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탄성 중합체 상 금속 패턴전사 방법

  • 기술번호 : KST2021002727
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 희생 기판을 준비하는 단계, 상기 희생 기판의 일 면과 직접 접촉하며, 금속 입자를 포함하는 금속 층을 코팅하는 단계, 상기 금속 층의 일 면과 직접 접촉하며, 상기 금속 층보다 열 팽창 계수가 큰 탄성 중합체 층을 형성하는 단계, 및 상기 탄성 중합체 층을 통과하여, 상기 금속 층에 소정의 패턴으로 레이저를 조사하는 단계를 포함하되, 상기 레이저를 조사하는 단계에 의하여, 상기 금속 층의 금속 입자가 상기 소정의 패턴을 따라 소결된 금속 패턴이 형성되고, 상기 형성된 금속 패턴이, 상기 희생 기판으로부터 분리되어 상기 탄성 중합체 층으로 전사되는, 탄성 중합체 상 금속 패턴전사 방법이 제공된다
Int. CL G03F 7/20 (2006.01.01) G03F 1/00 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01)
CPC G03F 7/202(2013.01) G03F 1/60(2013.01) G03F 7/70383(2013.01) H01L 21/027(2013.01)
출원번호/일자 1020190107044 (2019.08.30)
출원인 한양대학교 에리카산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0026370 (2021.03.10) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.08.30)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 홍석준 경기도 안산시 상록구
2 신우섭 경기도 안산시 상록구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박상열 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 *** **층 ****호(나눔국제특허법률사무소)
2 최내윤 대한민국 서울 금천구 가산디지털*로 ** *동 ***호(나눔국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.08.30 수리 (Accepted) 1-1-2019-0893427-41
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.06.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.08.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0178777-17
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0809156-30
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2021.01.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2021-0075627-60
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2021.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2021-0075626-14
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번호 청구항
1 1
희생 기판을 준비하는 단계;상기 희생 기판의 일 면과 직접 접촉하며, 금속 입자를 포함하는 금속 층을 코팅하는 단계; 상기 금속 층의 일 면과 직접 접촉하며, 상기 금속 층보다 열 팽창 계수가 큰 탄성 중합체 층을 형성하는 단계; 및상기 탄성 중합체 층을 통과하여, 상기 금속 층에 소정의 패턴으로 레이저를 조사하는 단계;를 포함하되,상기 레이저를 조사하는 단계에 의하여, 상기 금속 층의 금속 입자가 상기 소정의 패턴을 따라 소결된 금속 패턴이 형성되고, 상기 형성된 금속 패턴이, 상기 희생 기판으로부터 분리되어 상기 탄성 중합체 층으로 전사되는, 탄성 중합체 상 금속 패턴전사 방법
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제1 항에 있어서,상기 레이저를 조사하는 단계는, 상기 레이저 조사를 개시하는 단계, 및 상기 레이저 조사를 종료하는 단계를 포함하고,상기 레이저 조사를 개시하는 단계에 의하여, 상기 금속 층 보다 열 팽창 계수가 큰 탄성 중합체 층은 상기 금속 층보다 많이 팽창하고,상기 레이저 조사를 종료하는 단계에 의하여,상기 탄성 중합체 층이, 상기 금속 패턴 보다 더 많이 수축하면서, 상기 금속 패턴에 상기 탄성 중합체 층으로의 전사력이 제공되는, 탄성 중합체 상 금속 패턴전사 방법
3 3
제1 항에 있어서,상기 금속 층은,상기 레이저를 조사하는 단계 이전보다 상기 레이저를 조사하는 단계 이후에 높은 도전성을 가지는, 탄성 중합체 상 금속 패턴전사 방법
4 4
제3 항에 있어서,상기 레이저를 조사하는 단계 이전의 상기 금속 층은, 상기 레이저를 조사하는 단계 이후의 상기 금속 층보다 액상 상태를 가지는, 탄성 중합체 상 금속 패턴전사 방법
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제4 항에 있어서,상기 탄성 중합체 층을 형성하는 단계는,상기 액상 상태의 금속 층이 고상화되기 전에 수행되는, 탄성 중합체 상 금속 패턴전사 방법
6 6
제1 항에 있어서,상기 레이저를 조사하는 단계에서,상기 레이저는,0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한양대학교 에리카 산학협력단 산업기술혁신사업 / 에너지인력양성사업 / 에너지인력양성사업(RCMS) 고효율 수송기기 에너지 저감 기술 고급트랙