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플렉서블 플래쉬 메모리 소자 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 플래쉬 메모리 소자
- 기술번호 : KST2015118291
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 플렉서블 플래쉬 메모리 소자 제조방법으로, 기판 상에 제조된 플래쉬 메모리 소자상에 고정 기판을 접착시키는 단계; 상기 고정 기판에 접착된 플래쉬 메모리 소자를 절단하여 단위 플래쉬 메모리 소자를 제조하는 단계; 상기 제조된 단위 플래쉬 메모리 소자의 기판 하부에 접착층을 도포하는 단계; 및 상기 접착층이 도포된 단위 플래쉬 메모리 소자를 플렉서블 기판으로 전사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 플래쉬 메모리 소자 제조방법이 제공된다. |
|---|---|
| Int. CL | H01L 27/115 (2006.01) H01L 21/8247 (2006.01) |
| CPC | H01L 21/28273(2013.01) H01L 21/28273(2013.01) H01L 21/28273(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020130063727 (2013.06.03) |
| 출원인 | 한국과학기술원 |
| 등록번호/일자 | 10-1517816-0000 (2015.04.29) |
| 공개번호/일자 | 10-2014-0142103 (2014.12.11) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20150507) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 소멸 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2013.06.03) |
| 심사청구항수 | 12 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 이건재 | 대한민국 | 대전 유성구 |
| 2 | 황건태 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 특허법인 다해 | 대한민국 | 서울시 서초구 서운로**, ***호(서초동, 중앙로얄오피스텔) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2013.06.03 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0494390-29 |
| 2 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2014.03.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0195420-13 |
| 3 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2014.05.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0470744-72 |
| 4 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2014.05.20 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2014-0470745-17 |
| 5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2014.09.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0661802-04 |
| 6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2014.11.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-1093714-48 |
| 7 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2014.11.13 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2014-1093715-94 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 11 | 등록결정서 Decision to grant |
2015.03.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0201174-07 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 플렉서블 플래쉬 메모리 소자 제조방법으로, 상부 실리콘층, 실리콘산화물층, 하부 실리콘층으로 이루어진 기판 상에 플래쉬 메모리 소자를 제조하는 단계;상기 기판 상에 제조된 플래쉬 메모리 소자 상에 제1 접착층을 도포하는 단계;상기 제1 접착층이 도포된 플래쉬 메모리 소자 상에 고정 기판을 접착시키는 단계;상기 기판의 하부실리콘층을 제거하는 단계;상기 고정 기판에 접착된 플래쉬 메모리 소자를 절단하여 단위 플래쉬 메모리 소자를 제조하는 단계;상기 기판의 실리콘산화물층 하면에 제2 접착층을 도포하는 단계; 및상기 제1,2 접착층이 도포된 단위 플래쉬 메모리 소자를 플렉서블 기판으로 전사하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 플래쉬 메모리 소자 제조방법 |
| 2 |
2 제 1항에 있어서, 상기 기판은 실리콘-온-인슐레이터인 것을 특징으로 하는 플렉서블 플래쉬 메모리 소자 제조방법 |
| 3 |
3 제 1항에 있어서, 상기 플래쉬 메모리 소자는 상기 기판 상에 적어도 둘 이상 제조된 단위 플래쉬 메모리 소자를 포함하며, 상기 단위 플래쉬 메모리 소자는 정렬된 어레이 구조를 이루는 것을 특징으로 하는 플렉서블 플래쉬 메모리 소자 제조방법 |
| 4 |
4 삭제 |
| 5 |
5 제 1항에 있어서, 상기 고정기판은 플라스틱 또는 유리기판인 것을 특징으로 하는 플렉서블 플래쉬 메모리 소자 제조방법 |
| 6 |
6 삭제 |
| 7 |
7 제 5항에 있어서, 상기 접착층은 에폭시 수지이며, 상기 에폭시 수지는 상기 플래쉬 메모리 소자를 모두 덮도록 도포되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 플래쉬 메모리 소자 제조방법 |
| 8 |
8 제 1항에 있어서, 상기 하부실리콘층을 제거하는 단계는 습식식각 또는 물리적 그라인딩 방식으로 진행되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 플래쉬 메모리 소자 제조방법 |
| 9 |
9 제 1항에 있어서, 상기 고정 기판에 접착된 플래쉬 메모리 소자를 절단하여 단위 플래쉬 메모리 소자를 제조하는 단계는, 레이저 또는 쏘잉 방식으로 진행되는 것을 특징으로 하는 플렉서블 플래쉬 메모리 소자 제조방법 |
