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내부가 중공인 통 형상으로 형성되며, 외부 공기가 유입되는 공기 유입구와 배출 공기가 배출되는 공기 배출구를 구비하는 하우징,상기 하우징의 내부에서 상기 공기 유입구의 상부에 위치되며, 사용된 냉각수를 상기 하우징의 내부로 분사하는 노즐 유닛, 상기 노즐 유닛의 상부에 위치하며, 외면에서 내부로 연결되는 다수의 기공을 포함하는 기본 구조체 및 상기 기본 구조체의 표면에 코팅되는 표면층을 구비하는 수증기 필터를 적어도 한 개를 포함하는 수증기 필터 유닛 및상기 하우징의 공기 배출구에 위치하며, 상기 배출 공기를 상기 하우징의 외부로 배출하는 배출 유닛을 포함하며,상기 표면층은 CF(탄화불소)기 또는 CH(탄화수소)기를 포함하는 하기의 구조식(1)로 표시되는 인산계 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 수증기 필터를 포함하는 쿨링 타워
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내부가 중공인 통 형상으로 형성되며, 외부 공기가 유입되는 공기 유입구와 배출 공기가 배출되는 공기 배출구를 구비하는 하우징,상기 하우징의 내부에서 상기 공기 유입구의 상부에 위치되며, 사용된 냉각수를 상기 하우징의 내부로 분사하는 노즐 유닛, 상기 노즐 유닛의 상부에 위치하며, 외면에서 내부로 연결되는 다수의 기공을 포함하는 기본 구조체 및 상기 기본 구조체의 표면에 코팅되는 표면층을 구비하는 수증기 필터를 적어도 한 개를 포함하는 수증기 필터 유닛 및상기 하우징의 공기 배출구에 위치하며, 상기 배출 공기를 상기 하우징의 외부로 배출하는 배출 유닛을 포함하며,상기 표면층은 CF(탄화불소)기 또는 CH(탄화수소)기를 포함하는 하기의 구조식(2)로 표시되는 실란계 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 수증기 필터를 포함하는 쿨링 타워
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제 2 항에 있어서,상기 표면층은 OD-PA 또는 HDF-PA로 형성되는 것을 특징으로 하는 수증기 필터를 포함하는 쿨링 타워
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제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 기본 구조체는 니켈, 알루미늄, 스테인레스 스틸, 모넬, 인코넬, 텅스텐, 은 티타늄, 몰리브덴, 듀플렉스, 구리, 철, 폴리에스테르, 나일론, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌 또는 화이버 글라스로 형성되는 것을 특징으로 하는 수증기 필터를 포함하는 쿨링 타워
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제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 기본 구조체는 5㎛ ~ 1000㎛의 기공 크기를 가지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 수증기 필터를 포함하는 쿨링 타워
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제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 기본 구조체는 3차원 다공성 폼 형상, 2차원 메쉬 형상 또는 2장 이상의 상기 2차원 메쉬 형상이 적층되어 형성되는 3차원 메쉬 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 수증기 필터를 포함하는 쿨링 타워
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제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 수증기 필터는 상기 기본 구조체와 상기 표면층의 사이에 형성되는 계면층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수증기 필터를 포함하는 쿨링 타워
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제 8 항에 있어서,상기 계면층은 그래핀, 그래핀옥사이드, 금속 산화물 또는 이들의 혼합물로 형성되는 것을 특징으로 하는 수증기 필터를 포함하는 쿨링 타워
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제 8 항에 있어서,상기 계면층은 플라즈마 처리 또는 UVO(Ultraviolet/Ozone) 처리를 통하여 수산화기(-OH) 또는 카르복시기(-COOH)가 형성되는 것을 특징으로 하는 수증기 필터를 포함하는 쿨링 타워
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제 8 항에 있어서상기 계면층은 금속 산화물 또는 이들의 혼합물로 형성되며, 상기 계면층은 표면에 금속기(-M)가 형성되어 상기 표면층과 자기결합되는 것을 특징으로 하는 수증기 필터를 포함하는 쿨링 타워
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제 9 항에 있어서,상기 금속 산화물은 TixOy, FexOy, AlxOy, SixOy, SnxOy, ZnxOy, InxOy, CexOy 또는 ZrxOy로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나의 금속산화물인 것을 특징으로 하는 수증기 필터를 포함하는 쿨링 타워
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제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 노즐 유닛과 상기 하우징의 공기 유입구 사이에 위치하는 충진재층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수증기 필터를 포함하는 쿨링 타워
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제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 수증기 필터 유닛은 복수 개가 하우징의 내부에서 수평 방향으로 배치되어 형성되는 것을 특징으로 하는 수증기 필터를 포함하는 쿨링 타워
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제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 수증기 필터 유닛은 복수 개가 하우징의 내부에서 경사지게 배치되어 형성되는 것을 특징으로 하는 수증기 필터를 포함하는 쿨링 타워
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제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 수증기 필터 유닛은 두 개가 V자 형상 또는 ∧ 형상으로 배치되고, V자 형상 또는 ∧ 형상이 연속적으로 배치되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 수증기 필터를 포함하는 쿨링 타워
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제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 수증기 필터 유닛은 상기 노즐 유닛과 배출 유닛 사이 또는 상기 배출 유닛의 상부에 위치하는 것을 특징으로 하는 수증기 필터를 포함하는 쿨링 타워
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제 3 항에 있어서,상기 표면층은 HDF-S로 형성되는 것을 특징으로 하는 수증기 필터를 포함하는 쿨링 타워
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제 11 항에 있어서,상기 금속 산화물은 TixOy, FexOy, AlxOy, SixOy, SnxOy, ZnxOy, InxOy, CexOy 또는 ZrxOy로 이루어진 군에서 선택되는 적어도 어느 하나의 금속산화물인 것을 특징으로 하는 수증기 필터를 포함하는 쿨링 타워
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