맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

쵸크랄스키법을 이용한 단결정 제조 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015134851
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 쵸크랄스키법을 이용한 단결정 제조 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 단결정 제조 방법은 용융상이 단결정으로 성장되는 분량만큼 일정한 위치에서 다결정 로드를 연속해서 투입시킨다. 다결정 로드는 용융상 내부에서 용해가 일어난다. 본 발명에서 용융상은 실리콘 용융상이며, 다결정 로드는 실리콘 또는 도핑 물질이 첨가된 실리콘일 수 있다. 본 발명에 따르면 다결정 로드가 실리콘 용융상 내부에서 용해되므로, 용해되지 않은 실리콘에 의한 불안정과 스플래싱에 따른 유동 변화의 불안정을 줄일 수 있다. 단결정, 실리콘, 쵸크랄스키, 다결정 로드, 용융상
Int. CL C30B 15/02 (2006.01.01) C30B 15/20 (2006.01.01) C30B 15/14 (2006.01.01) C30B 29/06 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC C30B 15/02(2013.01) C30B 15/02(2013.01) C30B 15/02(2013.01) C30B 15/02(2013.01) C30B 15/02(2013.01)
출원번호/일자 1020080089405 (2008.09.10)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1026390-0000 (2011.03.25)
공개번호/일자 10-2010-0030450 (2010.03.18) 문서열기
공고번호/일자 (20110407) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 발송처리완료
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.09.10)
심사청구항수 5

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이경우 대한민국 서울특별시 관악구
2 남필욱 대한민국 경상남도 진주시
3 손승석 대한민국 대전광역시 중구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 김홍균 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 *** (문정동) B동 ***호(케이아이피국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2008.09.10 수리 (Accepted) 1-1-2008-0642843-21
2 [공지예외적용대상(신규성, 출원시의 특례)증명서류]서류제출서
[Document Verifying Exclusion from Being Publically Known (Novelty, Special Provisions for Application)] Submission of Document		 2008.09.23 수리 (Accepted) 1-1-2008-0669099-34
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.07.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.08.11 수리 (Accepted) 9-1-2009-0045085-25
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2010.10.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0474830-92
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2010.12.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0847698-52
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2010.12.22 수리 (Accepted) 1-1-2010-0847699-08
8 등록결정서
Decision to grant		 2011.03.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0127236-76
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.27 수리 (Accepted) 4-1-2011-5195109-43
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-5007213-54
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
용융상으로부터 단결정을 성장시키는 단결정 성장 단계; 상기 단결정 성장이 진행되는 중에 단결정으로 성장하는 용융상의 양에 기초하여 다결정 로드를 상기 용융상에 녹이는 단계; 및 성장된 단결정을 용융상으로부터 분리하는 단계;를 포함하는 쵸크랄스키법을 이용한 단결정 제조 방법
2 2
제1항에 있어서, 단결정으로 성장되는 용융상의 양과 용융상에 녹는 다결정 로드의 양이 동일한 것 또는 녹는 다결정 로드의 양을 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 쵸크랄스키법을 이용한 단결정 제조 방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 다결정 로드는 복수인 것을 특징으로 하는 쵸크랄스키법을 이용한 단결정 제조 방법
4 4
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 용융상은 실리콘 용융상이고, 상기 다결정 로드는 실리콘 또는 도핑 물질이 첨가된 실리콘인 것을 특징으로 하는 쵸크랄스키법을 이용한 단결정 제조 방법
5 5
챔버; 상기 챔버 내에 위치하며, 내부에 용융상이 담겨 있는 도가니; 상기 도가니를 가열하는 히터; 상기 용융상을 단결정으로 성장시키기 위한 시드; 및 상기 용융상에 다결정 로드를 투입하기 위한 거치대;를 포함하고, 상기 거치대는 상기 용융상에 녹는 다결정 로드의 양을 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 쵸크랄스키법을 이용하여 단결정을 제조하는 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.