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광섬유를 광전송 및 가공 도구로 사용하는 레이저 에칭방법및 그 장치

  • 기술번호 : KST2015173996
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 에칭용액 속의 피가공물에 레이저빔을 조사하여 레이저빔이 조사되는 부분의 피가공물과 에칭용액 간의 화학반응이 원활하게 일어나도록 유도하여 피가공물이 가공되도록 하는 레이저 에칭방법 및 그 장치가 개시된다. 상기 레이저 에칭방법 및 그 시스템은 레이저빔을 발생시키는 레이저빔 발생단계, 상기 발생된 레이저빔을 광섬유를 통해 상기 피가공물 쪽으로 전송하는 광섬유를 통한 레이저빔 전송단계 및 상기 피가공물 쪽으로 전송된 상기 레이저빔을 광섬유를 통해 상기 피가공물의 가공하고자하는 부분에 출사시켜 상기 레이저빔을 조사하는 광섬유를 통한 레이저빔 조사단계를 포함하는 과정으로 피가공물을 가공하며, 광정렬의 불편함 및 레이저빔의 노출로 인한 위험성 등을 해결할 뿐만 아니라 반도체 공정을 비롯한 초정밀 가공 기술분야들이 가지고 있던 고 비용, 설계 변경 곤란 등의 문제점들을 동시에 극복하면서 비교적 단순한 방법으로 수~수백 마이크로미터 크기의 마이크로 구조물을 자유자재로 제조할 수 있게 한다.레이저, 에칭, 습식에칭, 레이저유도, 마이크로구조물, 식각
Int. CL G02B 6/00 (2006.01)
CPC G02B 6/02133(2013.01) G02B 6/02133(2013.01) G02B 6/02133(2013.01) G02B 6/02133(2013.01)
출원번호/일자 1020060039967 (2006.05.03)
출원인 광주과학기술원
등록번호/일자 10-0773667-0000 (2007.10.30)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20071105) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.05.03)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정성호 대한민국 광주광역시 광산구
2 오광환 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김삼용 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길**, *층(대치동, 동산빌딩) (인비전 특허법인)
2 김상철 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)(특허법인이상)
3 이재관 대한민국 서울특별시 서초구 바우뫼로 ***(양재동, 우도빌딩 *층)(특허법인이상)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 대한민국 광주광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.05.03 수리 (Accepted) 1-1-2006-0314036-74
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2007.03.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.04.11 수리 (Accepted) 9-1-2007-0019337-13
4 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2007.07.10 수리 (Accepted) 1-1-2007-0500812-96
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.07.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0383726-46
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2007.09.11 수리 (Accepted) 1-1-2007-0658621-87
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2007.09.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0658634-70
8 등록결정서
Decision to grant		 2007.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0523782-33
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5187089-85
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번호 청구항
1 1
