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유리, 금속 실리콘 폴리이미드 기판 중에서 어느 하나의 기판을 선택하여 세척액으로 기판을 세척하고,기판상의 자연산화막을 제거하며, 기판의 표면상에 Cr, Ni, Ti 중에서 선택된 어느 하나의 금속층을 10nm 이내로 증착하고,수소가스를 사용하여 증착된 금속층을 안정화하며, 수소가스와 메탄가스를 사용하여 다이아몬드상 카본(DLC) 박막을 30nm 이내로 증착시킴으로써 제조되는 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본코팅 박막장치의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 안정화 단계에서 사용되는 수소가스와 상기 다이아몬드상 카본코팅박막층 증착단계에서 사용되는 수소가스의 합과 다이아몬드상 카본코팅박막층 증착단계에서 사용되는 메탄가스의 비율은 수소 대 메탄 8:2인 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본코팅 박막장치의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 기판의 세척은 TCE(trichloroethylene), 아세톤(acetone), 메탄올 (methaol), 증류수 (D
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제1항에 있어서, 상기 금속층의 증착은 초기 진공 1×10-3mtorr, 작업 진공도 0
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제1항에 있어서, 상기 금속층은 DC Magnetron Sputtering 법을 이용하여 증착되는 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본 박막장치의 제조방법
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기판과,30nm 이내의 두께로 형성된 다이아몬드상 카본 박막 및,상기 기판과 디이아몬드상 카본 박막 사이의 접착력 향상을 위해 개재된 두께 10nm 이내의 Cr, Ni, Ti 중에서 선택된 어느 하나의 금속층을 구비하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 다이아몬드상 카본코팅박막
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