요약 | 본 발명은 금 나노 선 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 실리콘(Si) 칩 상에 디엔에이(DNA)를 형판(template)으로 사용하여 금 나노 선을 제조하는 방법에 관한 것으로, 기판위의 용액 고착을 촉진 시키는 부착층(adhesion layer)을 형성하는 단계, 환원제와 금 나노 입자를 합성하여 제1 합성 용액을 만드는 제1 합성단계 및 상기 금 나노 입자와 환원제의 제1 합성 용액에 다시 디엔에이(DNA)를 합성하여 제2 합성 용액을 만든 후, 이 제2 합성 용액을 상기 기판위에 도포하는 제2 합성/도포 단계를 포함하는 제조방법을 제공함으로써, 나노 선 형성 방법이 간단하고, 직경 제어를 통해 나노 선의 선폭을 정확하게 조절이 가능한 효과가 있다.또한, 금 나노 입자뿐만 아니라 다른 금속 나노 입자를 사용하여 다양한 금속 나노 선 제작이 가능하고, 나노 선을 선형으로 정렬이 가능하기 때문에 반도체 소자의 소형화 및 집적화를 더욱 효율적으로 하도록 하는 효과가 있다. 금 나노 선, DNA |
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Int. CL | B82Y 40/00 (2011.01) B82B 3/00 (2011.01) |
CPC | B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01) B82B 3/0038(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020070019062 (2007.02.26) |
출원인 | 성균관대학교산학협력단 |
등록번호/일자 | 10-0813113-0000 (2008.03.06) |
공개번호/일자 | |
공고번호/일자 | (20080317) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2007.02.26) |
심사청구항수 | 24 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 성균관대학교산학협력단 | 대한민국 | 경기도 수원시 장안구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 홍병유 | 대한민국 | 경기 화성시 |
2 | 김형진 | 대한민국 | 경기 수원시 장안구 |
3 | 노용한 | 대한민국 | 경기 수원시 장안구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 특허법인정직과특허 | 대한민국 | 서울 강남구 선릉로 ***(논현동, 썬라이더빌딩 *층) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 성균관대학교산학협력단 | 대한민국 | 경기도 수원시 장안구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | 특허출원서 Patent Application |
2007.02.26 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0165290-37 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2007.08.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2007-0015278-18 |
3 | 등록결정서 Decision to grant |
2008.02.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0088514-11 |
4 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2012.04.26 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5090770-53 |
5 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2012.06.20 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5131828-19 |
6 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2012.06.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5137236-29 |
7 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.02.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5028829-43 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 금 나노 선 제조방법에 있어서, 디엔에이(DNA) 용액을 기판위에 도포하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금 나노 선 제조방법 |
2 |
2 제1항에 있어서, 상기 DNA 용액 도포 후, 금 나노 입자와 환원제를 합성하고, 이 합성 용액을 상기 기판위에 도포하는 단계를 더 포함하는 것을 금 나노 선 제조방법 |
3 |
3 제2항에 있어서, 상기 환원제는 4-아미노티오페놀(aminothiophanol, ATP), 2-아미노에탄티올(aminoethanthiol, AET), 아닐린(aniline) 중 선택된 1종임을 특징으로 하는 금 나노 선 제조방법 |
4 |
4 제1항에 있어서, 상기 DNA 용액 도포 이전에 액상 코팅방법 또는 진공 증착법을 이용하여 기판위에 DNA 용액의 고착을 촉진 시키는 부착층(adhesion layer)을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금 나노 선 제조방법 |
5 |
5 제4항에 있어서, 상기 액상 코팅방법 이용 시 3-aminopropyltriethoxysilane(APS)를 용매를 이용하여 녹인 용액 속에 기판을 담가 기판위에 자기 조립 단분자막(SAM)을 형성하도록 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금 나노 선 제조방법 |
6 |
6 제4항에 있어서, 진공 증착법 이용 시 기판을 진공 챔버에 넣고 N2 플라즈마 처리를 통해 기판 표면에 아민 그룹으로 이루어진 자기 조립 단분자막(SAM)을 형성되도록 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금 나노 선 제조방법 |
7 |
7 제2항에 있어서, 상기 합성 용액 도포 시 기판위에 고착되어진 DNA를 따라 선형 및 격자 모양으로 정렬시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금 나노 선 제조방법 |
8 |
8 제7항에 있어서, 상기 DNA를 따라 합성 용액이 선형 정렬 시 분자 빗살 정렬방법과 기울임 방법을 이용하는 것을 특징으로 하는 금 나노 선 제조방법 |
9 |
9 제8항에 있어서, 상기 기울임 방법 이용 시 상기 합성 용액이 도포되어 있는 기판을 90°의 각도로 기울여 합성 용액이 흘러내리는 힘에 의해 정렬하도록 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금 나노 선 제조방법 |
10 |
10 제8항에 있어서, 상기 분자 빗살 정렬방법 이용 시 기판을 금 나노 입자와 환원제의 합성 용액 속에 수직으로 담가둔 후, 다시 기판을 수직 방향으로 빼내어 정렬시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금 나노 선 제조방법 |
11 |
11 제7항에 있어서, 상기 DNA 격자 정렬 시 기판을 금 나노 입자와 환원제의 합성 용액 속에 수직으로 담가둔 후, 수직 방향으로 빼낸 다음 다시 기판을 90° 돌려서 수직으로 담가둔 후, 수직 방향으로 빼내어 정렬시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금 나노 선 제조방법 |
12 |
12 금 나노 선 제조방법에 있어서, 기판위의 용액 고착을 촉진 시키는 부착층(adhesion layer)을 형성하는 단계, 환원제와 금 나노 입자를 합성하여 제1 합성 용액을 만드는 제1 합성단계 및 상기 금 나노 입자와 환원제의 제1 합성 용액에 다시 디엔에이(DNA)를 합성하여 제2 합성 용액을 만든 후, 이 제2 합성 용액을 상기 기판위에 도포하는 제2 합성/도포 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금 나노 선 제조방법 |
13 |
13 제12항에 있어서, 상기 환원제는 4-아미노티오페놀(aminothiophanol, ATP), 2-아미노에탄티올(aminoethanthiol, AET), 아닐린(aniline) 중 선택된 1종임을 특징으로 하는 금 나노 선 제조방법 |
