맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

자기부상 구동 스테이지용 도체판의 제조방법 및 이를 통해 제조된 도체판 및 이를 포함하는 자기부상 구동 스테이지

  • 기술번호 : KST2015117539
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 진공환경에서 적용이 가능한 대형 스테이지의 제작 방법에 관한 것으로, 실제 장비에 적용 가능한 대면적의 구동 범위를 갖는 자기부상 구동 스테이지에 관한 것으로, 구동 스테이지(10)의 하부에 형성되는 고정플레이트(110)에 설치되어 상기 스테이지(150)를 구동시키기 위한 전류가 인가되는 도체판(100)의 제조방법에 있어서, 도체인 판형 소재의 일방향으로 다수 이격하는 부위를 절단 가공하여, 가공된 홀에 의해 다수의 단위 스트립(102)이 수평하게 이격 배열되는 스트립 단위층(105)을 형성하는 제1단계와, 상기 가공된 스트립 단위층(105)에 절연층과 접착층을 형성하는 제2단계와, 상기 스트립 단위층(105)을 상부로 다수 적층하여 상기 단위 스트립(102)이 상하로 서로 수직 교차되는 스트립 적층구조를 형성하는 제3단계와, 상기 적층구조의 둘레부를 커팅시키는 제4단계 및 상기 단위 스트립(102)의 각 단부에 전류를 흘리기 위한 연결코일(104)을 연결하는 제5단계를 포함하는 자기부상 구동 스테이지용 도체판의 제조방법 및 이를 통해 제조된 도체판 및 이를 포함하는 자기부상 구동 스테이지를 제공한다.
Int. CL H01L 21/68 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0272(2013.01)
출원번호/일자 1020140047287 (2014.04.21)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1574223-0000 (2015.11.27)
공개번호/일자 10-2015-0121745 (2015.10.30) 문서열기
공고번호/일자 (20151207) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.04.21)
심사청구항수 8

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 권대갑 대한민국 대전광역시 유성구
2 우시웅 대한민국 대전광역시 유성구
3 안다훈 대한민국 대전광역시 유성구
4 박재현 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.04.21 수리 (Accepted) 1-1-2014-0375643-18
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.11.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.12.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0095644-16
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.08.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0553138-74
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.09.11 수리 (Accepted) 1-1-2015-0886617-17
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.09.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0886616-61
10 등록결정서
Decision to grant		 2015.11.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0796432-70
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
구동 스테이지의 하부에 형성되는 고정플레이트에 설치되어 상기 스테이지를 구동시키기 위한 전류가 인가되는 도체판의 제조방법에 있어서,도체인 판형 소재의 일방향으로 다수 이격하는 부위를 절단 가공하여, 가공된 홀에 의해 다수의 단위 스트립이 수평하게 이격 배열되는 스트립 단위층을 형성하는 제1단계;상기 가공된 스트립 단위층에 절연층과 접착층을 형성하는 제2단계;상기 스트립 단위층을 상부로 다수 적층하여 상기 단위 스트립이 상하로 서로 수직 교차되는 스트립 적층구조를 형성하는 제3단계;상기 적층구조의 둘레부를 커팅시키는 제4단계; 및상기 단위 스트립의 각 단부에 전류를 흘리기 위한 코일을 연결하는 제5단계;를 포함하는 자기부상 구동 스테이지용 도체판의 제조방법
2 2
제1항에 있어서,상기 판형 소재는 동판으로 형성되는 것을 특징으로 하는 자기부상 구동 스테이지용 도체판의 제조방법
3 3
제1항에 있어서,상기 제1단계에서 상기 단위 스트립은 워터젯 가공을 통해 형성되는 것을 특징으로 하는 자기부상 구동 스테이지용 도체판의 제조방법
4 4
제1항에 있어서,상기 제1단계에서 상기 단위 스트립은 사각 형상의 단면을 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 자기부상 구동 스테이지용 도체판의 제조방법
5 5
제1항에 있어서,상기 도체판은 가로 세로 1000mm 이상의 크기로 형성되는 것을 특징으로 하는 자기부상 구동 스테이지용 도체판의 제조방법
6 6
제1항에 있어서,상기 제3단계에서 상기 도체판을 이루는 상기 단위 스트립은 170개에서 190개 사이의 개수로 형성되는 것을 특징으로 하는 자기부상 구동 스테이지용 도체판의 제조방법
7 7
제4항에 있어서,상기 제1단계에서 상기 단위 스트립은 5mm 폭과 1000mm 길이로 형성되는 것을 특징으로 하는 자기부상 구동 스테이지용 도체판의 제조방법
8 8
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 기재된 제조방법으로 제조된 자기부상 구동 스테이지용 도체판
9 9
삭제
10 10
삭제
11 11
삭제
12 12
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국생산기술연구원 신성장동력 장비 경쟁력 강화사업 미세진동 제어를 고려한 초정밀 위치 결정 기술 개발