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ＶＬＳ 방법에서 나노씨앗 입자의 분무를 이용한 금속산화물 나노선 합성방법

  • 기술번호 : KST2015160147
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 금속산화물 나노선 합성방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 용액 상태에서 균일한 크기 분포를 갖는 순수한 금속 나노입자의 제조단계; 상기 금속 나노입자를 기판 위에 고르게 분포시키는 단계; 및 상기 기판 및 선구체 물질을 VLS(vapor-liquid-solid) 방법을 사용하여 금속산화물 나노선을 성장시키는 단계를 포함하는 금속산화물 나노선 합성방법에 관한 것이다. 본 발명의 금속산화물 나노선 합성방법은 VLS 법에서 분무법을 이용하여 기판 위에 균일한 조성 및 밀도를 갖는 나노씨앗 입자 분포를 간단하고 쉽게 얻을 수 있으며 희석 용매의 종류 및 희석도에 따라 금속 산화물 나노선의 밀도 및 분포를 조절 가능하다.나노선, 금속산화물, 분무법, VLS, 나노입자 분포
Int. CL B82Y 40/00 (2011.01) B82B 3/00 (2006.01)
CPC H01L 21/02603(2013.01)H01L 21/02603(2013.01)H01L 21/02603(2013.01)H01L 21/02603(2013.01)H01L 21/02603(2013.01)H01L 21/02603(2013.01)H01L 21/02603(2013.01)
출원번호/일자 1020070091491 (2007.09.10)
출원인 재단법인서울대학교산학협력재단
등록번호/일자 10-1145098-0000 (2012.05.03)
공개번호/일자 10-2009-0026483 (2009.03.13) 문서열기
공고번호/일자 (20120706) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.12.11)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강위경 대한민국 서울특별시 종로구
2 박성태 대한민국 강원 태백시
3 정영근 대한민국 서울특별시 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박진호 대한민국 서울특별시 송파구 송파대로 ***, 옥명빌딩 *층 (송파동)(플랜국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인서울대학교산학협력재단 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.09.10 수리 (Accepted) 1-1-2007-0655014-68
2 보정요구서
Request for Amendment		 2007.09.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2007-0134328-51
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2007.10.18 수리 (Accepted) 1-1-2007-0747366-04
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2007.11.21 수리 (Accepted) 1-1-2007-0838945-31
5 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2007.12.11 수리 (Accepted) 1-1-2007-0891082-21
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2008-5015497-73
7 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2008.12.11 수리 (Accepted) 1-1-2008-0852729-49
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.01.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0039092-01
9 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.03.21 수리 (Accepted) 1-1-2011-0207496-37
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.04.20 수리 (Accepted) 1-1-2011-0292547-49
11 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.05.19 수리 (Accepted) 1-1-2011-0375562-04
12 보정요구서
Request for Amendment		 2011.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0047037-89
13 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2011.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2011-0468710-13
14 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)		 2011.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2011-0404112-42
15 지정기간연장관련안내서
Notification for Extension of Designated Period		 2011.06.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0055740-01
16 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.07.20 수리 (Accepted) 1-1-2011-0561829-52
17 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.07.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0561825-70
18 등록결정서
Decision to grant		 2012.01.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0054069-92
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.08.22 수리 (Accepted) 4-1-2014-5100909-62
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5036045-28
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
ⅰ) 용액 상태에서 균일한 크기 분포를 갖는 순수한 금속 나노입자의 제조단계;ⅱ) 상기 금속 나노입자를 용액화하고, 금속 나노입자 용액을 분무기로 뿌려 미세 방울을 만들어 기판 위에서 건조시키는 방법(분무법)을 사용하여 금속 나노입자를 기판 위에 고르게 분포시키는 단계; 및ⅲ) 상기 기판 및 나노선 합성을 위한 금속 선구체 물질에 대해, VLS(vapor-liquid-solid)방법을 사용함으로써, 상기 금속 선구체 물질의 금속산화물 나노선을 성장시키는 단계를 포함하는 금속산화물 나노선 합성방법
2 2
제 1항에 있어서, 상기 금속 나노입자는 금, 은, 백금 및 구리로 구성되는 입자 중에서 선택된 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노선 합성방법
3 3
제 1항에 있어서, 상기 기판은 Si, SiO2, Al2O3 및 STO로 구성되는 기판 중에서 선택된 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노선 합성방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 ⅰ) 단계의 순수한 나노 입자용액의 제조는 레이저 어블레이션 방법을 이용하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노선 합성방법
5 5
제 4항에 있어서, 상기 레이저 어블레이션 방법은 펄스 폭이 5-7 ㎱인 Nd:YAG 펄스 레이저의 3배수 조화파인 355 ㎚의 파장을 갖는 레이저 빛을 이용하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노선 합성방법
6 6
삭제
7 7
삭제
8 8
제 1항에 있어서, 분무법에 이용된 희석 용매는 높은 휘발성, 기판과 작은 접촉각, 나노입자 제조 용액과 상 분리가 일어나지 않을 것 및 금속 나노입자의 안정성을 유지시키는 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노선 합성방법
9 9
제 1항에 있어서, 분무법에 이용된 희석 용매는 물, 아세톤, 2-프로필 알코올, 에탄올 및 메탄올로 구성되는 군중에서 선택된 용매인 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노선 합성방법
10 10
삭제
11 11
제 1항에 있어서, 상기 ⅲ) 단계의 VLS(vapor-liquid-solid) 방법을 사용한 나노선 합성은 ① 나노선 합성을 위한 금속 선구체 물질을 보트 도가니에 넣고, 보트 도가니를 알루미나 튜브의 중앙에 위치시키는 단계;② 금속 나노 입자가 분포된 기판을 상기 튜브 퍼니스의 중앙으로 부터 일정 거리 별로 놓아두는 단계;③ 유량 조절기를 이용하여 운반기체의 양을 10 - 500 sccm 범위에서 조절하는 단계;④ 분위기 기체는 O2/Ar 혼합기체, 또는 수증기를 포화시킨 Ar 기체나 튜브 내의 잔여 산소를 이용할 경우에는 Ar만을 흘려주는 단계;⑤ 튜브 퍼니스의 온도를 500 - 1200℃의 온도 범위에서 수행하는 단계; 및 ⑥ 나노선 합성 시간은 30분 - 2시간 범위에서 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 나노선 합성방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 서울특별시 서울대학교 산학협력재단 서울시 산학현 협력사업(기술기반구축사업) 나노바이오 시스템 및 응용 소재