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기판 처짐 변형 조절 장치

  • 기술번호 : KST2019000745
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판 처짐 변형 조절 장치에 관한 것으로, 기판의 양측단부를 고정한 상태로 기판의 처짐 변형이 발생한 상태에서 기판의 처짐 변형 상태를 조절할 수 있도록 함으로써, 기판의 처짐 변형에 따른 최하단부 위치를 수평 방향으로 이동 조절할 수 있고, 이에 따라 노광 장치 등에서 기판의 처짐 변형에 따른 노광 품질 저하 문제를 해결할 수 있고, 사용자의 필요에 따라 기판의 처짐 변형에 따른 최하단부 위치를 자유롭게 조절하여 더욱 다양한 가공 작업에 활용할 수 있고, 기판을 고정한 상태에서 기판에 대한 평탄도를 조절할 수 있어 기판의 처짐 변형 상태를 전체 영역에서 더욱 균일하게 할 수 있으며, 기판 고정 부위에 대한 가압 방향 자유도를 확보하여 기판 고정 부위에서 발생할 수 있는 기판 손상을 방지할 수 있어 더욱 안전환 공정 조건을 제공함은 물론 기판의 내구성을 향상시킬 수 있는 기판 처짐 변형 조절 장치를 제공한다.
Int. CL G03F 9/00 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01) G03F 1/60 (2012.01.01) G03F 7/20 (2006.01.01)
CPC G03F 9/7023(2013.01) G03F 9/7023(2013.01) G03F 9/7023(2013.01) G03F 9/7023(2013.01)
출원번호/일자 1020170096084 (2017.07.28)
출원인 주식회사 필옵틱스, 한양대학교 에리카산학협력단
등록번호/일자 10-2003467-0000 (2019.07.18)
공개번호/일자 10-2019-0012696 (2019.02.11) 문서열기
공고번호/일자 (20190724) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.07.28)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 필옵틱스 대한민국 경기도 수원시 권선구
2 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 류상길 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 김정수 대한민국 경기도 군포시 용호로 ,
3 김규정 대한민국 경기도 화성시 병점로 ,
4 오제훈 대한민국 경기도 안양시 동안구
5 이창규 대한민국 경기도 광명시 소하로 ,

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서재승 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***-*(논현동) ***호(스카이국제특허사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 필옵틱스 경기도 수원시 권선구
2 한양대학교 에리카산학협력단 경기도 안산시 상록구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.07.28 수리 (Accepted) 1-1-2017-0730526-61
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2017.07.31 수리 (Accepted) 1-1-2017-0740138-38
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.07.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.09.06 수리 (Accepted) 9-1-2018-0046462-14
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.11.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0746050-30
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2019.01.02 수리 (Accepted) 1-1-2019-0001125-36
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2019.02.01 수리 (Accepted) 1-1-2019-0121153-96
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2019-0213880-40
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.02.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0213881-96
10 등록결정서
Decision to grant		 2019.07.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0470343-07
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번호 청구항
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삭제
2 2
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3 3
기판의 서로 대향되는 양측단부를 각각 고정시킬 수 있도록 형성되며, 각각 상하 이동 가능하게 배치되는 제 1 및 제 2 이동 홀더 유닛;상기 제 1 및 제 2 이동 홀더 유닛을 각각 상하 방향으로 이동하도록 구동하는 제 1 및 제 2 구동부; 및상기 제 1 및 제 2 구동부를 동작 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 기판은 양측단부가 고정된 상태로 자중에 의해 처짐 변형되도록 상기 제 1 및 제 2 이동 홀더 유닛에 의해 고정되고, 상기 제어부는 처짐 변형된 기판의 최하단부 위치가 이동 조절되도록 상기 제 1 및 제 2 구동부를 동작 제어하며,상기 제 1 및 제 2 이동 홀더 유닛은 상기 기판에 대해 수평 방향의 제 1 축 방향으로 서로 대향되는 양측단부를 각각 고정하도록 배치되고,상기 기판의 처짐 변형시 발생하는 최하단부는 상기 제 1 축과 수평 직각 방향의 제 2 축 방향으로 최하단 라인을 갖도록 형성되며,상기 제어부는 상기 기판의 최하단 라인이 상기 제 1 축 방향을 따라 수평 이동하도록 상기 제 1 및 제 2 구동부를 동작 제어하고,상기 제 1 및 제 2 구동부는베이스 바디;상기 베이스 바디에 상하 이동 가능하게 결합되며, 일측에는 상기 제 1 이동 홀더 유닛 또는 제 2 이동 홀더 유닛이 결합되어 일체로 이동하는 이동 바디; 및상기 이동 바디를 상하 방향으로 이동시키는 구동 모터를 각각 포함하고,상기 제 1 및 제 2 이동 홀더 유닛은각각 상기 이동 바디의 일측에 결합되어 상기 기판의 일측단부를 고정할 수 있도록 형성되는 다수개의 홀더 모듈을 각각 포함하고,다수개의 상기 홀더 모듈은 상기 기판의 제 2 축 방향에 대한 평탄도를 조절할 수 있도록 상기 이동 바디의 일측에 상기 제 2 축 방향을 따라 일렬 배치되어 상하 방향으로 높이 조절 가능하게 결합되며,다수개의 상기 홀더 모듈은상기 기판의 상면 및 하면을 가압하며 고정하는 홀더 블록; 및상기 홀더 블록과 상기 이동 바디를 결합시키며 상기 홀더 블록을 상하 높이 조절하는 높이 조절 수단을 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처짐 변형 조절 장치
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제 3 항에 있어서,상기 기판의 최하단 라인의 위치를 측정할 수 있는 최하단 센싱부가 더 구비되고,상기 제어부는 상기 최하단 센싱부의 측정값을 인가받고, 인가받은 측정값에 따라 상기 제 1 및 제 2 구동부를 동작 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 처짐 변형 조절 장치
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제 3 항에 있어서,상기 높이 조절 수단은일면이 상기 홀더 블록에 결합되는 제 1 슬라이드 블록;상기 제 1 슬라이드 블록에 상하 슬라이드 이동 가능하게 결합되며 일면이 상기 이동 바디에 결합되는 제 2 슬라이드 블록; 및상기 제 1 슬라이드 블록을 상기 제 2 슬라이드 블록에 대해 상하 방향으로 상대 이동시키도록 사용자에 의해 조작 가능하게 형성되는 슬라이드 조작 노브를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처짐 변형 조절 장치
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제 3 항에 있어서,상기 홀더 블록에는 상기 기판을 가압할 수 있도록 별도의 가압 플레이트가 적어도 하나 이상 분리 가능한 형태로 삽입 결합되고,상기 홀더 블록과 상기 가압 플레이트의 상하 방향 상호 접촉면에는 서로 대응되는 위치에 상기 제 2 축 방향을 따라 길게 오목홈이 각각 형성되고, 상기 오목홈에는 원통 형상의 위치 조절바가 삽입 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 처짐 변형 조절 장치
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1 중소기업청 주식회사 필옵틱스 World Class 300 프로젝트 R＆D 1m 길이를 갖는 laser line beam을 이용한 5㎛급 고해상도 스캔 얼라이너 개발