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헤테로 접합 금속 나노 와이어의 제조방법 및 이에 따라 제조되는 헤테로 접합 금속 나노 와이어

  • 기술번호 : KST2019011673
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 제1 금속을 포함하는 복수의 금속 나노 와이어 표면에 제2 금속을 포함하는 금속 산화물 종자 입자(seed particles)를 코팅시키는 단계(단계 1); 상기 단계 1에서 금속 산화물 종자 입자가 코팅된 복수의 금속 나노 와이어를 기판 상부에 정렬시키는 단계(단계 2); 상기 단계 2에서 정렬된 복수의 금속 나노 와이어 중 단일 금속 나노 와이어의 양 말단에 접촉하는 금속 패드를 형성하는 단계(단계 3); 및 상기 기판을 제2 금속 이온을 포함하는 용액에 침지시킨 후, 상기 단계 3에서 금속 패드가 형성된 금속 나노 와이어에 전류를 가하여 제1 금속을 포함하는 금속 나노 와이어에 제2 금속을 포함하는 금속 산화물 나노 와이어를 형성하는 단계(단계 4);를 포함하는 헤테로 접합 금속 나노 와이어의 제조방법을 제공한다. 본 발명에 따른 헤테로 접합 금속 나노 와이어의 제조방법은 종래의 진공 증착, 포토 리소그래피 또는 진공 분위기에서의 전자빔 리소그래피를 사용하지 않고, 모든 공정을 상압, 상온에서 수행할 수 있는 장점이 있다. 이에 따라, 공정 시간과 비용을 절감할 수 있다. 또한, 목표로 하는 단일 금속 나노 와이어를 선택할 수 있으며, 선택적으로 목표로 하는 단일 금속 나노 와이어에 금속 산화물 나노 와이어를 형성된 헤테로 접합 금속 나노 와이어는 단결정 구조를 가질 수 있기 때문에 트랜지스터, 센서 등의 소자에 적용하는 경우 우수한 소자 특성을 보이는 효과가 있다.
Int. CL H01B 13/00 (2006.01.01) H01L 31/10 (2006.01.01) H01L 31/09 (2006.01.01) H01B 5/14 (2006.01.01) H01B 1/02 (2006.01.01)
CPC H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01) H01B 13/0026(2013.01)
출원번호/일자 1020150121172 (2015.08.27)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1689276-0000 (2016.12.19)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20161226) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2015.08.27)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 고승환 대한민국 서울 관악구
2 여준엽 대한민국 서울 관악구
3 홍석준 대한민국 서울 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 서울특별시 관악구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2015.08.27 수리 (Accepted) 1-1-2015-0834391-20
2 보정요구서
Request for Amendment		 2015.09.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0140419-70
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2015.09.24 수리 (Accepted) 1-1-2015-0931393-19
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2016.07.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0541967-16
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2016.08.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0848515-13
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2016.08.31 수리 (Accepted) 1-1-2016-0848516-58
7 등록결정서
Decision to grant		 2016.09.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0664661-46
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2020-5265458-48
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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제1 금속을 포함하는 복수의 금속 나노 와이어 표면에 제2 금속을 포함하는 금속 산화물 종자 입자(seed particles)를 코팅시키는 단계(단계 1);상기 단계 1에서 금속 산화물 종자 입자가 코팅된 복수의 금속 나노 와이어를 기판 상부에 정렬시키는 단계(단계 2);상기 단계 2에서 정렬된 복수의 금속 나노 와이어 중 단일 금속 나노 와이어의 양 말단에 접촉하는 금속 패드를 형성하는 단계(단계 3); 및상기 기판을 제2 금속 이온을 포함하는 용액에 침지시킨 후, 상기 단계 3에서 금속 패드가 형성된 금속 나노 와이어에 전류를 가하여 제1 금속을 포함하는 금속 나노 와이어에 제2 금속을 포함하는 금속 산화물 나노 와이어를 형성하는 단계(단계 4);를 포함하되, 상기 단계 3은, 상기 단계 2에서 정렬된 복수의 금속 나노 와이어를 포함하는 기판에 금속 나노 입자 잉크를 도포하는 단계(단계 a); 및 상기 단계 a에서 도포된 금속 나노 입자 잉크에 선택적 레이저 소결 방법을 수행하여 단일 금속 나노 와이어의 양 말단에 접촉하는 금속 패드를 형성하는 단계(단계 b);를 포함하는 것을 특징으로 하는 헤테로 접합 금속 나노 와이어의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 단계 1의 제1 금속은 은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 백금(Pt) 및 바나듐(V)으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1 종의 금속인 것을 특징으로 하는 헤테로 접합 금속 나노 와이어의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 단계 1의 제2 금속은 아연(Zn), 철(Fe), 티타늄(Ti) 및 주석(Sn)으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1 종의 금속인 것을 특징으로 하는 헤테로 접합 금속 나노 와이어의 제조방법
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1 교육과학기술부 서울대학교 BK21 플러스 과학기술분야 플러스 융합지식기반 창조형 기계항공인재 양성사업단