| 10 |
10 제 1항 내지 제 3항, 제 5항, 제 7항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 따른 플렉서블 플래쉬 메모리 소자 제조방법에 의하여 제조된 플렉서블 플래쉬 메모리 소자 |
| 11 |
11 플라스틱 기판; 상기 플라스틱 기판 상에 구비된 제2 접착층; 상기 제2 접착층에 의하여 상기 플라스틱 기판에 접착된 단위 플래쉬 메모리 소자;상기 단위 플래쉬 메모리 소자 상에 도포되는 제1 접착층; 및상기 단위 플래쉬 메모리 소자 상에 배치되는 고정 기판;을 포함하며, 상기 단위 플래쉬 메모리 소자는, 순차적으로 적층된 실리콘산화물층-실리콘층으로 이루어진 기판; 및 상기 기판 상에 구비된 소자층를 포함하며, 상기 제2 접착층은 상기 기판의 실리콘산화물층 하면에 도포된 후 상기 플라스틱 기판으로 전사된 것을 특징으로 하는 플렉서블 소자 |
| 12 |
12 제 11항에 있어서, 상기 소자층은 상기 순차적으로 적층된 실리콘산화물층-실리콘층으로 이루어진 기판 상에서 제조된 것을 특징으로 하는 플렉서블 소자 |
| 13 |
13 휘어지는 디스플레이; 상기 휘어지는 디스플레이 소자 후면 전면에 구비된 플렉서블 배터리; 및 상기 휘어지는 디스플레이 소자 후면에서 상기 디스플레이와 상기 플렉서블 배터리 사이에 구비되며, 제 11항에 따른 플렉서블 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 휘어지는 디스플레이 장치 |
| 14 |
14 스마트 시계로서, 제 11항에 따른 플렉서블 소자가 구비된 스마트 시계 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1517816-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20130603 출원 번호 : 1020130063727 공고 연월일 : 20150507 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20150325 청구범위의 항수 : 12 유별 : H01L 21/8247 발명의 명칭 : 플렉서블 플래쉬 메모리 소자 제조방법 및 이에 의하여 제조된 플렉서블 플래쉬 메모리 소자 존속기간(예정)만료일 : 20190430 |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국과학기술원 대전광역시 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 256,500 원 | 2015년 04월 30일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 152,000 원 | 2018년 04월 06일 | 납입 |
- 본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2013.06.03 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0494390-29 |
| 2 | 의견제출통지서 | 2014.03.20 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0195420-13 |
| 3 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2014.05.20 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0470744-72 |
| 4 | [명세서등 보정]보정서 | 2014.05.20 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2014-0470745-17 |
| 5 | 의견제출통지서 | 2014.09.26 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0661802-04 |
| 6 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2014.11.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-1093714-48 |
| 7 | [명세서등 보정]보정서 | 2014.11.13 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2014-1093715-94 |
| 8 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157968-69 |
| 9 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5157993-01 |
| 10 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.12.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5158129-58 |
| 11 | 등록결정서 | 2015.03.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2015-0201174-07 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1345197455 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2012R1A2A1A03010415 |
| 연구과제명 | 나노복합소재를 이용한 고효율 나노자가발전기 제작 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 미래창조과학부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2013 |
| 연구기간 | 201205~201504 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1345198307 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2007-0056090 |
| 연구과제명 | 차세대 플렉시블 디스플레이 융합 센터 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 미래창조과학부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2013 |
| 연구기간 | 200709~201602 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 개발연구 |
| 6T분류명 | IT(정보기술) |
특허성과
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| [KST2015117042][한국과학기술원] | 그래핀 게이트 전극을 이용한 비휘발성 메모리 소자 | 새창보기 |
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