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계층 구조 패턴의 제조방법(The method for preparation of hierarchical structure pattern)

  • 기술번호 : KST2016009422
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 패턴이 형성된 기판을 준비하는 단계(단계 1); 흐름성이 있는 광 경화성 고분자를 도포하고, 상기 단계 1에서 준비된 기판의 패턴이 형성된 부분으로 상기 도포된 광 경화성 고분자에 접촉시킨 후, 광을 조사하여 표면에 패턴이 형성된 고분자 기판을 제조하는 단계(단계 2); 및 상기 단계 2에서 형성된 고분자 기판에 코로나 방전을 수행하는 단계(단계 3);를 포함하는 계층 구조 패턴의 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따른 계층 구조 패턴의 제조방법은 마이크로 크기의 패턴 및 마이크로 크기의 패턴에 형성된 주름 패턴을 포함하는 계층 구조 패턴을 형성할 수 있는 방법이며, 코로나 방전 가공 시의 출력과 시간을 조절하여 일정 한계점 이내의 마이크로 크기의 패턴과 마이크로 크기 패턴 사이의 공간 두 부분으로 나누어 선택적으로 주름/접힘 구조를 형성시킬 수 있게 되며 이는 기존 표면 구조물이 가지는 특이성에 새로운 기능이나 기능의 향상을 부여하는 역할을 할 수 있다.
Int. CL H01L 21/26 (2006.01) H01L 21/027 (2006.01)
CPC H01L 21/0274(2013.01)
출원번호/일자 1020140143990 (2014.10.23)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1688856-0000 (2016.12.16)
공개번호/일자 10-2016-0048245 (2016.05.04) 문서열기
공고번호/일자 (20161223) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.10.23)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김필남 대한민국 대전광역시 유성구
2 신현재 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.10.23 수리 (Accepted) 1-1-2014-1013389-48
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2014.11.17 수리 (Accepted) 1-1-2014-1106403-59
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.04.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.06.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0038057-90
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.03.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0178284-14
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.05.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0439011-21
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2016-0438991-61
11 등록결정서
Decision to grant
2016.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0691633-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
패턴이 형성된 기판을 준비하는 단계(단계 1);흐름성이 있는 광 경화성 고분자를 도포하고, 상기 단계 1에서 준비된 기판의 패턴이 형성된 부분으로 상기 도포된 광 경화성 고분자에 접촉시킨 후, 공기 분위기에서 광을 조사하여 표면에 패턴이 형성되고, 표면이 부분 경화된 고분자 기판을 제조하는 단계(단계 2); 및상기 단계 2에서 형성된 고분자 기판에 코로나 방전을 수행하는 단계(단계 3);를 포함하는 계층 구조 패턴의 제조방법
2 2
제1항에 있어서,상기 단계 1의 패턴을 형성하는 방법은 포토리소그래피(photolithography), 소프트 리소그래피(soft lithography), 임프린트 리소그래피(imprint lithography) 및 전자빔 리소그래피(E-beam lithography)로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1 종의 방법인 것을 특징으로 하는 계층 구조 패턴의 제조방법
3 3
제1항에 있어서,상기 단계 1에서 패턴이 형성된 기판의 재질은 폴리디메틸실록세인(PDMS), 폴리우레탄 계열 고분자 및 에폭시 기반 고분자로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1 종인 것을 특징으로 하는 계층 구조 패턴의 제조방법
4 4
제1항에 있어서,상기 단계 2의 광 경화성 고분자는 사슬의 양 말단 또는 사슬의 측쇄에 광 중합이 가능한 비닐기, 알릴기, 아크릴기, 아크릴레이트기, 메타크릴레이트기, 에폭시기 및 광경화가 가능한 유기 관능기로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1 종 이상의 관능기를 포함하는 유기 고분자인 것을 특징으로 하는 계층 구조 패턴의 제조방법
5 5
제1항에 있어서,상기 단계 2의 광 경화성 고분자는 폴리우레탄 계열 고분자, 폴리우레탄 계열 고분자 및 에폭시 기반 고분자로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1 종 이상인 것을 특징으로 하는 계층 구조 패턴의 제조방법
6 6
제1항에 있어서,상기 단계 2에서 광이 자외선인 경우, 광의 세기는 0
7 7
제1항에 있어서,상기 단계 2에서 광이 자외선인 경우, 광을 조사하는 시간은 10 초 내지 500 초인 것을 특징으로 하는 계층 구조 패턴의 제조방법
8 8
삭제
9 9
제1항에 있어서,상기 단계 3에서 코로나 방전을 수행하는 시간은 0
10 10
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11 11
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12 12
삭제
13 13
삭제
14 14
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국과학기술원 기초연구사업_학문후속세대양성사업_대통령 Post-Doc.펠로우십 연성물질의 자발적 패턴형성을 통한 스마트 태양전지 개발