y 30/00 (2017.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020180034648 (2018.03.26)
출원인 삼성전자주식회사, 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0033159 (2018.04.02) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2011-0029848 (2011.03.31)
관련 출원번호 1020110029848
심사청구여부/일자 Y (2018.03.26)
심사청구항수 15

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 삼성전자주식회사 대한민국 경기도 수원시 영통구
2 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 신현진 경기도 수원시 장안구
2 최재영 경기도 수원시 영통구
3 박지훈 서울특별시 강서구
4 안종렬 경기도 수원시 장안구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 삼성전자주식회사 경기도 수원시 영통구
2 성균관대학교 산학협력단 경기도 수원시 장안구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2018.03.26 수리 (Accepted) 1-1-2018-0299973-46
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.06.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0412997-52
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.08.20 수리 (Accepted) 1-1-2018-0823822-64
4 등록결정서
Decision to grant
2018.12.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0827245-69
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판의 적어도 일면 상에 돌기 형상의 볼록부(凸) 또는 오목부(凹)가 단독으로 또는 함께 혼용되어 주기적으로 반복되는 입체 형상의 패턴을 부여하는 단계;상기 패턴이 부여된 기판 상에 그래핀을 성장시켜, 상기 그래핀 상에 돌기 형상의 볼록부(凸) 또는 오목부(凹)가 단독으로 또는 함께 혼용되어 주기적으로 반복되는 입체 형상의 패턴 형상을 갖는 3차원 그래핀 구조체를 형성하는 단계;상기 3차원 그래핀 구조체와 기판 사이에 가스를 삽입하여 이들의 결합력을 감소시키는 단계;상기 3차원 그래핀 구조체를 접착성 지지체와 결합시켜 상기 기판으로부터 분리하는 단계;상기 3차원 그래핀 구조체를 절연성 기판 상에 결합시키는 단계; 및상기 접착성 지지체를 제거하는 단계;를 포함하는 3차원 그래핀 구조체의 전사방법
2 2
제1항에 있어서,상기 가스가 수소기체인 것인 3차원 그래핀 구조체의 전사방법
3 3
제1항에 있어서,상기 가스 삽입 공정이 600oC 내지 1,200oC의 온도에서 1분 내지 60분 동안 수행되는 것인 3차원 그래핀 구조체의 전사방법
4 4
제1항에 있어서,상기 가스의 압력이 500 내지 800 torr인 것인 3차원 그래핀 구조체의 전사방법
5 5
제1항에 있어서,상기 접착성 지지체가 열이형 테이프인 것인 3차원 그래핀 구조체의 전사방법
6 6
제1항에 있어서,상기 접착성 지지체의 접착 강도가 열에 의해 조절되는 것인 3차원 그래핀 구조체의 전사방법
7 7
제1항에 있어서,상기 절연성 기판이 실리콘 산화물 필름인 것인 3차원 그래핀 구조체의 전사방법
8 8
제1항에 있어서,상기 기판이 SiC 웨이퍼인 것인 3차원 그래핀 구조체의 전사방법
9 9
제1항에 있어서,상기 그래핀이 에피택셜 그래핀인 것인 3차원 그래핀 구조체의 전사방법
10 10
제1항에 있어서,상기 기판의 패턴이 포토리소그래피에 의해 얻어진 것인 3차원 그래핀 구조체의 전사방법
11 11
제1항에 있어서,상기 3차원 그래핀 구조체의 패턴이 내부가 비어 있는 반구형, 원기둥형 또는 보울형의 오목부 또는 볼록부가 주기적으로 반복되는 것인 3차원 그래핀 구조체의 전사방법
12 12
제1항에 있어서,상기 그래핀의 성장이 불활성 분위기하에 1,000oC 내지 2,000oC의 온도에서 1분 내지 1시간 동안 열처리에 의해 수행되는 것인 3차원 그래핀 구조체의 전사방법
13 13
제1항에 있어서,상기 3차원 그래핀 구조체의 패턴이 상기 기판 상에 적층된 그래파이트화 촉매 금속 상에 형성된 것인 3차원 그래핀 구조체의 전사방법
14 14
제1항에 있어서,상기 기판이 그래파이트화 촉매 금속인 것인 3차원 그래핀 구조체의 전사방법
15 15
제1항에 있어서,상기 그래핀의 성장 공정에서 별도의 탄소 공급원이 존재하는 것인 3차원 그래핀 구조체의 전사방법
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101878730 KR 대한민국 FAMILY
2 US08921824 US 미국 FAMILY
3 US20120248401 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
DOCDB 패밀리 정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.