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질소 처리와 금속 촉매를 이용한 금속 산화물 나노와이어및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015161225
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 금속 촉매의 이용과 질소 열처리법을 통해 나노 와이어를 제조하여 가스 감응 특성을 높일 수 있는 금속 산화물 나노와이어 및 그 제조방법에 관한 것이다.이를 위해 본 발명은, 기판상에 금속을 증착시키는 단계와, 상기 기판상에 금속 증착 후, 금속 촉매를 상기 금속층 위에 증착시키는 단계와, 상기 금속 촉매 증착 후에 질소 분위기의 열처리를 하여 나노와이어를 성장시키는 단계와, 상기 질소 분위기의 열처리 후 산소 분위기의 열처리를 하는 단계를 포함하는 나노와이어 및 그 제조방법을 제공한다.또한, 상기 금속은 주석(Sn), 텅스텐(W), 티타늄(Ti), 혹은 인듐(In) 중의 어느 하나이고, 상기 금속은 열증착법에 의해 증착되며, 상기 질소 분위기의 열처리는 500℃ ~ 800℃의 온도 범위에서 1 ~ 5시간 열처리하고, 상기 산소 분위기의 열처리는 600℃ ~ 800℃의 온도범위에서 2 ~ 3시간 열처리하는 것을 특징으로 한다.나노와이어, 센서, 열처리, 금속 촉매
Int. CL C01G 19/02 (2006.01.01) C01G 23/04 (2006.01.01) C01G 41/02 (2006.01.01) C01G 15/00 (2006.01.01) B82Y 30/00 (2017.01.01) B82Y 40/00 (2017.01.01) B82Y 15/00 (2017.01.01)
CPC C01G 19/02(2013.01) C01G 19/02(2013.01) C01G 19/02(2013.01) C01G 19/02(2013.01) C01G 19/02(2013.01) C01G 19/02(2013.01) C01G 19/02(2013.01) C01G 19/02(2013.01)
출원번호/일자 1020060033314 (2006.04.12)
출원인 경북대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-0751527-0000 (2007.08.16)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20070823) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.04.12)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 경북대학교 산학협력단 대한민국 대구광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 허증수 대한민국 대구 수성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김일환 대한민국 서울특별시 관악구 남부순환로 ****, ***호 제니스국제특허법률사무소 (봉천동, 청동빌딩)
2 이지연 대한민국 서울특별시 관악구 남부순환로 ****, ***호 제니스국제특허법률사무소 (봉천동, 청동빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대광산업 (주) 경상북도 포항시 남구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.04.12 수리 (Accepted) 1-1-2006-0254345-81
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2006.06.19 수리 (Accepted) 4-1-2006-0014280-97
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.12.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2007.01.15 수리 (Accepted) 9-1-2007-0003339-85
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.02.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0087498-65
6 의견서
Written Opinion		 2007.04.16 수리 (Accepted) 1-1-2007-0286788-11
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2007.04.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0286789-67
8 대리인변경신고서
Agent change Notification		 2007.05.09 수리 (Accepted) 1-1-2007-0343591-06
9 등록결정서
Decision to grant		 2007.07.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0420206-29
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2018-5051994-32
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2020-5136893-04
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판상에 금속을 증착시키는 단계와,상기 기판상에 금속 증착 후, 금속 촉매를 상기 금속층 위에 증착시키는 단계와,상기 금속 촉매 증착 후에 질소 분위기의 열처리를 하여 나노와이어를 성장시키는 단계와,상기 질소 분위기의 열처리 후 산소 분위기의 열처리를 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노와이어의 제조방법
2 2
제1항에 있어서,상기 금속 촉매는 니켈, 텅스텐, 구리, 철 중의 어느 하나를 이용하는 것을특징으로 하는 나노와이어의 제조방법
3 3
제1항에 있어서,상기 금속 촉매는 열증착법에 의해 증착되는 것을 특징으로 하는 나노와이어의 제조방법
4 4
제1항에 있어서,상기 금속은 주석(Sn), 텅스텐(W), 티타늄(Ti), 혹은 인듐(In) 중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 나노와이어의 제조방법
5 5
제1항에 있어서,상기 금속은 열증착법에 의해 증착되는 것을 특징으로 하는 나노와이어의 제조방법
6 6
제1항에 있어서,상기 질소 분위기의 열처리는 500℃ ~ 800℃의 온도 범위에서 1 ~ 5시간 열처리하는 것을 특징으로 하는 나노와이어의 제조방법
7 7
제1항에 있어서,상기 산소 분위기의 열처리는 600℃ ~ 800℃의 온도범위에서 2 ~ 3시간 열처리하는 것을 특징으로 하는 나노와이어의 제조방법
8 8
제1항에 있어서,상기 나노와이어는 H2S, NH3, CO, Hydro
9 9
나노와이어에 있어서,기판상에 증착되는 금속층과,상기 금속층 상에 덧 증착되는 금속 촉매층을 포함하고;질소 분위기의 열처리를 하여 나노와이어를 성장시키고, 이후 산소 분위기의 열처리를 하는 것을 특징으로 하는 금속 산화물 나노와이어
10 10
제9항에 있어서,상기 금속은 주석(Sn), 텅스텐(W), 티타늄(Ti), 혹은 인듐(In) 중의 어느 하나인 것을 특징으로 하는 금속 산화물 나노와이어
11 11
제9항에 있어서,상기 금속 촉매는 니켈, 텅스텐, 구리, 철 중의 어느 하나를 이용하는 것을특징으로 하는 금속 산화물 나노와이어
12 12
제9항에 있어서,상기 나노와이어는 H2S, NH3, CO, Hydro
13 13
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