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배터리 분리 방법 및 이를 이용한 배터리 제조방법

  • 기술번호 : KST2015116307
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 희생기판 상에 소자를 제조하는 단계;상기 소자 상에 금속층을적층하는 단계; 및 상기 금속층에 기계적 또는 열적 에너지를 가하여 상기 희생 기판의 일부를 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자 분리방법이 제공된다. 본 발명은 종래의 습식 식각 등의 공정을 통하여 희생기판으로부터 소자를 분리하는 방식이 아닌, 희생기판과 상기 금속층 사이의 응력 차이를 이용하여 소자를 분리한다. 따라서, 기계적인 방식으로 소자를 희생기판으로부터 분리할 수 있으므로, 식각액을 이용한 화학적 분리 방식에 비하여 보다 안전하고, 경제적이다. 더 나아가, 식각액으로 인한 소자의 손상을 미리 피할 수 있다는 장점이 있다.
Int. CL H01M 2/10 (2006.01)
CPC H01M 10/04(2013.01) H01M 10/04(2013.01) H01M 10/04(2013.01)
출원번호/일자 1020130000598 (2013.01.03)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1417575-0000 (2014.06.30)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140806) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.01.03)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이건재 대한민국 대전 유성구
2 박귀일 대한민국 경북 구미시
3 황건태 대한민국 대전광역시 유성구
4 정창규 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 다해 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로***, *층(삼성동,고운빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.01.03 수리 (Accepted) 1-1-2013-0006124-34
2 보정요구서
Request for Amendment		 2013.01.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0003673-56
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2013.01.25 수리 (Accepted) 1-1-2013-0074515-11
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.02.01 수리 (Accepted) 4-1-2013-5019983-17
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.07.29 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.08.27 수리 (Accepted) 9-1-2013-0071897-64
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.12.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0895492-74
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.02.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0180153-29
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.02.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-0180149-46
10 등록결정서
Decision to grant		 2014.06.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0445348-65
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
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번호 청구항
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배터리 제조방법으로, 실리콘 기판(100) 상에 실리콘 산화물 또는 실리콘 질화물을 포함하는 식각마스크층(200)을 적층하는 단계; 상기 식각마스크층(200) 상에 배터리(300)를 제조하는 단계;상기 식각마스크층(200) 및 배터리(300) 상에 니켈층(400)을 적층하는 단계; 상기 니켈층(400)에 기계적 또는 열적 에너지를 인가하여 상기 실리콘 기판 내에 수평 방향으로 크랙을 발생시키는 단계; 상기 수평 방향으로의 크랙에 의하여 배터리(300) 및 니켈층(400)을 상기 실리콘 기판(100)으로부터 분리하는 단계; 상기 배터리(300) 하부에 잔류하는 일부 실리콘 기판(110)을 제거하는 단계; 및상기 배터리(300) 하부에 잔류하는 상기 일부 실리콘 기판(110)을 제거한 후, 상기 니켈층을 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 배터리 제조방법
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제 8항에 있어서, 상기 수평 방향으로의 크랙은 실리콘 기판 상부로부터 10~15μm 두께에서 진행되는 것을 특징으로 하는 배터리 제조방법
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제 8항에 있어서, 상기 배터리 제조방법은, 상기 니켈층을 제거하는 단계 후, 상기 식각마스크층(200) 상에 제조된 배터리(300)를 지지체 내로 밀봉시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 배터리 제조방법
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제 8항, 제 9항 및 제 11항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의하여 제조된 배터리
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제 12항에 따른 배터리가 다층 구조를 이루는 다층 배터리
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제 13항에 있어서, 상기 다층 배터리는, 플렉서블 또는 딱딱한 기판 상에 물리적으로 접합된 형태인 것을 특징으로 하는 다층 배터리
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제 14항에 있어서, 상기 다층 배터리는 복수 개의 단위 배터리로 이루어진 어레이 구조인 것을 특징으로 하는 다층 배터리
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.