에칭용액 속의 피가공물에 레이저빔을 조사하여 상기 레이저빔이 조사되는 부분의 상기 피가공물과 상기 에칭용액 간의 화학반응이 원활하게 일어나도록 유도하여 상기 피가공물이 가공되도록 하는 레이저 에칭방법에 있어서,레이저빔을 발생시키는 레이저빔 발생단계;상기 발생된 레이저빔을 광섬유를 통해 상기 피가공물 쪽으로 전송하는 광섬유를 통한 레이저빔 전송단계;상기 피가공물 쪽으로 전송된 상기 레이저빔을 광섬유를 통해 상기 피가공물의 가공하고자하는 부분에 출사시켜 상기 레이저빔을 조사하는 광섬유를 통한 레이저빔 조사단계; 및상기 레이저빔 조사단계에 의해 상기 피가공물에 형성된 가공부 내부로 상기 레이저빔이 출사되는 상기 광섬유 끝단을 삽입하는 광섬유 삽입단계를 포함하는 광섬유를 광전송 및 가공 도구로 사용하는 레이저 에칭방법
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서, 상기 레이저빔이 출사되는 상기 광섬유 끝단 또는 상기 피가공물을 상하로 이동시키는 상하 이동단계를 더 포함하는 광섬유를 광전송 및 가공 도구로 사용하는 레이저 에칭방법
4 4
제 1항에 있어서, 상기 레이저빔을 2이상의 광섬유들로 분기시키는 단계를 더 포함하는 광섬유를 광전송 및 가공 도구로 사용하는 레이저 에칭방법
5 5
제 1항에 있어서, 상기 광섬유에서 출사되는 레이저빔을 렌즈형 광섬유로 집속하는 레이저빔 집속단계를 더 포함하는 광섬유를 광전송 및 가공 도구로 사용하는 레이저 에칭방법
6 6
제 1항에 있어서, 상기 에칭용액을 상기 챔버 내부에서 순환시키는 에칭용액 순환단계, 상기 피가공물에 조사되는 레이저빔에 의해 상기 피가공물이 가공되는 과정을 촬영하는 단계 및 상기 촬영된 것을 디스플레이로 출력하는 단계를 더 포함하는 광섬유를 광전송 및 가공 도구로 사용하는 레이저 에칭방법
7 7
챔버에 담긴 에칭용액 속의 피가공물에 레이저빔을 조사하여 상기 레이저빔이 조사되는 부분의 상기 피가공물과 상기 에칭용액 간의 화학반응이 원활하게 일어나도록 유도하여 상기 피가공물을 가공하는 레이저 에칭장치에 있어서,레이저빔을 발생시키기 위한 레이저;상기 레이저에서 발생된 레이저빔을 수광하고 상기 수광된 레이저빔을 상기 피가공물 쪽으로 이송하여 상기 피가공물의 가공하고자하는 부분에 출사하여 상기 레이저빔을 조사하는 광섬유; 상기 레이저빔이 출사되는 광섬유 끝단과 상기 피가공물 상호간을 상대적으로 이동시키기 위한 미세이송계를 포함하며,상기 레이저빔이 출사되는 광섬유 끝단은 상기 에칭용액에 부식되지 않는 광섬유 페룰에 장착되고, 상기 미세이송계는 상기 광섬유 끝단을 이송시키기 위한 제 1 미세이송계이고, 상기 제 1 미세이송계에는 상기 페룰을 잡아주는 지그가 설치되어 있는 광섬유를 광전송 및 가공 도구로 사용하는 레이저 에칭장치
8 8
삭제
9 9
제 8항에 있어서, 상기 제 1미세이송계는 정밀 모터로 구동되며, 상기 제 1미세이송계에는 모터구동장치가 연결되고, 상기 모터구동장치는 상기 모터구동장치의 제어프로그램이 설치된 컴퓨터에 연결된 광섬유를 광전송 및 가공 도구로 사용하는 레이저 에칭장치
10 10
제 7항에 있어서, 상기 미세이송계는 상기 챔버를 미소이송시키기 위한 제 2미세이송계이고, 상기 챔버에는 상기 챔버 내부의 에칭용액을 순환시키기 위한 펌프와 순환관이 설치되어 있는 광섬유를 광전송 및 가공 도구로 사용하는 레이저 에칭장치
11 11
제 7항에 있어서, 상기 챔버의 일측에는 투명부가 형성되어 있고, 상기 투명부 바깥쪽에는 상기 챔버 내부를 촬영하기 위한 카메라가 설치되고, 상기 카메라는 디스플레이를 갖는 컴퓨터에 연결되어 가공과정을 확인할 수 있도록 된 광섬유를 광전송 및 가공 도구로 사용하는 레이저 에칭장치
12 12
제 7항에 있어서, 상기 레이저빔이 입사되는 광섬유의 일단에는 상기 광섬유의 일단의 위치를 조정하기 위한 제 3미세이송계가 설치되어 있는 광섬유를 광전송 및 가공 도구로 사용하는 레이저 에칭장치
13 13
제 7항에 있어서, 상기 레이저와 상기 레이저빔이 입사되는 광섬유의 일단 사이에 상기 레이저에서 발생된 레이저빔을 집속하여 상기 광섬유 일단으로 입사하기 위한 대물렌즈가 배치된 광섬유를 광전송 및 가공 도구로 사용하는 레이저 에칭장치
14 14
제 7항에 있어서, 상기 레이저빔이 출사되는 광섬유의 끝단에 광결합기 또는 광분배기가 설치되고, 상기 광결합기 또는 광분배기에 2이상의 다른 광섬유들이 설치되어 있는 광섬유를 광전송 및 가공 도구로 사용하는 레이저 에칭장치
15 15
제 7항에 있어서, 상기 레이저빔이 출사되는 광섬유의 끝단에는 렌즈형 광섬유가 설치된 광섬유를 광전송 및 가공 도구로 사용하는 레이저 에칭장치
16 16
제 14항에 있어서, 상기 다른 광섬유들은 렌즈형 광섬유인 광섬유를 광전송 및 가공 도구로 사용하는 레이저 에칭장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.