14 |
14 제12항에 있어서, 상기 제2 합성/도포 단계는 금 나노 입자의 농도, 처리시간 및 직경을 제어하여 금 나노 입자들 사이의 간격을 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금 나노 선 제조방법 |
15 |
15 제14항에 있어서, 상기 금 나노 입자의 직경은 1 ~ 100 ㎚의 범위에서 선택하는 것을 특징으로 하는 금 나노 선 제조방법 |
16 |
16 제12항에 있어서, 상기 부착층은 액상 코팅방법 및 진공 증착법을 이용하여 형성하는 것을 특징으로 하는 금 나노 선 제조방법 |
17 |
17 제16항에 있어서, 상기 액상 코팅방법 이용 시 3-aminopropyltriethoxysilane(APS)를 용매를 이용하여 녹인 용액 속에 기판을 담가 기판위에 자기 조립 단분자막(SAM)을 형성하도록 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금 나노 선 제조방법 |
18 |
18 제16항에 있어서, 진공 증착법 이용 시 기판을 진공 챔버에 넣고 N2 플라즈마 처리를 통해 기판 표면에 아민 그룹으로 이루어진 자기 조립 단분자막(SAM)을 형성되도록 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금 나노 선 제조방법 |
19 |
19 제12항에 있어서, 상기 제2 합성/도포 단계는 제2 합성 용액을 기판위에 길이 16 ㎛, 폭 2㎚로 도포하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금 나노 선 제조방법 |
20 |
20 제12항에 있어서, 상기 제2 합성/도포 단계는 기판위에 제2 합성 용액내의 DNA를 선형 및 격자 모양으로 정렬시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금 나노 선 제조방법 |
21 |
21 제20항에 있어서, 상기 제2 합성 용액내의 DNA를 선형 정렬 시 분자 빗살 정렬방법과 기울임 방법을 이용하는 것을 특징으로 하는 금 나노 선 제조방법 |
22 |
22 제21항에 있어서, 상기 기울임 방법 이용 시 제2 합성 용액이 도포되어 있는 기판을 90°의 각도로 기울여 제2 합성 용액이 흘러내리는 힘에 의해 정렬하도록 하는 것을 특징으로 하는 금 나노 선 제조방법 |
23 |
23 제21항에 있어서, 상기 분자 빗살 정렬방법 이용 시 기판을 제2 합성 용액 속에 수직으로 담가둔 후, 다시 기판을 수직 방향으로 빼내어 정렬시키는 것을 특징으로 하는 금 나노 선 제조방법 |
24 |
24 제20항에 있어서, 상기 DNA 격자 정렬 시 기판을 제2 합성 용액 속에 수직으로 담가둔 후, 수직 방향으로 빼낸 다음 다시 기판을 90° 돌려서 수직으로 담가둔 후, 수직 방향으로 빼내어 정렬시키는 것을 특징으로 하는 금 나노 선 제조방법 |
지정국 정보가 없습니다 |
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패밀리정보가 없습니다 |
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국가 R&D 정보가 없습니다. |
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공개전문 정보가 없습니다 |
---|
특허 등록번호 | 10-0813113-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20070226 출원 번호 : 1020070019062 공고 연월일 : 20080317 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20080221 청구범위의 항수 : 24 유별 : B82B 3/00 발명의 명칭 : 금 나노 선 제조방법 존속기간(예정)만료일 : 20140307 |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 573,000 원 | 2008년 03월 07일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 568,000 원 | 2011년 02월 28일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 568,000 원 | 2012년 02월 13일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 568,000 원 | 2013년 01월 11일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | 특허출원서 | 2007.02.26 | 수리 (Accepted) | 1-1-2007-0165290-37 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2007.08.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2007-0015278-18 |
3 | 등록결정서 | 2008.02.21 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2008-0088514-11 |
4 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2012.04.26 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5090770-53 |
5 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2012.06.20 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5131828-19 |
6 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2012.06.27 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5137236-29 |
7 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.02.23 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5028829-43 |
기술정보가 없습니다 |
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과제고유번호 | 1350008262 |
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세부과제번호 | 2002-02983 |
연구과제명 | 자기조립방식에의한반도체성DNA배열및pn접합소자화연구 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
연구주관기관명 | 성균관대학교 |
성과제출연도 | 2006 |
연구기간 | 200212~200705 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1350021887 |
---|---|
세부과제번호 | R11-2000-086-01016-0 |
연구과제명 | 차세대신기능코팅설계및DB구축 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
연구주관기관명 | 성균관대학교 |
성과제출연도 | 2006 |
연구기간 | 200603~200902 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1350008262 |
---|---|
세부과제번호 | 2002-02983 |
연구과제명 | 자기조립방식에의한반도체성DNA배열및pn접합소자화연구 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
연구주관기관명 | 성균관대학교 |
성과제출연도 | 2006 |
연구기간 | 200212~200705 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
과제고유번호 | 1355050754 |
---|---|
세부과제번호 | R11-2000-086-01016-0 |
연구과제명 | 차세대신기능코팅설계및DB구축 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국과학재단 |
연구주관기관명 | 성균관대학교 |
성과제출연도 | 2007 |
연구기간 | 200603~200902 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | NT(나노기술) |
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