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집속이온빔을 이용한 가공 방법

  • 기술번호 : KST2014053088
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 집속이온빔을 이용하여 가공하는 중간에 발생하는 불균일을 지속적으로 수정하여 균일하게 가공할 수 있는 가공 방법에 관한 것으로, (a) 가공 범위를 지정하는 단계; (b) 집속이온빔을 주사하여 지정된 가공 범위를 가공하는 단계; (c) 가공면의 이미지를 얻는 단계; (d) 상기 이미지를 2치화하는 단계; (e) 상기 2치화된 이미지를 분석하여 가공 완료 부분과 가공 미완료 부분으로 분류하는 단계; 및 (f) 상기 분류된 가공 완료 부분과 가공 미완료 부분을 이용하여 가공 완료 수준을 구하고, 구해진 가공 완료 수준을 설정된 가공 수준과 비교하여, 설정된 가공 수준보다 낮으면 지정된 가공 범위를 재지정하지 않고 (b)단계로 되돌아가고, 설정된 가공 수준보다 높으면 (e)단계에서 분류된 가공 미완료 부분을 가공 범위로 재지정하여 (b)단계로 되돌아가는 단계를 포함하며, 상기 (e)단계에서 식각이 완료되지 않은 부분이 없는 경우에 식각공정을 종료하는 것을 특징으로 한다.본 발명은, 가공 과정 중에 촬영된 가공면의 이미지를 분석하여 가공 범위를 재 지정함으로써, 집속이온빔 가공 과정에서 발생하는 불균일에 의한 오차를 실시간으로 수정하여 균일한 가공 결과를 얻을 수 있는 효과가 있다.
Int. CL H01L 21/263 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01) H01L 21/306 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC H01L 21/263(2013.01) H01L 21/263(2013.01) H01L 21/263(2013.01) H01L 21/263(2013.01)
출원번호/일자 1020110091500 (2011.09.08)
출원인 서울대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1269562-0000 (2013.05.24)
공개번호/일자 10-2013-0027953 (2013.03.18) 문서열기
공고번호/일자 (20130604) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.09.08)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 관악구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안성훈 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 천두만 대한민국 서울특별시 관악구
3 김충수 대한민국 서울특별시 관악구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다울 대한민국 서울 강남구 봉은사로 ***, ***호(역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울대학교산학협력단 서울특별시 관악구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.09.08 수리 (Accepted) 1-1-2011-0705424-19
2 보정요구서
Request for Amendment		 2011.09.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0086769-39
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2011.09.27 수리 (Accepted) 4-1-2011-5195109-43
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2011.10.18 수리 (Accepted) 1-1-2011-0811675-60
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2012.04.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.05.15 수리 (Accepted) 9-1-2012-0037310-65
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.11.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0706801-78
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2012-1062923-99
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.12.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-1062922-43
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.14 수리 (Accepted) 4-1-2013-5007213-54
11 등록결정서
Decision to grant		 2013.05.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0324520-28
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.17 수리 (Accepted) 4-1-2015-5033829-92
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2015-5062924-01
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.13 수리 (Accepted) 4-1-2019-5093546-10
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.05.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5101798-31
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.08.02 수리 (Accepted) 4-1-2019-5154561-59
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
집속이온빔을 이용한 가공 방법으로서,(a) 가공 범위를 지정하는 단계;(b) 집속이온빔을 주사하여 지정된 가공 범위를 가공하는 단계;(c) 가공면의 이미지를 얻는 단계;(d) 상기 이미지를 2치화하는 단계;(e) 상기 2치화된 이미지를 분석하여 가공 완료 부분과 가공 미완료 부분으로 분류하는 단계; 및(f) 상기 분류된 가공 완료 부분과 가공 미완료 부분을 이용하여 가공 완료 수준을 구하고, 구해진 가공 완료 수준을 설정된 가공 수준과 비교하여, 설정된 가공 수준보다 낮으면 지정된 가공 범위를 재지정하지 않고 (b)단계로 되돌아가고, 설정된 가공 수준보다 높으면 (e)단계에서 분류된 가공 미완료 부분을 가공 범위로 재지정하여 (b)단계로 되돌아가는 단계를 포함하며,상기 (e)단계에서 식각이 완료되지 않은 부분이 없는 경우에 전체 공정을 종료하는 것을 특징으로 하는 집속이온빔을 이용한 가공 방법
2 2
청구항 1에 있어서,상기 가공이 식각 가공 또는 증착 가공인 것을 특징으로 하는 집속이온빔을 이용한 가공 방법
3 3
청구항 1에 있어서,상기 (c)단계가 집속이온빔 이미지를 얻는 것을 특징으로 하는 집속이온빔을 이용한 가공 방법
4 4
청구항 1에 있어서,상기 (d)단계에서 2치화하는 기준이 가공면의 높이 차이에 의한 이미지의 명도 차이이며, 가공 목표 높이의 면이 나타내는 명도를 기준으로 2치화를 실시하는 것을 특징으로 하는 집속이온빔을 이용한 가공 방법
5 5
청구항 1에 있어서, 가공 대상이 아닌 재질층의 위에 가공 대상 재질층이 형성된 다층 구조에서 표면을 가공하는 경우에,상기 (d)단계에서 2치화하는 기준이, 상기 가공 대상이 아닌 재질층과 상기 가공 대상 재질층 사이의 재질 차이에 의한 명도 차이이며, 가공 대상이 아닌 재질층의 명도를 기준으로 2치화를 실시하는 것을 특징으로 하는 집속이온빔을 이용한 가공 방법
6 6
청구항 1에 있어서,상기 (f)단계에서 가공 완료 수준을 구하는 방법이, 지정된 가공 범위의 넓이와 가공 미완료 부분의 넓이를 비교하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 집속이온빔을 이용한 가공 방법
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패밀리정보가 없습니다
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1 교육과학기술부 서울대학교 산학협력단 도약과제 나노스케일 3차원 프린팅 시스템
2 교육과학기술부 서울대학교 산학협력단 핵심과제 벡터스캔을 이용한 가공형상 맞춤형 집속이온빔 가공 최적화