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제1 반도체 기판의 상부에 층간 절연막과 제2 반도체 기판이 순차적으로 형성되어 있는 기판의 상부에 다층 절연막을 형성하는 제1단계;상기 다층 절연막을 순차적으로 식각한 후, 상기 제2 반도체 기판과 다른 타입의 이온을 주입하여 소스/드레인 및 채널을 형성하는 제2단계;상기 제2 반도체 기판을 식각하여 탐침 및 탐침부를 형성하는 제3단계;상기 탐침 및 탐침부를 제외한 영역에 절연막을 형성한 후, 소스/드레인 및 채널 영역의 상부에 금속 전극을 형성하는 제4단계;잔여의 상기 다층 절연막, 상기 제2 반도체 기판, 상기 절연막 및 상기 제1 반도체 기판을 순차적으로 식각하여 캔틸레버부를 형성하는 제5단계; 및 상기 제1 반도체 기판을 후면 식각하여 핸들링부를 형성하는 제6단계를 포함하는 전계 효과 트랜지스터가 내장된 원자간력 현미경 캔틸레버 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 제1단계의 상기 다층의 절연막은 실리콘 산화막과 실리콘 질화막을 교대로 증착하여 형성하는 전계 효과 트랜지스터가 내장된 원자간력 현미경 캔틸레버 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 제2단계와 상기 제3단계 사이에 급속 열처리(RTA) 공정을 더 포함하는 전계 효과 트랜지스터가 내장된 원자간력 현미경 캔틸레버 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 제3단계는,상기 제2 반도체 기판의 상부에 절연막을 형성하는 공정;포토리소그라피 공정을 수행하여 탐침 및 탐침부 형성을 위한 감광막 패턴을 형성하는 공정;상기 감광막 패턴을 이용하여 상기 절연막 및 상기 제2 반도체 기판을 식각하여 탐침 및 탐침부를 형성하는 공정; 상기 탐침의 저면에 존재하는 상기 층간 절연막을 식각하여 상기 탐침을 릴리즈시키는 공정; 및 상기 탐침 및 탐침부 형성을 위한 감광막 패턴을 제거하는 공정을 포함하는 전계 효과 트랜지스터가 내장된 원자간력 현미경 캔틸레버 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 제4단계는,포토리소그라피 공정을 수행하여 상기 금속 전극이 형성될 영역을 제외한 영역에 감광막 패턴을 형성하는 공정;상기 금속 전극 물질을 증착하는 공정; 및 상기 감광막 패턴을 제거하여 상기 소스/드레인 및 채널영역의 상부에 금속 전극을 형성하는 공정을 포함하는 전계 효과 트랜지스터가 내장된 원자간력 현미경 캔틸레버 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 제5단계는,캔틸레버의 폭에 해당하는 두께로 상기 제2 반도체 기판, 상기 층간 절연막 및 상기 제1 반도체 기판을 식각하는 전계 효과 트랜지스터가 내장된 원자간력 현미경 캔틸레버 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 제6단계는,상기 제1 반도체 기판의 전후면에 감광막을 도포하여 감광막 패시베이션층을 형성하는 공정;상기 제1 반도체 기판의 후면에 형성된 상기 감광막 패시베이션층을 패터닝하여 핸들링부 패턴을 형성하는 공정;상기 핸들링부 패턴을 이용하여 상기 제1 반도체 기판을 식각하는 공정; 및상기 제1 반도체 기판의 전후면에 존재하는 상기 감광막 패시베이션을 제거하는 공정을 포함하는 전계 효과 트랜지스터가 내장된 원자간력 현미경 캔틸레버 제조방법
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제 2 항에 있어서,상기 다층의 절연막 식각은 선택적 습식 식각을 이용하는 전계 효과 트랜지스터가 내장된 원자간력 현미경 캔틸레버 제조방법
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제 6 항에 있어서,상기 금속 전극 물질은 금(Au) 또는 백금(Pt)인 전계 효과 트랜지스터가 내장된 원자간력 현미경 캔틸레버 제조방법
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제 8 항에 있어서,상기 금속 전극 물질은 부착력을 향상시키기 위하여 티탄(Ti)의 증착한 후 수행하는 전계 효과 트랜지스터가 내장된 원자간력 현미경 캔틸레버 제조방법
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전계 효과 트랜지스터가 내장된 원자간력 현미경 캔틸레버에 있어서,반도체 기판으로 형성된 핸들링부;상기 핸들링부의 저면에 막대형상으로 연장 형성된 캔틸레버부;상기 캔틸레버부의 일측면에 연장 형성되고, 첨두 형상으로 이루어진 탐침부; 및상기 탐침부의 첨두에 형성되어 분석 대상물의 표면과 접하는 탐침을 포함하며,상기 탐침의 하부 영역에는 채널 및 상기 채널과 접하여 상기 기판과 다른 타입의 불순물로 형성된 소스 및 드레인을 포함하는 전계 효과 트랜지스터가 내장된 원자간력 현미경 캔틸레버
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제 11 항에 있어서,상기 반도체 기판은 SOI 기판 또는 SIMOX 기판인 전계 효과 트랜지스터가 내장된 원자간력 현미경 캔틸레버
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