| 1 |
1
3D 프린팅될 출력물의 표면에, 융기된 상면 및 이에 연결된 측면을 갖는 융기부가 포함되도록 사전 모델링된 제품을 3D 프린팅하여 1차 반제품을 출력하는 단계;상기 출력된 1차 반제품(10)의 상기 융기부의 상면 및 측면의 일부 영역에, 후속 원자층증착 공정에 의해 원자층이 증착될 수 있는 원자층증착 예정영역을 형성하여 2차 반제품(20)을 만드는 단계;상기 원자층증착 예정영역이 형성된 2차 반제품을 ALD 공정에 투입하여, 상기 융기부의 일부 영역에 형성된 원자층증착 예정영역에는 원자층이 증착되고 융기부의 그 이외의 영역에는 원자층이 증착되지 않도록 하는 선택적 원자층 증착 단계를 포함하는, 3D 프린터 출력물의 원자층 증착 방법
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 원자층증착 예정영역은 ALD 공정에 사용되는 반응가스와의 반응성을 갖는 소재로 형성되는, 3D 프린터 출력물의 원자층 증착 방법
|
| 3 |
3
제2항에 있어서, 상기 원자층증착 예정영역의 소재는 그래핀, 금속/그래핀 합성물, 금속옥사이드/그래핀 합성물, 나노카본, SAM, SAM/그래핀 합성물, SAM/나노카본 합성물로 이루어진 군에서 선택된 적어도 하나의 재료인, 3D 프린터 출력물의 원자층 증착 방법
|
| 4 |
4
제2항에 있어서, 상기 원자층증착 예정영역 형성 후에 이 영역의 표면에 UV에 의한 표면처리를 시행하는 단계를 포함하는, 3D 프린터 출력물의 원자층 증착 방법
|
| 5 |
5
제1항에 있어서, 상기 원자층증착 예정영역 형성 단계는 상기 1차 반제품의 융기부의 일부 영역에 원자층증착 예정영역을 프린트하는 것을 포함하는, 3D 프린터 출력물의 원자층 증착 방법
|
| 6 |
6
제1항에 있어서, 상기 원자층증착 예정영역 형성 단계는 상기 1차 반제품의 융기부의 일부 영역에 리소그래피 기술, 나노임프린트 기술, 레이저간섭 기술을 포함하는 반도체 공정에 의하여 원자층증착 예정영역을 패터닝하는 것을 포함하는, 3D 프린터 출력물의 원자층 증착 방법
|
| 7 |
7
제1항에 있어서, 상기 원자층증착 예정영역 형성 단계와 상기 선택적 원자층 증착 단계는 단일의 공정 챔버 내에서 수행하는, 3D 프린터 출력물의 원자층 증착 방법
|
| 8 |
8
제1항에 있어서, 상기 원자층증착 예정영역 형성 단계 후, 상기 선택적 원자층 증착 단계 전에, 상기 2차 반제품을 ALD 공정 챔버로 이송하는 단계를 추가로 포함하는, 3D 프린터 출력물의 원자층 증착 방법
|
| 9 |
9
3D 프린팅될 출력물의 표면에, 융기된 상면 및 이에 연결된 측면을 갖는 융기부가 포함되도록 사전 모델링된 제품을 3D 프린팅하여 1차 반제품을 출력하는 공정; 상기 출력된 1차 반제품(10)의 상기 융기부의 상면 및 측면의 일부 영역에, 후속 원자층증착 공정에 의해 원자층이 증착될 수 있는 원자층증착 예정영역을 형성하여 2차 반제품(20)을 만드는 공정; 상기 원자층증착 예정영역이 형성된 2차 반제품을 ALD 공정에 투입하여 원자층 증착 공정을 수행하는 장치로서, 상기 2차 반제품에 대해 ALD 공정이 진행되는 공정 챔버와,상기 원자층증착 예정영역이 형성된 상기 2차 반제품을 상기 공정 챔버에 투입하는 수단을 포함하며, 상기 공정 챔버에서는 상기 2차 반제품의 융기부의 일부 영역에 형성된 원자층증착 예정영역에는 원자층이 증착되고 융기부의 그 이외의 영역에는 원자층이 증착되지 않도록 하는 선택적 ALD 증착이 수행되는, 3D 프린터 출력물의 원자층 증착 장치
|
| 10 |
10
제9항에 있어서, 상기 2차 반제품을 상기 공정 챔버에 투입하는 수단은 이송로봇 암을 포함하는, 3D 프린터 출력물의 원자층 증착 장치
|
| 11 |
11
3D 프린팅될 출력물의 표면에, 융기된 상면 및 이에 연결된 측면을 갖는 융기부가 포함되도록 사전 모델링된 제품을 3D 프린팅하여 1차 반제품을 출력하는 공정; 상기 출력된 1차 반제품(10)의 상기 융기부의 상면 및 측면의 일부 영역에, 후속 원자층증착 공정에 의해 원자층이 증착될 수 있는 원자층증착 예정영역을 형성하여 2차 반제품(20)을 만드는 공정; 상기 원자층증착 예정영역이 형성된 2차 반제품을 ALD 공정 챔버에 투입하여 원자층 증착 공정을 수행하는 장치로서, 상기 공정 챔버에서는 상기 2차 반제품의 융기부의 일부 영역에 형성된 원자층증착 예정영역에는 원자층이 증착되고 융기부의 그 이외의 영역에는 원자층이 증착되지 않도록 하는 선택적 ALD 증착이 수행되는, 3D 프린터 출력물의 원자층 증착 장치
|
| 12 |
12
상기 청구항 1 내지 8 중 어느 한 청구항의 방법을 이용하여 제작된 3D 프린팅 제품
|
