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결점 용융을 이용한 자기조립 나노 패턴 형성 방법(Formation method of self-assembled nano-pattern using defect melting)
- 기술번호 : KST2017007906
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 본 발명은 a) 블록공중합체와 결점 용융제를 혼합하여 혼합물을 제조하는 단계; b) 상기 혼합물을 기판 상에 도포하여 박막을 형성하는 단계; 및 c) 상기 박막을 어닐링하여 자기조립하는 단계;를 포함하는 결점 용융을 이용한 자기조립 나노 패턴 형성방법으로 상기 결점은 χN이 10.5 이하인 결점 용융을 이용한 자기조립 나노 패턴 형성방법에 관한 것이다. |
|---|---|
| Int. CL | C08J 7/00 (2015.12.16) C08F 297/08 (2015.12.16) H01L 29/06 (2015.12.16) |
| CPC | C08J 7/00(2013.01) C08J 7/00(2013.01) C08J 7/00(2013.01) C08J 7/00(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020150157104 (2015.11.10) |
| 출원인 | 한국과학기술원 |
| 등록번호/일자 | |
| 공개번호/일자 | 10-2017-0054672 (2017.05.18) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2015.11.10) |
| 심사청구항수 | 10 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김상욱 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 2 | 김봉훈 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 3 | 김주영 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 특허법인 플러스 | 대한민국 | 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층 |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국과학기술원 | 대전광역시 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2015.11.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-1091774-65 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2016.05.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2016.07.11 | 수리 (Accepted) | 9-1-2016-0030829-89 |
| 4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2016.09.23 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2016-0680728-82 |
| 5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2016.11.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-1132082-19 |
| 6 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2016.11.21 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2016-1132047-21 |
| 7 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2017.03.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2017-0223273-03 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2017.05.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2017-0512374-60 |
| 9 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2017.05.29 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2017-0512408-24 |
| 10 | 등록결정서 Decision to grant |
2017.10.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2017-0739263-59 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 a) 블록공중합체와 랜덤공중합체 또는 블록 올리고머에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 결점 용융제를 혼합하여 혼합물을 제조하는 단계;b) 상기 혼합물을 기판 상에 도포하여 박막을 형성하는 단계; 및 c) 상기 박막을 어닐링하여 자기조립하는 단계;를 포함하는 결점 용융을 이용한 자기조립 나노 패턴 형성방법으로, 상기 결점의 χN이 10 |
| 2 |
2 제 1항에 있어서,상기 박막의 χN은 8 내지 15인 결점 용융을 이용한 자기조립 나노 패턴 형성방법 |
| 3 |
3 삭제 |
| 4 |
4 삭제 |
| 5 |
5 삭제 |
| 6 |
6 삭제 |
| 7 |
7 제 1항에 있어서,상기 블록 공중합체는 폴리우레탄, 에폭시 중합체, 폴리아릴렌, 폴리아미드, 폴리에스테르, 폴리카보네이트, 폴리이미드, 폴리설폰, 폴리실록산, 폴리실라잔, 폴리에테르, 폴리우레아, 폴리올레핀, 비닐계 부가 중합체 및 아크릴계 중합체에서 선택되는 둘 이상의 서로 다른 반복단위를 포함하는 것인 결점 용융을 이용한 자기조립 나노 패턴 형성방법 |
| 8 |
8 제 7항에 있어서,상기 블록공중합체의 수평균분자량은 30,000 내지 300,000 g/mol인 결점 용융을 이용한 자기조립 나노 패턴 형성방법 |
| 9 |
9 제 1항에 있어서,상기 랜덤공중합체의 수평균분자량은 1,000 내지 30,000 g/mol인 결점 용융을 이용한 자기조립 나노 패턴 형성방법 |
| 10 |
10 제 1항에 있어서,상기 랜덤공중합체는 스티렌계 단량체로부터 유래된 반복단위 및 메타크릴레이트계 단량체로부터 유래된 반복단위를 포함하는 것인 결점 용융을 이용한 자기조립 나노 패턴 형성방법 |
| 11 |
11 제 10항에 있어서,상기 랜덤공중합체는 스티렌계 단량체 30 내지 70 중량% 및 메타크릴레이트계 단량체 70 내지 30 중량%로부터 유래된 것인 결점 용융을 이용한 자기조립 나노 패턴 형성방법 |
| 12 |
12 제 1항에 있어서,상기 c) 단계는 50 내지 500℃에서 어닐링을 진행하는 것인 결점 용융을 이용한 자기조립 나노 패턴 형성방법 |
| 13 |
13 자기조립 나노 패턴용 블록공중합체에 결점 용융제를 포함하는 나노 패턴 상의 결점 제거 방법으로, 상기 결점은 χN이 10 |
| 14 |
14 삭제 |
| 15 |
15 제 13항에 있어서,상기 나노 패턴이 형성된 박막의 χN은 8 내지 15인 나노 패턴 상의 결점 제거 방법 |
| 16 |
16 삭제 |
| 17 |
17 삭제 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 미래창조과학부 | 기초과학연구원 | 기관고유사업 (캠퍼스연구단 연구사업) | 나노물질의 조립 및 제작 |
| 등록사항 정보가 없습니다 |
|---|
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2015.11.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2015-1091774-65 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 | 2016.05.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 | 2016.07.11 | 수리 (Accepted) | 9-1-2016-0030829-89 |
| 4 | 의견제출통지서 | 2016.09.23 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2016-0680728-82 |
| 5 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2016.11.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2016-1132082-19 |
| 6 | [명세서등 보정]보정서 | 2016.11.21 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2016-1132047-21 |
| 7 | 의견제출통지서 | 2017.03.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2017-0223273-03 |
| 8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2017.05.29 | 수리 (Accepted) | 1-1-2017-0512374-60 |
| 9 | [명세서등 보정]보정서 | 2017.05.29 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2017-0512408-24 |
| 10 | 등록결정서 | 2017.10.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2017-0739263-59 |
| 11 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.04.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5081392-49 |
| 12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.05.15 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5108396-12 |
| 13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2020.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2020-5131486-63 |
| 기술정보가 없습니다 |
|---|
| 과제고유번호 | 1345244306 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 21A20131912234 |
| 연구과제명 | 이머징 소재기반 창조융합형 인재양성사업단 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육부 |
| 연구관리전문기관명 | |
| 연구주관기관명 | |
| 성과제출연도 | 2015 |
| 연구기간 | 201309~202008 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | ST(우주항공기술) |
특허성과
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