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패턴이 형성된 기판에 친수성 액체의 액적을 분사하여 패터닝하는 마이크로 액체 패터닝 방법으로서,상기 패턴은 원형 또는 다각 루프 형상의 친수성 영역을 포함하여, 상기 루프 내부로 상기 액적이 분사되는 단계;분사된 상기 액적이 상기 기판과 충돌되는 단계;상기 액적의 상기 친수성 액체가 상기 친수성 영역 또는 상기 친수성 영역의 외측까지 퍼지는 단계;상기 액적의 상기 친수성 액체가 상기 친수성 영역의 외측 경계를 둘레로 하는 액체 렌즈로 형성되는 단계;상기 액체 렌즈의 일부 또는 전부 영역의 부피가 감소되어 상기 액체 렌즈가 붕괴되는 단계;를 포함하며,상기 기판에서, 상기 패턴 이외의 영역은 소수성 영역이며,상기 기판의 표면에는 나노 단위의 요철이 형성되는 마이크로 액체 패터닝 방법
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청구항 1에 있어서,상기 액체 렌즈가 붕괴되는 단계 이후에, 상기 패턴을 블로우 하는 단계를 더 포함하는 마이크로 액체 패터닝 방법
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삭제
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청구항 1에 있어서,상기 액체 렌즈의 일부 또는 전부 영역의 부피가 감소되어 액체 렌즈가 붕괴되는 단계는, 상기 액적의 상기 친수성 액체가 증발됨으로써 상기 액체 렌즈의 부피가 감소되어 상기 액체 렌즈가 붕괴되는 단계인 마이크로 액체 패터닝 방법
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청구항 1에 있어서,상기 액체 렌즈의 일부 또는 전부 영역의 부피가 감소되어 액체 렌즈가 붕괴되는 단계는,상기 액체 렌즈를 구성하는 상기 친수성 액체가 블로우됨으로써, 상기 액체 렌즈를 구성하는 상기 외측 경계 내의 상기 친수성 액체의 일부의 영역에서 상기 친수성 액체의 부피가 감소되어, 상기 액체 렌즈가 붕괴되는 단계인 마이크로 액체 패터닝 방법
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청구항 1에 있어서,상기 액체 렌즈의 일부 또는 전부 영역의 부피가 감소되어 액체 렌즈가 붕괴되는 단계는,상기 기판이 기울여짐으로써, 상기 액체 렌즈를 구성하는 상기 외측 경계 내의 상기 친수성 액체의 일부의 영역에서 상기 친수성 액체의 부피가 감소되어, 상기 액체 렌즈가 붕괴되는 단계인 마이크로 액체 패터닝 방법
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청구항 1에 있어서,상기 액체 렌즈의 부피가 감소되어 액체 렌즈가 붕괴되는 단계는,상기 액체 렌즈에 탐침이 접촉 후 분리되어 상기 액체 렌즈의 부피가 감소됨으로써, 상기 액체 렌즈가 붕괴되는 단계인 마이크로 액체 패터닝 방법
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청구항 1에 있어서,상기 액체 렌즈가 붕괴된 후, 상기 액적의 상기 친수성 액체는 상기 친수성 영역에만 존재하는, 마이크로 액체 패터닝 방법
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청구항 1, 청구항 2 및 청구항 4 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 따른 마이크로 액체 패터닝 방법에 사용되며,원형 또는 다각 루프 형상의 친수성 영역을 포함하는 패턴이 형성된 기판이 놓여지는 스테이지와,상기 스테이지의 상측에 위치하며, 상기 기판에 친수성 액체의 액적을 분사하는 니들을 포함하는 마이크로 액체 패터닝 장치
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패턴이 형성된 기판에 친수성 액체로 패터닝하는 마이크로 액체 패터닝 방법으로서,상기 패턴은 원형 또는 다각 루프 형상의 친수성 영역을 포함하여, 상기 루프 내부로 상기 친수성 액체가 제공되는 단계;상기 친수성 액체가 상기 친수성 영역의 외측 경계를 둘레로 하는 액체 렌즈로 형성되는 단계;상기 액체 렌즈의 일부 또는 전부 영역의 부피가 감소되어 상기 액체 렌즈가 붕괴되는 단계;를 포함하며,상기 기판에서, 상기 패턴 이외의 영역은 소수성 영역이며,상기 기판의 표면에는 나노 단위의 요철이 형성되는 마이크로 액체 패터닝 방법
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